石英晶体谐振器电参模型及其对测量精度的影响 被引量：21

1

作者 李东 刘桂礼 赵双琦 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1999年第6期781-784,共4页

使用通用的阻抗计法测量石英晶体谐振器的谐振频率和其它电参数，由于分布参数的存在，其实际电参数模型不同于理论模型，这种差别是造成测量误差的主要原因之一，分析两模型间的差别及其对测量结果影响的函数关系，并据此采用改进的测... 使用通用的阻抗计法测量石英晶体谐振器的谐振频率和其它电参数，由于分布参数的存在，其实际电参数模型不同于理论模型，这种差别是造成测量误差的主要原因之一，分析两模型间的差别及其对测量结果影响的函数关系，并据此采用改进的测量方法。 展开更多

关键词 阻抗计 石英晶体谐振器 电参模型 测量精度

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石英晶体谐振器的声负载敏感性及相关传感器研究中的几个问题 被引量：2

2

作者 董永贵 冯冠平 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第4期18-22,共5页

针对石英晶体谐振器(QCR)的声负载敏感性,对现有几种主要理论分析模型进行了综合评介.结合声负载敏感型石英谐振式化学量传感器的特点,对各理论计算公式的适用性以及传感器研制中的几个主要方面,如QCR谐振参数的选择及表面吸附性膜层的... 针对石英晶体谐振器(QCR)的声负载敏感性,对现有几种主要理论分析模型进行了综合评介.结合声负载敏感型石英谐振式化学量传感器的特点,对各理论计算公式的适用性以及传感器研制中的几个主要方面,如QCR谐振参数的选择及表面吸附性膜层的制备,进行了详细探讨. 展开更多

关键词 石英晶体谐振器 声负载敏感性 吸附

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矩形AT切割石英晶体谐振器的振动分析与设计 被引量：2

3

作者 公勋 章德 《南京大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 2000年第3期336-341,共6页

随着石英体波谐振器向小型化和高性能方向的发展 ,控制晶片中的模式耦合问题便成了保证晶振性能的关键 从R .D .Mindlin的两维方程入手 ,分析了AT切石英晶片中的振动模式 首先得出了无穷大晶片中的色散关系 ,继而又得到了矩形晶片振... 随着石英体波谐振器向小型化和高性能方向的发展 ,控制晶片中的模式耦合问题便成了保证晶振性能的关键 从R .D .Mindlin的两维方程入手 ,分析了AT切石英晶片中的振动模式 首先得出了无穷大晶片中的色散关系 ,继而又得到了矩形晶片振动频率和长厚比 (晶片的长度与厚度的比值 )、宽厚比 (晶片的宽度与厚度的比值 )之间的关系 ,并与实际生产中所采用的数据进行对比 ,符合得十分好 最后以计算结果为指导 ,举例了一种 展开更多

关键词 模式耦合 振动分析 设计 石英晶体谐振器

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石英晶体谐振器预应力条件下的模态分析 被引量：1

4

作者 李辉 陈向东 冯瑛 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第1期22-24,共3页

针对石英晶体谐振器在受到外力后其振动模态如何变化的问题,基于Mindlin的振动理论通过ANSYS有限元仿真得出横向力引起石英晶体谐振器的振动模态形状。结果表明:在外力的作用下石英晶体的振动位移大小和振动方向都发生了改变。该结果对... 针对石英晶体谐振器在受到外力后其振动模态如何变化的问题,基于Mindlin的振动理论通过ANSYS有限元仿真得出横向力引起石英晶体谐振器的振动模态形状。结果表明:在外力的作用下石英晶体的振动位移大小和振动方向都发生了改变。该结果对于压力传感器和石英微天平的开发应用具有重要意义。 展开更多

关键词 石英晶体谐振器 预应力 模态分析 力频效应

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基于石英晶体谐振器的三分量压力仪的研制

5

作者 崔笃信 王庆良 +1 位作者 陶茂盛 周辉 《大地测量与地球动力学》 CSCD 北大核心 2013年第3期144-147,共4页

介绍一种基于AT切石英晶体谐振器力-频线性关系原理研制的土层压力仪。该压力仪由三个相互垂直的压力传感器和一个温度传感器及采集器构成。测试结果表明:传感器的量程为0～1.0 MPa;非线性度小于1.0%;重复性误差小于0.05%;滞后误差小于0... 介绍一种基于AT切石英晶体谐振器力-频线性关系原理研制的土层压力仪。该压力仪由三个相互垂直的压力传感器和一个温度传感器及采集器构成。测试结果表明:传感器的量程为0～1.0 MPa;非线性度小于1.0%;重复性误差小于0.05%;滞后误差小于0.1%。温度的测量精度优于0.01℃。 展开更多

关键词 石英晶体谐振器 土层压力仪 非线性度 温度传感器 测量精度

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石英晶体谐振器频率测量的误差因素分析

6

作者 李东 刘桂礼 赵双琦 《中国科学院研究生院学报》 CAS CSCD 1999年第2期202-205,共4页

在使用通用的阻抗计法测量石英晶体谐振器的谐振频率和其它电参数时，晶体接入测量线路时产生的分布参数严重影响其测量精度．分析这些影响产生的原因并据此改进测量方法和采取适当的补偿措施。

关键词 频率测量 谐振频率 误差分析 石英晶体谐振器

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石英晶体谐振器生产工艺流程综述 被引量：3

7

作者 林勇 陈桦 《电讯技术》 北大核心 1997年第3期15-20,共6页

本文主要介绍石英晶体谐振器生产线生产工艺。并对Ｕｍ－５微小型石英晶体谐振器的应用情况作了简要说明。

关键词 石英晶体谐振器 生产工艺 振荡器

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HF和VHF微小型石英晶体谐振器 被引量：1

8

作者 林勇 刘兰村 《电讯技术》 北大核心 1992年第4期16-23,共8页

本文简要介绍石英晶体谐振器小型化的发展概况,较详细地介绍了J_(A7)系列石英晶体谐振器的设计、制造工艺及试验样品的性能,对该产品的初步应用情况也作了简单说明。该产品的频率覆盖范围是8～350MHz,其频率制造公差在±10ppm以内,... 本文简要介绍石英晶体谐振器小型化的发展概况,较详细地介绍了J_(A7)系列石英晶体谐振器的设计、制造工艺及试验样品的性能,对该产品的初步应用情况也作了简单说明。该产品的频率覆盖范围是8～350MHz,其频率制造公差在±10ppm以内,温度频差在-55～+90℃的宽温度范围内为±50ppm,当工作范围分别为0～60℃,-20～+60℃时,可以达到±5ppm,±10ppm内的小公差。微小型石英谐振器体积小,仅为8×8×3.2mm^3和8×6.5×3.2mm^3,重量小于0.4g,且质量稳定可靠,它们是移动通信等电子设备中良好的电子元器件。 展开更多

关键词 电子元件 石英晶体谐振器 HF VHF 振荡器

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热冲击对石英晶体谐振器稳定性的影响研究

9

作者 尹小三 徐俊俊 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第5期607-610,共4页

分析并研究了瞬时热冲击之一的回流焊对石英晶体谐振器频率稳定性的影响,综合已有研究经验和回流焊后频率的可恢复性,推断薄膜应力是回流焊后频率稳定性的主要影响因子。通过试验发现,薄膜溅射功率降至200 W或薄膜热退火温度升至350℃... 分析并研究了瞬时热冲击之一的回流焊对石英晶体谐振器频率稳定性的影响,综合已有研究经验和回流焊后频率的可恢复性,推断薄膜应力是回流焊后频率稳定性的主要影响因子。通过试验发现,薄膜溅射功率降至200 W或薄膜热退火温度升至350℃可有效改善回流焊后谐振器的频率稳定性,回流焊后频率变化量降低(4~5)×10^-6。采用显微拉曼光谱仪对回流焊前、后的石英晶片进行分析发现,其在回流焊后的拉曼特征峰明显往高频移动,推断是由于薄膜热膨胀引起的张应力增大而致石英晶片内压应力增加约8 MPa;随冷却时间延长,薄膜收缩而致石英晶片内压应力减小,频率逐渐恢复。结果表明,薄膜应力变化是回流焊对谐振器频率稳定性的影响机理。 展开更多

关键词 石英晶体谐振器 热冲击 回流焊 频率稳定性 薄膜应力 影响机理

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石英谐振器在强磁场中的磁-敏特性

10

作者 李辉 陈向东 杜广涛 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期383-387,共5页

研究了石英晶体谐振器在强磁场影响下频率变化的原因。结果表明石英晶体谐振器的磁性支架在受到磁场的影响下产生相应的应力,该应力沿石英晶片的边缘作用于石英晶体引起谐振器频率的变化。该实验结果对如何减小磁场对石英晶体谐振器的... 研究了石英晶体谐振器在强磁场影响下频率变化的原因。结果表明石英晶体谐振器的磁性支架在受到磁场的影响下产生相应的应力,该应力沿石英晶片的边缘作用于石英晶体引起谐振器频率的变化。该实验结果对如何减小磁场对石英晶体谐振器的影响有一定的参考价值。 展开更多

关键词 石英晶体谐振器 磁场 力-频效应

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基于磁控溅射的石英谐振器升频微调技术

11

作者 杨秀涛 张骏淋 +2 位作者 周彪 王文武 曾广根 《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第2期248-253,共6页

石英晶体谐振器(QCR)是现代电子行业领域中一种不可缺少的电子元器件。通过计算并沉积不同形状及厚度的电极在具有某一基准频率的石英晶片上,即可得到所需目标频率。受镀膜设备、掩膜板、晶体尺寸及镀膜位置等因素的影响,很难精确地一... 石英晶体谐振器(QCR)是现代电子行业领域中一种不可缺少的电子元器件。通过计算并沉积不同形状及厚度的电极在具有某一基准频率的石英晶片上,即可得到所需目标频率。受镀膜设备、掩膜板、晶体尺寸及镀膜位置等因素的影响,很难精确地一次性得到目标频率,特别是对于批量生产的石英谐振器,要获得一致性很好的频率更难,因此,后期的频率微调很重要。频率微调法包括物理法和化学法,一般通过改变石英晶片或电极的质量来实现升频或降频。该文首先综述了激光刻蚀和离子束刻蚀物理法升频技术,然后结合相关技术的发展,在论证可行性的基础上,创新性地提出使用磁控溅射技术进行升频微调,并建立了理论模型。 展开更多

关键词 电极 磁控溅射 升频微调 石英晶体谐振器

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石英晶体板高频振动的三维有限元分析 被引量：13

12

作者 吴荣兴 李继亮 +1 位作者 于兰珍 王骥 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2014年第5期821-824,共4页

通过建立石英晶体板的三维模型,运用有限元分析软件ANSYS获得了石英晶体板厚度剪切振动的振动频率和位移云图。验证了数值计算结果的收敛性并提出了避免振动模态强烈耦合的石英晶体板最佳长厚比的选取方法。模型分析过程中发现,六面体... 通过建立石英晶体板的三维模型,运用有限元分析软件ANSYS获得了石英晶体板厚度剪切振动的振动频率和位移云图。验证了数值计算结果的收敛性并提出了避免振动模态强烈耦合的石英晶体板最佳长厚比的选取方法。模型分析过程中发现,六面体网格比四面体网格易观察到石英晶体板的厚度剪切振动。 展开更多

关键词 石英晶体谐振器 板 有限元法 厚度剪切振动 频率 位移

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AT切石英晶体频率力敏特性的实验研究 被引量：4

13

作者 路峻岭 田文杰 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2003年第8期46-47,53,共3页

研究了石英晶体谐振器的力敏特征及晶体的活力与晶片的外形结构、电极尺寸、激励电平、振动模式的关系。实验表明,沿厚度方向剪切振动的AT切石英晶体谐振器的频率力敏特性与激励电平及电极大小无关,泛音振动下的频率力敏特性的增加与泛... 研究了石英晶体谐振器的力敏特征及晶体的活力与晶片的外形结构、电极尺寸、激励电平、振动模式的关系。实验表明,沿厚度方向剪切振动的AT切石英晶体谐振器的频率力敏特性与激励电平及电极大小无关,泛音振动下的频率力敏特性的增加与泛音次数的增加不成严格的倍数关系,晶体的活力与晶体外形、谐振频率及受力无关。 展开更多

关键词 石英晶体谐振器 力敏特征 实验研究 电极尺寸 激励电平 振动模式

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石英谐振式力传感器的结构模型与性能分析 被引量：2

14

作者 董永贵 朱惠忠 冯冠平 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第1期102-105,共4页

石英谐振式力传感器的结构模型与性能分析＊董永贵王朱惠忠冯冠平（清华大学精密仪器与机械学系北京１０００８４）０引言称重测力传感器是使用相当广泛的一种传感器。应变式力传感器因发展历史悠久，其制作、测量方式及后续电路等... 石英谐振式力传感器的结构模型与性能分析＊董永贵王朱惠忠冯冠平（清华大学精密仪器与机械学系北京１０００８４）０引言称重测力传感器是使用相当广泛的一种传感器。应变式力传感器因发展历史悠久，其制作、测量方式及后续电路等相关技术已相当成熟，因而使用广泛。... 展开更多

关键词 传感器 力传感器 石英谐振式 石英晶体谐振器

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基于石英晶体三分量土层压力传感器研制 被引量：1

15

作者 崔笃信 王庆良 +1 位作者 陶茂盛 周辉 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第3期372-375,共4页

介绍了一种基于AT切石英晶体谐振器力-频线性关系原理研制的土层压力传感器。该压力传感器由3个相互垂直的压力传感器和1个温度传感构成,采用等精度频率测量技术,实现高精度数据采集,用RS485串行接口进行数据传输。重点介绍了传感器的... 介绍了一种基于AT切石英晶体谐振器力-频线性关系原理研制的土层压力传感器。该压力传感器由3个相互垂直的压力传感器和1个温度传感构成,采用等精度频率测量技术,实现高精度数据采集,用RS485串行接口进行数据传输。重点介绍了传感器的结构设计,并对弹性膜片材料和厚度与量程和灵敏度的关系进行试验和研究。研制的传感器量程为0～1.0MPa,非线性度小于1.0%,重复性误差小于0.05%,滞后误差小于0.1%,温度的测量精度为0.01℃,可用于地震监测的试验。 展开更多

关键词 石英晶体谐振器 土层压力传感器 等精度频率测量

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表面物理性吸附与石英晶体湿度传感器性能的研究 被引量：2

16

作者 董永贵 冯冠平 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第5期94-100,共7页

本文针对带有吸湿性涂层的石英晶体谐振器的研究，提出了一种三层结构的力学模型，并在此基础上导出了谐振器频偏量与表面吸附量间的关系公式。实验证明该公式更好地反映了表面吸附与湿敏特性的关系。对于其它石英晶体谐振式气敏及离子... 本文针对带有吸湿性涂层的石英晶体谐振器的研究，提出了一种三层结构的力学模型，并在此基础上导出了谐振器频偏量与表面吸附量间的关系公式。实验证明该公式更好地反映了表面吸附与湿敏特性的关系。对于其它石英晶体谐振式气敏及离子敏传感器，该公式也具有相当的实用意义。 展开更多

关键词 石英晶体谐振器 物理性吸附 表面涂覆

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晶体浸锡机的PLC控制系统 被引量：1

17

作者 杨宜平 魏泽鼎 岳彦芳 《机床与液压》 北大核心 2003年第6期181-182,共2页

本文介绍了一个采用PLC -触摸屏电控系统的浸锡设备 ,并对设备工作过程及控制系统的软、硬件设计进行了详细分析。

关键词 晶体浸锡机 PLC 控制系统 触摸屏 电控系统 石英晶体谐振器

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基于压电谐振频率的PM2.5监测系统 被引量：2

18

作者 谢建宏 胡兆吉 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期560-563,共4页

基于压电谐振频率法采用模块化设计思想,设计了压电谐振式PM2.5监测系统,对系统的采样单元、谐振单元、频率测试与显示单元、控制单元等部件进行设计,并对系统进行集成与性能评价。为实现对PM2.5颗粒物的有效采样,并减小温度等环境因素... 基于压电谐振频率法采用模块化设计思想,设计了压电谐振式PM2.5监测系统,对系统的采样单元、谐振单元、频率测试与显示单元、控制单元等部件进行设计,并对系统进行集成与性能评价。为实现对PM2.5颗粒物的有效采样,并减小温度等环境因素对压电晶体检测性能的影响,系统采用惯性冲击式分粒原理结合静电沉降的采样方案,以2个相同的石英晶体振荡电路来构建双石英晶体谐振器,建立压电谐振频率与压电晶片质量间的关系,实现根据压电谐振频率的变化来确定PM2.5的质量浓度。系统测试结果表明,PM2.5测试数据与官方公布的数据相近,数据变化趋势一致。该PM2.5监测系统能反映被测区域PM2.5质量浓度的变化情况,满足PM2.5监测需求。 展开更多

关键词 压电谐振频率 PM2.5监测 惯性冲击式分粒原理 静电沉降 双石英晶体谐振器

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药品包衣厚度测量系统晶振频率分析及实验研究 被引量：1

19

作者 何高法 周传德 +1 位作者 任建兵 马霞 《中国测试》 CAS 北大核心 2016年第5期28-32,共5页

为提高药品包衣效果和包衣质量,针对包衣厚度在线监测问题,提出基于石英晶体谐振原理的包衣厚度测量方法。利用石英晶体的压电效应原理分析石英晶体谐振片厚度剪切振动的谐振频率与包衣厚度之间的函数关系,使用等效密度法建立有限元模... 为提高药品包衣效果和包衣质量,针对包衣厚度在线监测问题,提出基于石英晶体谐振原理的包衣厚度测量方法。利用石英晶体的压电效应原理分析石英晶体谐振片厚度剪切振动的谐振频率与包衣厚度之间的函数关系,使用等效密度法建立有限元模型并分析石英晶体谐振器在不同膜厚情况下的模态和谐振频率,理论和有限元分析结果均表明晶片的谐振频率随薄膜厚度的增加而降低,且呈近似的线性关系,检测灵敏度约为12 k Hz/μm。使用石英晶体微天平系统进行包衣厚度的测量实验,实测厚度和分析结果具有很好的一致性。研究结果表明基于石英晶体谐振的膜厚测量法可以应用于制药包衣厚度的实时测量。 展开更多

关键词 石英晶体谐振器 薄膜厚度 包衣 有限元分析

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关于真空激光减薄薄膜技术的研究 被引量：3

20

作者 邵净羽 王德苗 任高潮 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期93-97,共5页

本文提出了一种新颖的可精确、快速、清洁的减薄薄膜的技术——真空激光减薄技术。即指利用激光器发出的脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑,调节到适当的能量密度,对真空环境中的薄膜层进行高速扫描,从而减薄膜层。实验中,将此种技术对石... 本文提出了一种新颖的可精确、快速、清洁的减薄薄膜的技术——真空激光减薄技术。即指利用激光器发出的脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑,调节到适当的能量密度,对真空环境中的薄膜层进行高速扫描,从而减薄膜层。实验中,将此种技术对石英晶片表面膜层进行减薄。根据石英晶振谐振频率与其表面膜层厚度之间的反比关系,来间接测量激光对于石英晶振的膜厚减薄量。实验证实了真空激光减薄方法的可行性。膜层减薄厚度最小可达15.9,对应频率改变量为12Hz,亦即频率改变量可达2ppm以下。减薄速率可达到每秒1～2个石英晶振片。 展开更多

关键词 激光 减薄 薄膜 石英晶体谐振器

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