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光控-晶控相结合的膜厚监控法对滤光片膜厚的研究
被引量：
4
1
作者
张学典
钱研华
+1 位作者
常敏
江旻珊
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期111-116,共6页
针对光电极值法和石英晶振法各自的弊端,结合两种方法提出了光控-晶控膜厚监控法.在相同工艺条件下,分别使用这三种方法监控905nm窄带滤光片（规整膜系）和830nm截止滤光片（非规整膜系）的膜厚,对制备的滤光片的透射率光谱曲线进行比较...
针对光电极值法和石英晶振法各自的弊端,结合两种方法提出了光控-晶控膜厚监控法.在相同工艺条件下,分别使用这三种方法监控905nm窄带滤光片（规整膜系）和830nm截止滤光片（非规整膜系）的膜厚,对制备的滤光片的透射率光谱曲线进行比较.结果表明,光控-晶控膜厚监控法除了各项指标都符合要求外,在曲线通带处获得的平均透过率值比光电极值法和石英晶振法获得的平均透过率值提高了3%～6%,且与理论光谱基本吻合,光谱特性最好.该方法不仅对规整和非规整膜系都能进行监控,且能有效降低膜厚误差,提高光谱特性.
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关键词
规整膜系
非规整膜系
光控-晶控
滤光片
光电极值
法
石英晶振法
透射率
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职称材料
浸渍式钨酸钡锶阴极的蒸发特性研究
被引量：
5
2
作者
胡明玮
王小霞
+3 位作者
罗积润
漆世锴
李云
张琪
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第11期1215-1219,共5页
采用飞行时间质谱法检测了浸渍式钨酸钡锶阴极(未覆膜)激活时在不同工作温度下的蒸发物成分,并采用石英晶体振荡动态测试法测量了阴极在不同温度下的动态蒸发率。结果表明:浸渍式钨酸钡锶阴极在1100℃左右能够充分激活,且平均蒸发率约...
采用飞行时间质谱法检测了浸渍式钨酸钡锶阴极(未覆膜)激活时在不同工作温度下的蒸发物成分,并采用石英晶体振荡动态测试法测量了阴极在不同温度下的动态蒸发率。结果表明:浸渍式钨酸钡锶阴极在1100℃左右能够充分激活,且平均蒸发率约为未覆膜612铝酸盐阴极的50%,这有利于发射电流密度提高及阴极寿命延长。
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关键词
钨酸钡锶
蒸发率
飞行时间质谱
法
石英晶振法
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职称材料
高性能中波红外陷波滤光片设计与研制
3
作者
尚鹏
陈蓓曦
+6 位作者
孙鹏
刘华松
白金林
季一勤
曹波
马远飞
林泉
《中国光学（中英文）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第4期904-915,共12页
为了有效抑制4.3μm CO_(2)辐射对3μm~5μm中波红外目标信号的干扰,基于Needle随机插层优化算法,采用电子束蒸发方法,建立了石英晶振监控方式下多层超厚Ge/Al_(2)O_(3)薄膜生长误差的精确反演修正模型,实现了中波红外陷波滤光片的设计...
为了有效抑制4.3μm CO_(2)辐射对3μm~5μm中波红外目标信号的干扰,基于Needle随机插层优化算法,采用电子束蒸发方法,建立了石英晶振监控方式下多层超厚Ge/Al_(2)O_(3)薄膜生长误差的精确反演修正模型,实现了中波红外陷波滤光片的设计、精确反演与制备;同时,针对中波红外陷波滤光片存在的面型变化大的问题,采用预置基底面型方法,实现了中波红外陷波滤光片低面型调控。研究结果表明:随着镀膜时间的增加,高折射率Ge膜具有较好的生长稳定性,而低折射率Al_(2)O_(3)薄膜材料沉积比例因子变化高达11.9%,且呈规律性渐变趋势;所制备的中波红外陷波滤光片在4.2μm~4.5μm波段区间平均截止透过率小于0.3%;3.5μm~4.05μm及4.7μm~5.0μm波段的平均透过率大于95%,镀膜后的面型被有效控制在较小范围;膜层具有较好的复杂环境适应性,成功通过了GJB 2485-95中牢固性、高温、低温、湿热等环境试验考核。
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关键词
电子束蒸发
法
石英晶
振
监控
法
红外滤光片
薄膜
反演修正
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职称材料
题名
光控-晶控相结合的膜厚监控法对滤光片膜厚的研究
被引量：
4
1
作者
张学典
钱研华
常敏
江旻珊
机构
上海理工大学光电信息与计算机工程
上海市现代光学系统重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期111-116,共6页
基金
国家重大仪器专项(Nos.2014YQ09070903,2013YQ03065104)
国家高技术研究发展计划(No.2015AA020401)~~
文摘
针对光电极值法和石英晶振法各自的弊端,结合两种方法提出了光控-晶控膜厚监控法.在相同工艺条件下,分别使用这三种方法监控905nm窄带滤光片（规整膜系）和830nm截止滤光片（非规整膜系）的膜厚,对制备的滤光片的透射率光谱曲线进行比较.结果表明,光控-晶控膜厚监控法除了各项指标都符合要求外,在曲线通带处获得的平均透过率值比光电极值法和石英晶振法获得的平均透过率值提高了3%～6%,且与理论光谱基本吻合,光谱特性最好.该方法不仅对规整和非规整膜系都能进行监控,且能有效降低膜厚误差,提高光谱特性.
关键词
规整膜系
非规整膜系
光控-晶控
滤光片
光电极值
法
石英晶振法
透射率
Keywords
Quarter wave coatings
Non-quarter wave coatings
Photoelectric-quartz control
Filters
Photoelectric extreme value method
Quartz crystal oscillation method
Transmittance value
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
浸渍式钨酸钡锶阴极的蒸发特性研究
被引量：
5
2
作者
胡明玮
王小霞
罗积润
漆世锴
李云
张琪
机构
中国科学院电子学研究所高功率微波源与技术重点实验室
中国科学院大学
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第11期1215-1219,共5页
基金
国家重点基础研究发展计划(2013CB328901)
文摘
采用飞行时间质谱法检测了浸渍式钨酸钡锶阴极(未覆膜)激活时在不同工作温度下的蒸发物成分,并采用石英晶体振荡动态测试法测量了阴极在不同温度下的动态蒸发率。结果表明:浸渍式钨酸钡锶阴极在1100℃左右能够充分激活,且平均蒸发率约为未覆膜612铝酸盐阴极的50%,这有利于发射电流密度提高及阴极寿命延长。
关键词
钨酸钡锶
蒸发率
飞行时间质谱
法
石英晶振法
Keywords
Barium-strontium tungstate
Evaporation rate
Time of flight mass spectroscope
Quartz crystal oscillation
分类号
O462 [理学—电子物理学]
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职称材料
题名
高性能中波红外陷波滤光片设计与研制
3
作者
尚鹏
陈蓓曦
孙鹏
刘华松
白金林
季一勤
曹波
马远飞
林泉
机构
有研国晶辉新材料有限公司、北京有色金属研究总院
天津津航技术物理研究所、天津市薄膜光学重点实验室
西北工业大学
出处
《中国光学（中英文）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第4期904-915,共12页
基金
国家自然科学基金(No.61905179)
河北省自然科学基金(No.F2022103002)
河北省重点研发计划项目(No.22351101D)。
文摘
为了有效抑制4.3μm CO_(2)辐射对3μm~5μm中波红外目标信号的干扰,基于Needle随机插层优化算法,采用电子束蒸发方法,建立了石英晶振监控方式下多层超厚Ge/Al_(2)O_(3)薄膜生长误差的精确反演修正模型,实现了中波红外陷波滤光片的设计、精确反演与制备;同时,针对中波红外陷波滤光片存在的面型变化大的问题,采用预置基底面型方法,实现了中波红外陷波滤光片低面型调控。研究结果表明:随着镀膜时间的增加,高折射率Ge膜具有较好的生长稳定性,而低折射率Al_(2)O_(3)薄膜材料沉积比例因子变化高达11.9%,且呈规律性渐变趋势;所制备的中波红外陷波滤光片在4.2μm~4.5μm波段区间平均截止透过率小于0.3%;3.5μm~4.05μm及4.7μm~5.0μm波段的平均透过率大于95%,镀膜后的面型被有效控制在较小范围;膜层具有较好的复杂环境适应性,成功通过了GJB 2485-95中牢固性、高温、低温、湿热等环境试验考核。
关键词
电子束蒸发
法
石英晶
振
监控
法
红外滤光片
薄膜
反演修正
Keywords
electron beam evaporation
quartz crystal deposition monitor
infrared filter
thin film
inversion correction
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光控-晶控相结合的膜厚监控法对滤光片膜厚的研究
张学典
钱研华
常敏
江旻珊
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
浸渍式钨酸钡锶阴极的蒸发特性研究
胡明玮
王小霞
罗积润
漆世锴
李云
张琪
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
高性能中波红外陷波滤光片设计与研制
尚鹏
陈蓓曦
孙鹏
刘华松
白金林
季一勤
曹波
马远飞
林泉
《中国光学（中英文）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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