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原子力显微镜法测试石墨烯厚度的数据处理方法对比
被引量：
1
1
作者
刘斌
王良旺
+2 位作者
何立粮
徐岩岩
张双红
《中国测试》
CAS
北大核心
2023年第S01期115-120,共6页
原子力显微镜可用于石墨烯厚度的测定。列举三种常用的原子力显微镜厚度数据处理方法:平均值法、最小二乘法和直方图法。从石墨烯原子力显微镜测试图像中选取216组横向截面高度数据,从原理、结果分析、优缺点等方面对三种数据处理方法...
原子力显微镜可用于石墨烯厚度的测定。列举三种常用的原子力显微镜厚度数据处理方法:平均值法、最小二乘法和直方图法。从石墨烯原子力显微镜测试图像中选取216组横向截面高度数据,从原理、结果分析、优缺点等方面对三种数据处理方法进行对比和探讨。结果表明:三种数据处理方法所得厚度结果的相关性极强;平均值法和最小二乘法的厚度计算在数学上是等价的,计算过程均不受数据量影响,最小二乘法拟合的斜率可反映台阶倾斜情况;直方图法可以有效减少吸附污染物和噪声效应对厚度计算的影响,数据量过少不利于高斯拟合,且数据量越大高斯拟合越精准,在数据量较多的情况下宜采用直方图法。
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关键词
原子力显微镜
石墨
烯
厚度
平均值法
最小二乘法
直方图法
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职称材料
用热壁CVD法在SiC衬底上生长SiCGe合金的热场分析与设计
被引量：
4
2
作者
蒲红斌
陈治明
+4 位作者
李留臣
封先锋
张群社
沃立民
黄媛媛
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期712-716,共5页
采用有限元法,对热壁CVD法SiCGe合金生长炉中加热组件的感应加热和温度分布进行了研究。分析了感应线圈匝数和石墨衬托的厚度对磁矢势和温度分布的影响,获取了感应线圈数越多感应生成焦耳热越大且越均匀的结论,得出了随石墨厚度的增加...
采用有限元法,对热壁CVD法SiCGe合金生长炉中加热组件的感应加热和温度分布进行了研究。分析了感应线圈匝数和石墨衬托的厚度对磁矢势和温度分布的影响,获取了感应线圈数越多感应生成焦耳热越大且越均匀的结论,得出了随石墨厚度的增加升温速率而增加,相反轴向温度均匀性而变差的设计准则。模拟结果表明选取16匝线圈和10mm左右的石墨壁厚为优化的设计参数。
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关键词
碳化硅
碳硅镓化合物
温度场
优化设计
热壁化学气相沉积法
感应加热
有限元
石墨厚度
感应线圈数
半导体材料
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职称材料
题名
原子力显微镜法测试石墨烯厚度的数据处理方法对比
被引量：
1
1
作者
刘斌
王良旺
何立粮
徐岩岩
张双红
机构
广州特种承压设备检测研究院国家石墨烯产品质量检验检测中心(广东)
出处
《中国测试》
CAS
北大核心
2023年第S01期115-120,共6页
基金
广东省市场监督管理局项目(2023CT10,2022CT09)
广州市科技计划项目(202102080303)
文摘
原子力显微镜可用于石墨烯厚度的测定。列举三种常用的原子力显微镜厚度数据处理方法:平均值法、最小二乘法和直方图法。从石墨烯原子力显微镜测试图像中选取216组横向截面高度数据,从原理、结果分析、优缺点等方面对三种数据处理方法进行对比和探讨。结果表明:三种数据处理方法所得厚度结果的相关性极强;平均值法和最小二乘法的厚度计算在数学上是等价的,计算过程均不受数据量影响,最小二乘法拟合的斜率可反映台阶倾斜情况;直方图法可以有效减少吸附污染物和噪声效应对厚度计算的影响,数据量过少不利于高斯拟合,且数据量越大高斯拟合越精准,在数据量较多的情况下宜采用直方图法。
关键词
原子力显微镜
石墨
烯
厚度
平均值法
最小二乘法
直方图法
Keywords
atomic force microscope
graphene thickness
mean value method
least squares method
histogram method
分类号
TQ127.11 [化学工程—无机化工]
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职称材料
题名
用热壁CVD法在SiC衬底上生长SiCGe合金的热场分析与设计
被引量：
4
2
作者
蒲红斌
陈治明
李留臣
封先锋
张群社
沃立民
黄媛媛
机构
西安理工大学自动化与信息工程学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期712-716,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.6037601)西安理工大学科技创新项目
文摘
采用有限元法,对热壁CVD法SiCGe合金生长炉中加热组件的感应加热和温度分布进行了研究。分析了感应线圈匝数和石墨衬托的厚度对磁矢势和温度分布的影响,获取了感应线圈数越多感应生成焦耳热越大且越均匀的结论,得出了随石墨厚度的增加升温速率而增加,相反轴向温度均匀性而变差的设计准则。模拟结果表明选取16匝线圈和10mm左右的石墨壁厚为优化的设计参数。
关键词
碳化硅
碳硅镓化合物
温度场
优化设计
热壁化学气相沉积法
感应加热
有限元
石墨厚度
感应线圈数
半导体材料
Keywords
SiCGe
hot-wall CVD
induction heating
temperature field
finite element
分类号
TN304.26 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
原子力显微镜法测试石墨烯厚度的数据处理方法对比
刘斌
王良旺
何立粮
徐岩岩
张双红
《中国测试》
CAS
北大核心
2023
1
在线阅读
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职称材料
2
用热壁CVD法在SiC衬底上生长SiCGe合金的热场分析与设计
蒲红斌
陈治明
李留臣
封先锋
张群社
沃立民
黄媛媛
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
4
在线阅读
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职称材料
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引证文献
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