阴极真空弧放电等离子体的过滤及传输 被引量：5

1

作者 罗云 张孝吉 +2 位作者 张荟星 周凤生 吴先映 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1996年第3期334-337,共4页

阴极真空孤放电产生高密度等离子体的同时，也产生了尺寸可达微米量级的液滴，液滴对膜层的污染限制了它的应用。为解决这个问题，可采用轴对称磁场约束阴极斑，磁过滤器过滤等离子体出束中的液滴。结果表明液滴在磁过滤器出口处已基本... 阴极真空孤放电产生高密度等离子体的同时，也产生了尺寸可达微米量级的液滴，液滴对膜层的污染限制了它的应用。为解决这个问题，可采用轴对称磁场约束阴极斑，磁过滤器过滤等离子体出束中的液滴。结果表明液滴在磁过滤器出口处已基本上被过滤掉了，该处离子束流达到１２０ｍＡ。 展开更多

关键词 阴极真空弧放电 等离子体 过滤 离子镀膜 传输

在线阅读 下载PDF 职称材料

磁过滤真空阴极电弧技术弧电流对四面体非晶碳薄膜性能的影响 被引量：2

2

作者 于振华 姜康 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第12期1206-1211,共6页

研究了磁过滤阴极真空电弧技术中不同弧电流(20~100 A),制备的四面体非晶碳薄膜性能的影响。通过对薄膜厚度、薄膜硬度、表面形貌以及sp3键含量随弧电流的变化结果进行了测试。结果表明,当弧电流从20增大至100 A,表征薄膜sp杂化碳含量的... 研究了磁过滤阴极真空电弧技术中不同弧电流(20~100 A),制备的四面体非晶碳薄膜性能的影响。通过对薄膜厚度、薄膜硬度、表面形貌以及sp3键含量随弧电流的变化结果进行了测试。结果表明,当弧电流从20增大至100 A,表征薄膜sp杂化碳含量的ID/IG从0.212增加到1.18,显示制备薄膜的sp3键含量逐渐减少,同时sp2键在逐渐增加。随着弧电流值上升,薄膜硬度增加,表明其值与弧电流值呈正相关性,高的弧电流使通过磁过滤器的大颗粒等离子体数增加,从而薄膜表面形貌易于沉积大颗粒,导致薄膜表面质量下降。因此,选择合适的弧电流值可优化Ta-C薄膜制备工艺,本文研究内容为工业应用中通过弧电流调整优化膜层综合性能提供参考。 展开更多

关键词 弧电流 Ta-C薄膜 磁过滤真空阴极电弧技术 表面质量

在线阅读 下载PDF 职称材料

阴极真空弧沉积中MEVVA源两种工作状态的比较

3

作者 王广甫 田人和 +2 位作者 吴瑜光 张孝吉 张荟星 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 1999年第3期366-369,共4页

介绍了阴极真空弧沉积中，弧源在阴极接地和阳极接地2种不同工作状态下的工作特性．发现阳极接地时，因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用，聚焦磁场对孤源放电稳定性的影响不如阴极接地时明显．因此可以加较高的聚焦磁场，从而获得电流... 介绍了阴极真空弧沉积中，弧源在阴极接地和阳极接地2种不同工作状态下的工作特性．发现阳极接地时，因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用，聚焦磁场对孤源放电稳定性的影响不如阴极接地时明显．因此可以加较高的聚焦磁场，从而获得电流较大和较稳定的沉积离子束． 展开更多

关键词 真空弧沉积 阳极接地 等离子体源 阴极 MEVVA源

在线阅读 下载PDF 职称材料

过滤管道作为第二阳极的磁过滤阴极真空弧沉积系统

4

作者 王广甫 张荟星 张孝吉 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2000年第6期775-778,共4页

建立了一台磁过滤脉冲阴极真空弧沉积装置 .通过在 90°磁过滤管道和阴极之间加一30～ 60V的正偏压使系统沉积速率得到了大幅度提高 .研究和观察表明 ,此时在过滤管道和阴极之间产生了阴极真空弧放电 ,并因此使阴极消耗率大幅度增... 建立了一台磁过滤脉冲阴极真空弧沉积装置 .通过在 90°磁过滤管道和阴极之间加一30～ 60V的正偏压使系统沉积速率得到了大幅度提高 .研究和观察表明 ,此时在过滤管道和阴极之间产生了阴极真空弧放电 ,并因此使阴极消耗率大幅度增大 .对此放电回路及其和MEVVA阳极 展开更多

关键词 阴极真空弧 等离子体沉积 磁过滤管道 第二阳极

在线阅读 下载PDF 职称材料

磁过滤阴极真空弧沉积装置研究中的等效电路方法

5

作者 王广甫 张荟星 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2003年第1期16-18,共3页

提出了模拟磁过滤阴极真空弧放电等离子体沉积装置阴极弧放电过程的等效电路 ,并用此电路定性研究了各参数对弧放电的影响 。

关键词 磁过滤阴极 真空弧放电等离子体沉积装置 阴极弧放电过程 等效电路 薄膜 制备

在线阅读 下载PDF 职称材料

真空离子精饰镀膜技术研究

6

作者 陈宝清 董闯 吕传花 《电镀与精饰》 CAS 2002年第5期17-19,共3页

黄铜基材装饰件表面采用高能级溅射离子镀 ,镀不锈钢代替电镀钯 -镍合金 ,采用等离子体型阴极弧源 -磁控溅射镀技术在不锈钢镀膜表面上镀制 Ti N/ Au透明陶瓷保护膜 Si O2 、Ti O2 。并对各膜层的硬度、耐蚀性、耐磨性及相结构进行分析。

关键词 真空离子精饰镀膜技术 研究 离子掺金 高能级磁控溅射离子镀 等离子体型 阴极弧源-磁控溅射镀

在线阅读 下载PDF 职称材料

阴极真空弧沉积中靶室第二阳极作用对系统性能的影响

7

作者 王广甫 张荟星 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第1期68-70,共3页

介绍了阴极真空弧沉积中 ,弧源在阴极接地和阳极接地两种不同工作状态下的工作特性。发现阳极接地时 ,因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用 ,聚焦磁场对弧源放电稳定性的影响不如阴极接地时明显。因此可以加较高的聚焦磁场 。

关键词 阴极真空弧沉积 靶室 第二阳极作用 MEVVA等离子体源 薄膜 制备

在线阅读 下载PDF 职称材料

制膜技术与装置

8

《中国光学》 EI CAS 2001年第6期52-53,共2页

O484.1 2001064085金刚石近红外增透滤光保护窗口的制备及应用=A diamond near infrared antireflective filter window and its application[刊,中]/应萱同,沈元华,徐新民(复旦大学物理系三束材料改性国家重点实验室.

关键词 金刚石 红外增透 材料改性 制备 磁过滤阴极真空弧沉积 国家重点实验室 复旦大学 膜技术 滤光 铁电薄膜

在线阅读 下载PDF 职称材料

磁过滤弯管中的电子运动模式

9

作者 张涛 郭达勤 朱剑豪 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期48-50,共3页

研究了在磁场和电场综合模式下磁过滤弯管中电子的运动方式及其对离子运动方式的影响 .在Bilek偏压模式下 ,更多的电子参与震荡运动 ,电子与粒子碰撞机会增大 ,导致电子向Bilek板扩散增强 ,这样会导致离子跟随电子也偏向下方 。

关键词 等离子体传输 磁过滤弯管 真空阴极弧等离子体技术 震荡运动 电子运动模式 Bilek偏压

在线阅读 下载PDF 职称材料

磁过滤沉积TiAlSiN纳米薄膜的摩擦磨损与腐蚀磨损行为 被引量：1

10

作者 蒋琴 孙丽 张旭 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第8期214-224,共11页

目的研究磁过滤沉积方法制备的TiAlSiN纳米薄膜的结构及力学性能对摩擦学性能及腐蚀磨损行为的影响。方法采用磁过滤阴极真空弧沉积技术,在6×10^(-2)~15×10^(-2)Pa的N_(2)气压条件下,将316L不锈钢作为基底,制备出TiAlSiN薄膜... 目的研究磁过滤沉积方法制备的TiAlSiN纳米薄膜的结构及力学性能对摩擦学性能及腐蚀磨损行为的影响。方法采用磁过滤阴极真空弧沉积技术,在6×10^(-2)~15×10^(-2)Pa的N_(2)气压条件下,将316L不锈钢作为基底,制备出TiAlSiN薄膜。利用SEM、XRD、XPS对薄膜的结构成分形貌进行表征分析,使用摩擦磨损仪分析测试薄膜的摩擦磨损行为,并且使用电化学工作站分析测试薄膜在3.5%(质量分数)人工海水环境下的摩擦磨损及开路电位变化曲线,通过台阶仪测得磨损后磨痕轮廓曲线,并计算磨损率。结果TiAlSiN薄膜具有典型的非晶包覆纳米晶的复合结构,薄膜表面细致光滑,截面无明显柱状晶结构。随着气压的增大,薄膜晶粒尺寸从26 nm降至12 nm。在0.08 Pa气压下制备的TiAlSiN薄膜的力学性能最佳,纳米硬度为22 GPa,基膜结合力达到28 N,干摩擦系数为0.412,磨损率为0.5×10^(-6)mm^(3)/(N·m)。在3.5%人工海水介质中,TiAlSiN薄膜的摩擦系数为0.36,磨损率为2.5×10^(-6)mm^(3)/(N·m),腐蚀和磨损的交互作用使磨损率增大。结论磁过滤阴极真空弧沉积技术制备的TiAlSiN纳米薄膜表现出良好的力学性能,兼具耐摩擦和耐磨蚀性能,具有宽广的应用前景。 展开更多

关键词 TiAlSiN薄膜 磁过滤阴极真空弧沉积技术 耐磨性 磨损腐蚀

在线阅读 下载PDF 职称材料

《液晶与显示》征稿简则

11

《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期F0003-F0003,共1页

1．本刊征集有关液晶、聚合物、胶体等软物质和各类显示材料及制备方法、液晶物理、生物液晶、液晶非线性光学、液晶显示、等离子体显示、阴极射线管显示、发光二极管显示、有机电致发光显示、场发射显示、微显示、真空荧光显示、电致... 1．本刊征集有关液晶、聚合物、胶体等软物质和各类显示材料及制备方法、液晶物理、生物液晶、液晶非线性光学、液晶显示、等离子体显示、阴极射线管显示、发光二极管显示、有机电致发光显示、场发射显示、微显示、真空荧光显示、电致变色显示及其他显示、各类显示器件物理和制作技术、各类显示新型模式和驱动技术、显示技术应用、显示材料和器件的测试方法与技术、各类显示器件的应用等研究论文。 展开更多

关键词 《液晶与显示》 征稿简则 有机电致发光显示 阴极射线管显示 等离子体显示 真空荧光显示 显示材料 制作技术

在线阅读 下载PDF 职称材料

《液晶与显示》征稿简则

12

《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2018年第12期F0003-F0003,共1页

1.本刊征集有关液晶、聚合物、胶体等软物质和各类显示材料及制备方法、液晶物理、生物液晶、液晶非线性光学、液晶显示、等离子体显示、阴极射线管显示、发光二极管显示、有机电致发光显示、场发射显示、微显示、真空荧光显示、电致变... 1.本刊征集有关液晶、聚合物、胶体等软物质和各类显示材料及制备方法、液晶物理、生物液晶、液晶非线性光学、液晶显示、等离子体显示、阴极射线管显示、发光二极管显示、有机电致发光显示、场发射显示、微显示、真空荧光显示、电致变色显示及其他显示、各类显示器件物理和制作技术、各类显示新型模式和驱动技术、显示技术应用、显示材料和器件的测试方法与技术、各类显示器件的应用等研究论文。 展开更多

关键词 《液晶与显示》 征稿简则 有机电致发光显示 阴极射线管显示 等离子体显示 真空荧光显示 显示材料 制作技术

在线阅读 下载PDF 职称材料

《液晶与显示》征稿简则

13

《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期F0003-F0003,共1页

1．本刊征集有关液晶和各类显示材料及制备方法、液晶物理、生物液晶、液晶非线性光学、液晶显示、等离子体显示、阴极射线管显示、发光二极管显示、有机电致发光显示、场发射显示、微显示、真空荧光显示、电致变色显示及其他显示、各... 1．本刊征集有关液晶和各类显示材料及制备方法、液晶物理、生物液晶、液晶非线性光学、液晶显示、等离子体显示、阴极射线管显示、发光二极管显示、有机电致发光显示、场发射显示、微显示、真空荧光显示、电致变色显示及其他显示、各类显示器件物理和制作技术、各类显示新型模式和驱动技术、显示技术应用、显示材料和器件的测试方法与技术、各类显示器件的应用等研究论文。 展开更多

关键词 《液晶与显示》 征稿简则 有机电致发光显示 阴极射线管显示 等离子体显示 真空荧光显示 显示材料 制作技术

在线阅读 下载PDF 职称材料

《液晶与显示》征稿简则

14

《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期F0003-F0003,共1页

1．本刊征集有关液晶和各类显示材料及制备方法、液晶物理、生物液晶、液晶非线性光学、液晶显示、等离子体显示、阴极射线管显示、发光二极管显示、有机电致发光显示、场发射显示、微显示、真空荧光显示、电致变色显示及其他显示、各... 1．本刊征集有关液晶和各类显示材料及制备方法、液晶物理、生物液晶、液晶非线性光学、液晶显示、等离子体显示、阴极射线管显示、发光二极管显示、有机电致发光显示、场发射显示、微显示、真空荧光显示、电致变色显示及其他显示、各类显示器件物理和制作技术、各类显示新型模式和驱动技术、显示技术应用、显示材料和器件的测试方法与技术、各类显示器件的应用等研究论文。 展开更多

关键词 《液晶与显示》 征稿简则 有机电致发光显示 阴极射线管显示 等离子体显示 真空荧光显示 显示材料 制作技术

在线阅读 下载PDF 职称材料

《液晶与显示》征稿简则

15

《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期F0002-F0002,共1页

1．本刊征集有关液晶和各类显示材料及制备方法、液品物理、生物液品、液晶非线性光学、液晶显示、等离子体显示、阴极射线管显示、发光二极管显示、有机电致发光显示、场发射显示、微显示、真空荧光显示、电致变色显示及其他显示、各... 1．本刊征集有关液晶和各类显示材料及制备方法、液品物理、生物液品、液晶非线性光学、液晶显示、等离子体显示、阴极射线管显示、发光二极管显示、有机电致发光显示、场发射显示、微显示、真空荧光显示、电致变色显示及其他显示、各类显示器件物理和制作技术、各类显示新型模式和驱动技术、冠示技术应用、显示材料和器件的测试方法与技术、各类显示器件的应用等研究论文。 展开更多

关键词 《液晶与显示》 征稿简则 有机电致发光显示 阴极射线管显示 等离子体显示 真空荧光显示 制作技术 器件物理

在线阅读 下载PDF 职称材料

《液晶与显示》征稿简则

16

《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期F0003-F0003,共1页

关键词 《液晶与显示》 征稿简则 有机电致发光显示 阴极射线管显示 等离子体显示 真空荧光显示 显示材料 制作技术

在线阅读 下载PDF 职称材料

《液晶与显示》征稿简则

17

《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期309-309,共1页

关键词 《液晶与显示》 征稿简则 有机电致发光显示 阴极射线管显示 等离子体显示 真空荧光显示 显示材料 制作技术

在线阅读 下载PDF 职称材料

《液晶与显示》征稿简则

18

《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期F0003-F0003,共1页

1．本刊征集有关液晶、聚合物、胶体等软物质和各类显示材料及制备方法、液晶物理、生物液晶、液晶非线性光学、液晶显示、等离子体显示、阴极射线管显示、发光二极管显示、有机电致发光显示、场发射显示、微显示、真空荧光显示、电致... 1．本刊征集有关液晶、聚合物、胶体等软物质和各类显示材料及制备方法、液晶物理、生物液晶、液晶非线性光学、液晶显示、等离子体显示、阴极射线管显示、发光二极管显示、有机电致发光显示、场发射显示、微显示、真空荧光显示、电致变色显示及其他显示、各类显示器件物理和制作技术、各类显示新型模式和驱动技术、显示技术应用、显示材料和器件的测试方法与技术、各类显示器件的应用等研究论文。 展开更多

关键词 《液晶与显示》 征稿简则 有机电致发光显示 阴极射线管显示 等离子体显示 真空荧光显示 显示材料 制作技术

在线阅读 下载PDF 职称材料

《液晶与显示》征稿简则

19

《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期F0003-F0003,共1页

关键词 《液晶与显示》 征稿简则 有机电致发光显示 阴极射线管显示 等离子体显示 真空荧光显示 显示材料 制作技术

在线阅读 下载PDF 职称材料

《液晶与显示》征稿简则

20

《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期F0003-F0003,共1页

关键词 《液晶与显示》 征稿简则 有机电致发光显示 阴极射线管显示 等离子体显示 真空荧光显示 显示材料 制作技术

在线阅读 下载PDF 职称材料