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矩形AT切石英谐振器寄生振动模式的有限元分析
被引量：
2
1
作者
王为标
章德
《南京大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第2期234-240,共7页
随着实际应用中的谐振器向小型化与高频发展 ,AT切石英晶体谐振器中寄生振动模式增多 ,寄生振动模式与主模式厚度切变模式之间的耦合问题越来越突出 .因此有必要对与晶片X和Z’尺寸均有关的寄生模式进行理论分析 .以Mindlin的二维晶片...
随着实际应用中的谐振器向小型化与高频发展 ,AT切石英晶体谐振器中寄生振动模式增多 ,寄生振动模式与主模式厚度切变模式之间的耦合问题越来越突出 .因此有必要对与晶片X和Z’尺寸均有关的寄生模式进行理论分析 .以Mindlin的二维晶片方程为基础 ,运用有限元法求解AT切石英晶体谐振器的振动模式 ,得到了晶片频率随X长度变化的频谱图 .其结果与Koga的实验结果比较 ,符合得比较好 .与通常用解析解的方法分析的结果相比较 ,有限元法的优越性在于可得到更多的非直行波模式 (非晶片长、宽方向 ) ,还可以模拟出各模式的主要位移分量的波形图 。
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关键词
矩形at切石英谐振器
寄生振动模式
有限元分析
频谱图
位移分量
基频
切
变模式
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职称材料
SAW谐振器传播属性的有限元仿真
2
作者
黄小林
曹培
朱嘉林
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2012年第4期501-504,共4页
首先从理论上阐述了声表面波(SAW)谐振器传播属性的有限元分析(FEA)法;然后利用ANSYS软件,对ST切石英晶片的SAW谐振器进行模态分析和谐响应分析;最后处理仿真结果并得到结论:通过合成表面节点横向和纵向的模态位移得出SAW中质点的运动...
首先从理论上阐述了声表面波(SAW)谐振器传播属性的有限元分析(FEA)法;然后利用ANSYS软件,对ST切石英晶片的SAW谐振器进行模态分析和谐响应分析;最后处理仿真结果并得到结论:通过合成表面节点横向和纵向的模态位移得出SAW中质点的运动轨迹是椭圆,通过模态频率和对应的波长算出SAW在ST切石英晶片中的传播速度,通过分析纵向节点模态位移得出SAW的能量集中在距表面2个波长深度的范围内,通过幅频特性图得出谐振器在SAW频率处具有最大的频率响应。这些结论与理论基本一致,为设计SAW器件和研究SAW传感器提供了仿真依据。
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关键词
声表面波(SAW)
谐振器
传播属性
有限元
ST
切
石英
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职称材料
题名
矩形AT切石英谐振器寄生振动模式的有限元分析
被引量：
2
1
作者
王为标
章德
机构
南京大学声学研究所
出处
《南京大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第2期234-240,共7页
文摘
随着实际应用中的谐振器向小型化与高频发展 ,AT切石英晶体谐振器中寄生振动模式增多 ,寄生振动模式与主模式厚度切变模式之间的耦合问题越来越突出 .因此有必要对与晶片X和Z’尺寸均有关的寄生模式进行理论分析 .以Mindlin的二维晶片方程为基础 ,运用有限元法求解AT切石英晶体谐振器的振动模式 ,得到了晶片频率随X长度变化的频谱图 .其结果与Koga的实验结果比较 ,符合得比较好 .与通常用解析解的方法分析的结果相比较 ,有限元法的优越性在于可得到更多的非直行波模式 (非晶片长、宽方向 ) ,还可以模拟出各模式的主要位移分量的波形图 。
关键词
矩形at切石英谐振器
寄生振动模式
有限元分析
频谱图
位移分量
基频
切
变模式
Keywords
resonator
vibrational modes
finite element method
分类号
TN752.2 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
SAW谐振器传播属性的有限元仿真
2
作者
黄小林
曹培
朱嘉林
机构
北京信息科技大学传感技术研究中心
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2012年第4期501-504,共4页
基金
北京市教育委员会科技计划面上基金资助项目(KM201110772010)
文摘
首先从理论上阐述了声表面波(SAW)谐振器传播属性的有限元分析(FEA)法;然后利用ANSYS软件,对ST切石英晶片的SAW谐振器进行模态分析和谐响应分析;最后处理仿真结果并得到结论:通过合成表面节点横向和纵向的模态位移得出SAW中质点的运动轨迹是椭圆,通过模态频率和对应的波长算出SAW在ST切石英晶片中的传播速度,通过分析纵向节点模态位移得出SAW的能量集中在距表面2个波长深度的范围内,通过幅频特性图得出谐振器在SAW频率处具有最大的频率响应。这些结论与理论基本一致,为设计SAW器件和研究SAW传感器提供了仿真依据。
关键词
声表面波(SAW)
谐振器
传播属性
有限元
ST
切
石英
Keywords
SAW resonator
propagation property
finite element
ST-cut quartz
分类号
O422.1 [理学—声学]
O732.1 [理学—晶体学]
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职称材料
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作者
出处
发文年
被引量
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1
矩形AT切石英谐振器寄生振动模式的有限元分析
王为标
章德
《南京大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2002
2
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职称材料
2
SAW谐振器传播属性的有限元仿真
黄小林
曹培
朱嘉林
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2012
0
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职称材料
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