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缺陷俘获势垒测定新方法──瞬态光霍耳谱 被引量:2
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作者 封松林 王海龙 +1 位作者 周洁 杨锡震 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第1期1-5,共5页
以瞬态光霍尔测量为基础,建立了直接观测俘获过程的深中心分析测试新手段.该方法不需要做肖特基结、p-n结、或MIS结构,几乎可在零电场下测量缺陷参数,克服电场、德拜带尾、非指数瞬态等对缺陷特性的影响,也克服了深能级瞬态... 以瞬态光霍尔测量为基础,建立了直接观测俘获过程的深中心分析测试新手段.该方法不需要做肖特基结、p-n结、或MIS结构,几乎可在零电场下测量缺陷参数,克服电场、德拜带尾、非指数瞬态等对缺陷特性的影响,也克服了深能级瞬态谱技术(DLTS)只能通过载流子发射过程间接测量俘获参数的缺点.用此方法测量了Ga0.7Al0. 展开更多
关键词 瞬态光霍耳谱 俘获势垒 缺陷 半导体
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