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基体材料对TiN薄膜表面液滴及薄膜结合力的影响
被引量：
16
1
作者
龚才
代明江
+2 位作者
陈明安
韦春贝
侯惠君
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第1期27-33,共7页
采用真空阴极电弧离子镀技术分别在4Cr5MoSiV1(H13)模具钢、Cr18Ni9Ti(304)不锈钢、YG6硬质合金、Ti6Al4V(TC4)钛合金4种基体表面沉积TiN薄膜。利用扫描电镜(SEM)对薄膜表面液滴进行观察分析,通过划痕仪对薄膜的膜/基结合力进行表征。...
采用真空阴极电弧离子镀技术分别在4Cr5MoSiV1(H13)模具钢、Cr18Ni9Ti(304)不锈钢、YG6硬质合金、Ti6Al4V(TC4)钛合金4种基体表面沉积TiN薄膜。利用扫描电镜(SEM)对薄膜表面液滴进行观察分析,通过划痕仪对薄膜的膜/基结合力进行表征。结果表明:基体材料不同,TiN薄膜上液滴的密度、尺寸存在明显的区别。其中,镀膜后H13钢和304不锈钢表面的液滴数量最多,YG6硬质合金次之,TC4钛合金最少;薄膜的膜/基结合强度依次为YG6硬质合金>H13钢>304不锈钢>TC4钛合金。
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关键词
真空阴极电弧离子镀
TIN薄膜
液滴
膜
基结合力
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职称材料
题名
基体材料对TiN薄膜表面液滴及薄膜结合力的影响
被引量：
16
1
作者
龚才
代明江
陈明安
韦春贝
侯惠君
机构
中南大学材料科学与工程学院
广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)新材料研究所
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第1期27-33,共7页
文摘
采用真空阴极电弧离子镀技术分别在4Cr5MoSiV1(H13)模具钢、Cr18Ni9Ti(304)不锈钢、YG6硬质合金、Ti6Al4V(TC4)钛合金4种基体表面沉积TiN薄膜。利用扫描电镜(SEM)对薄膜表面液滴进行观察分析,通过划痕仪对薄膜的膜/基结合力进行表征。结果表明:基体材料不同,TiN薄膜上液滴的密度、尺寸存在明显的区别。其中,镀膜后H13钢和304不锈钢表面的液滴数量最多,YG6硬质合金次之,TC4钛合金最少;薄膜的膜/基结合强度依次为YG6硬质合金>H13钢>304不锈钢>TC4钛合金。
关键词
真空阴极电弧离子镀
TIN薄膜
液滴
膜
基结合力
Keywords
vacuum cathodic arc ion plating
TiN films
droplets
film/substrate adhesion strength
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
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作者
出处
发文年
被引量
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1
基体材料对TiN薄膜表面液滴及薄膜结合力的影响
龚才
代明江
陈明安
韦春贝
侯惠君
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
16
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