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具有优良隔热和力学性能的低热导率W/Al2O3纳米多层功能膜的构建
被引量：
1
1
作者
吴珊妮
赵远
+2 位作者
姜宏
文峰
熊春荣
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第2期2023-2028,共6页
本研究以高纯W与Al2O3为靶材,在常温下采用磁控溅射法在钠钙硅玻璃表面交替镀制了W及Al2O3纳米多层膜。在多层膜总厚度相同的条件下,研究了不同W/Al2O3周期厚度对隔热性能的影响。采用台阶仪、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、场发射...
本研究以高纯W与Al2O3为靶材,在常温下采用磁控溅射法在钠钙硅玻璃表面交替镀制了W及Al2O3纳米多层膜。在多层膜总厚度相同的条件下,研究了不同W/Al2O3周期厚度对隔热性能的影响。采用台阶仪、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、场发射透射电镜(TEM)等对多层膜的形貌及结构进行了表征。采用瞬态热反射法(TTR)、纳米压痕仪分别分析了多层膜的隔热性能和力学性能。结果表明,实验沉积的多层膜中各单层均匀连续,不存在断层现象,且层间界面清晰。Al2O3膜层呈非晶形态,W膜层具有亚稳态β-W(210)的择优取向,并在周期厚度为5 nm时呈现明显的非晶态。随着膜层界面密度的增大,多层膜的热阻增大,热导率减小,硬度增大。周期厚度为5 nm、膜层数为41层的W/Al2O3多层膜具有较为优异的隔热性能与力学性能,其热阻为3.14×10^-7 m^2·K·W^-1,有效热导率为0.36 W·m^-1·K^-1,硬度为8.53 GPa,膜/基结合力为42.20 mN。所制备的多层膜在室温到500℃之间具有良好的热稳定性。
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关键词
W/Al2O3多层膜
磁控溅射
热
导率
周期厚度
瞬态热反射法
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职称材料
题名
具有优良隔热和力学性能的低热导率W/Al2O3纳米多层功能膜的构建
被引量：
1
1
作者
吴珊妮
赵远
姜宏
文峰
熊春荣
机构
海南大学南海海洋资源利用国家重点实验室海南大学海南省特种玻璃重点实验室
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第2期2023-2028,共6页
基金
海南省重大科技计划项目(ZDKJ2017011)
国家自然科学基金(51761010)~~
文摘
本研究以高纯W与Al2O3为靶材,在常温下采用磁控溅射法在钠钙硅玻璃表面交替镀制了W及Al2O3纳米多层膜。在多层膜总厚度相同的条件下,研究了不同W/Al2O3周期厚度对隔热性能的影响。采用台阶仪、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、场发射透射电镜(TEM)等对多层膜的形貌及结构进行了表征。采用瞬态热反射法(TTR)、纳米压痕仪分别分析了多层膜的隔热性能和力学性能。结果表明,实验沉积的多层膜中各单层均匀连续,不存在断层现象,且层间界面清晰。Al2O3膜层呈非晶形态,W膜层具有亚稳态β-W(210)的择优取向,并在周期厚度为5 nm时呈现明显的非晶态。随着膜层界面密度的增大,多层膜的热阻增大,热导率减小,硬度增大。周期厚度为5 nm、膜层数为41层的W/Al2O3多层膜具有较为优异的隔热性能与力学性能,其热阻为3.14×10^-7 m^2·K·W^-1,有效热导率为0.36 W·m^-1·K^-1,硬度为8.53 GPa,膜/基结合力为42.20 mN。所制备的多层膜在室温到500℃之间具有良好的热稳定性。
关键词
W/Al2O3多层膜
磁控溅射
热
导率
周期厚度
瞬态热反射法
Keywords
W/Al2O3 multilayer films
magnetron sputtering
thermal conductivity
periodic thickness
transient thermoreflectance technique
分类号
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
TB79 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
具有优良隔热和力学性能的低热导率W/Al2O3纳米多层功能膜的构建
吴珊妮
赵远
姜宏
文峰
熊春荣
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
1
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职称材料
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