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薄膜厚度的多探头计算机实时测控系统
被引量：
3
1
作者
范智勇
陈殿勇
+1 位作者
莫晓亮
陈国荣
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2001年第2期166-169,共4页
阐述了用声阻抗法实时监测薄膜沉积的原理 ,介绍了一种使用个人计算机的实时测控系统。它可在真空镀膜的过程中对膜厚进行实时测量和控制 ,允许使用多个石英晶体探头 ,以适应多源共蒸发真空镀膜的需要。监测的过程和结果可以存储下来进...
阐述了用声阻抗法实时监测薄膜沉积的原理 ,介绍了一种使用个人计算机的实时测控系统。它可在真空镀膜的过程中对膜厚进行实时测量和控制 ,允许使用多个石英晶体探头 ,以适应多源共蒸发真空镀膜的需要。监测的过程和结果可以存储下来进行分析。为优化镀膜工艺提供了很大的方便。
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关键词
计算机
薄膜厚度
多探头
声阻抗
法
实时测控系统
真空镀膜
石英晶体荡法
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职称材料
题名
薄膜厚度的多探头计算机实时测控系统
被引量：
3
1
作者
范智勇
陈殿勇
莫晓亮
陈国荣
机构
复旦大学材料科学系
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2001年第2期166-169,共4页
文摘
阐述了用声阻抗法实时监测薄膜沉积的原理 ,介绍了一种使用个人计算机的实时测控系统。它可在真空镀膜的过程中对膜厚进行实时测量和控制 ,允许使用多个石英晶体探头 ,以适应多源共蒸发真空镀膜的需要。监测的过程和结果可以存储下来进行分析。为优化镀膜工艺提供了很大的方便。
关键词
计算机
薄膜厚度
多探头
声阻抗
法
实时测控系统
真空镀膜
石英晶体荡法
Keywords
Computer,Thin film thickness,Real time in situ monitor,Multi probe
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
TP399 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
薄膜厚度的多探头计算机实时测控系统
范智勇
陈殿勇
莫晓亮
陈国荣
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2001
3
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