一种反磁控冷阴极真空规的脉冲操作模式 被引量：2

1

作者 毛慧勇 王毅 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期58-62,共5页

冷阴极真空规应用时有较大的抽气作用,而且放电产生的热量和离子溅射对电极表面的污损也使其正常操作受到一定影响。为此,本文设计了一种智能脉冲高压电路,对一种反磁控冷阴极真空规(IMG)的脉冲放电测量模式、恒流放电测量模式及不同压... 冷阴极真空规应用时有较大的抽气作用,而且放电产生的热量和离子溅射对电极表面的污损也使其正常操作受到一定影响。为此,本文设计了一种智能脉冲高压电路,对一种反磁控冷阴极真空规(IMG)的脉冲放电测量模式、恒流放电测量模式及不同压强下的伏安特性等问题进行了实验研究。指出将低压强下的直流放电模式和较高压强时的脉冲放电模式结合起来是反磁控冷阴极真空规的一种较为合理的应用方法。 展开更多

关键词 真空计 反磁控冷阴极真空规 脉冲放电真空测量 脉冲高压 恒流放电真空测量

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质量为零的真空C度规与Schwarzschild黑洞 被引量：2

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作者 王永成 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1996年第4期481-483,共3页

质量为Ｍ位于Ｗｅｙｌ坐标ｒ＝０，ｚ＝λ的Ｓｃｈｗａｒｚｓｃｈｉｌｄ黑洞度规，当Ｍ趋于无限大并保持有限时，就变成为质量ｍ为０的真空Ｃ度规，这表明，质量为０的真空Ｃ度规时空是无限大Ｓｃｈｗａｒｚｓｃｈｉｌｄ黑洞视界的邻域。

关键词 真空C度规 视界邻域 S黑洞 黑洞 C度规

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采用环形感压薄膜的MEMS电容薄膜真空规设计 被引量：3

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作者 王呈祥 韩晓东 +3 位作者 李得天 成永军 孙雯君 李刚 《中国测试》 CAS 北大核心 2019年第1期88-93,共6页

感压薄膜的结构改良能有效改善MEMS电容薄膜真空规的压力-电容输出特性。为解决MEMS电容薄膜真空规宽量程与高灵敏度相矛盾的问题,设计一种环形结构的感压薄膜,利用有限元的方法分析对比5种环形结构的感压薄膜在不同压力下的变形与应力... 感压薄膜的结构改良能有效改善MEMS电容薄膜真空规的压力-电容输出特性。为解决MEMS电容薄膜真空规宽量程与高灵敏度相矛盾的问题,设计一种环形结构的感压薄膜,利用有限元的方法分析对比5种环形结构的感压薄膜在不同压力下的变形与应力分布情况。分析认为,同心圆结构的感压薄膜具有最优异的性能,同等感测面积情况下真空规的压力-电容线性输出测量上限能从圆片结构的1.1×103 Pa延伸到同心圆结构的1.2×104 Pa,圆片结构感压薄膜的真空规在1～800 Pa区间内的压力-电容输出非线性度为3.9%,灵敏度为10.1 fF·Pa–1;同心圆结构感压薄膜的真空规结构在1～8 000 Pa区间内的非线性度为3.6%,灵敏度为1.3 fF·Pa–1。 展开更多

关键词 MEMS 电容薄膜真空规 高灵敏度 宽测量范围

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轴向式热磁控抑制电离真空规 被引量：1

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作者 陈建中 孙企达 郭元恒 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第4期219-222,共4页

本文提出一种在轴向式热磁控电离真空规的基础上发展的热磁控抑制电离真空规。它主要在前者的收集极前增设了一个很小的抑制极。由于其对离子收集极的残余光电流的抑制作用,在发射电流为10^(-6)A、抑制电压为-500V和工作磁场为3000e时,... 本文提出一种在轴向式热磁控电离真空规的基础上发展的热磁控抑制电离真空规。它主要在前者的收集极前增设了一个很小的抑制极。由于其对离子收集极的残余光电流的抑制作用,在发射电流为10^(-6)A、抑制电压为-500V和工作磁场为3000e时,其最低可测压强至少可达≤10^(-14)Pa。与Visser在Lafferty的热磁控规基础上提出的热磁控抑制规相比‘它除了Px外‘还具有灵敏度高、金属电极面小、结构简单、除气容易以及采用低温工作阴极等特点。它在无磁场时线性测量上限为1.33×10^(-2)Pa(发射电流为1×10^(-3)A)。 展开更多

关键词 电离真空规 热磁 收集极 控规 除气 发射电流 线性测量 测量下限 极电压 抑制作用

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极高真空电离真空规

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作者 李旺奎 钦菊美 +1 位作者 章其中 丁立华 《仪器仪表学报》 EI CAS 1980年第2期59-67,共9页

研制成功了三种结构的具有管型电子倍增器的电离规,企图解决低到10^(-14)托的压强测量问题。新型倍增器在极高真空测量中的应用,为解决10^(-13)～10^(15)托的测量难题提供了新的可能。

关键词 极高真空 电离真空规 电子倍增器 热阴极 本底计数 收集极 电离效率 真空测量 仪器仪表学报 导体膜

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真空设备与检测仪器的世纪回顾 被引量：2

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作者 华中一 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期326-330,共5页

真空设备与检测仪器在２０世纪内迅速发展，现在已得到广泛应用且与所有的高技术都密切相关。本文扼要回顾了本世纪国内外一些重要的成就，并对未来作了展望。

关键词 真空设备 真空检测仪器 真空泵 真空规

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动态指数衰减法校准B-A规

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作者 叶勤 邹小欧 黄振邦 《暨南大学学报（自然科学与医学版）》 CAS CSCD 1992年第1期40-46,共7页

就动态指数衰减法校准B-A规的原理作了分析论证。设计校准系统时考虑了散流室、校准室的形状及有关参量,系统的整体构成以及气体分子的实际分布。并就热阴极电离规的校准结果和误差进行了讨论。校准系统使用氦循环低温泵及钛升华泵获10^... 就动态指数衰减法校准B-A规的原理作了分析论证。设计校准系统时考虑了散流室、校准室的形状及有关参量,系统的整体构成以及气体分子的实际分布。并就热阴极电离规的校准结果和误差进行了讨论。校准系统使用氦循环低温泵及钛升华泵获10^(-8)～10^(-9)Pa超高真空,校准范围达10^(-2)～10^(-7)Pa,误差为6.5％。 展开更多

关键词 真空规 校准 动态指数衰减 B-A规

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ZCLQ型智能真空测量仪的研制

8

作者 罗强 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期167-169,共3页

本文叙述以 DL— 5电离真空规为传感器 ,用单片机进行控制和测量的一种新型智能真空测量仪。该仪器的特点是采用单片机控制发射电流 ,这样 ,不仅提高了测量精度 ,而且将发射电流参入计算 ,有助于扩展量程。该仪采用了软件抗干扰措施 。

关键词 电离真空规 单片机 模糊控制 智能真空测量仪

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中国真空学会真空测量与校准专业委员会扩大会议会议纪要

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《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1991年第1期66-66,共1页

中国真空学会真空测量与校准专业委员会,第三届委员扩大会议于1990年10月14—16日在云南省昆明市召开。参加这次会议的有真空测量与校准专业委员会的全体委员和部分长期从事国防计量的同志,会议代表共三十二人。

关键词 中国真空学会 真空测量 华中一 国防计量 会议纪要 真空规 应用报告 专委会主任 信息发布会 余鸿

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安捷伦隆重推出适用于多种应用的全新涡旋干式真空泵

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《理化检验（化学分册）》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期165-165,共1页

安捷伦科技公司近日隆重推出独立气路设计的IDP-15干式涡旋泵。IDP-15的抽速为15.4m3/h(60Hz),真空获得速度快,是学术、研究、分析仪器和工业应用的理想选择。该产品显著降低了噪声,无震动,单面涡轮设计使其具有极低的使用成本,年度维... 安捷伦科技公司近日隆重推出独立气路设计的IDP-15干式涡旋泵。IDP-15的抽速为15.4m3/h(60Hz),真空获得速度快,是学术、研究、分析仪器和工业应用的理想选择。该产品显著降低了噪声,无震动,单面涡轮设计使其具有极低的使用成本,年度维护非常简单。 展开更多

关键词 干式 真空获得 气路 分析仪器 使用成本 真空规 变频驱动 产品部 等离子体处理 是安

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X Series Ⅱ型电感耦合等离子体质谱仪的故障解析 被引量：4

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作者 张庸 闫秀芬 +6 位作者 杨丽 詹秀嫣 孙莹 苗峰 夏冬 刘畅 苏莉 《理化检验（化学分册）》 CSCD 北大核心 2014年第7期903-905,共3页

电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)是最有冲击力的分析技术,广泛应用于地质、环境、冶金、生物、医学、工业等多个领域[1]。由于该技术是电感耦合等离子体发射光谱仪与火花源质谱仪核心技术的结合体,构成复杂。虽然目前各厂家的产品已日... 电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)是最有冲击力的分析技术,广泛应用于地质、环境、冶金、生物、医学、工业等多个领域[1]。由于该技术是电感耦合等离子体发射光谱仪与火花源质谱仪核心技术的结合体,构成复杂。虽然目前各厂家的产品已日趋小型化、精密化,但对于新手而言,操作与维护还是相对困难,往往遇到故障就会停机等待,严重降低了使用效率。国内有关电感耦合等离子体质谱仪维修已有文献[2-4]报道,但主要着眼于局部的故障。 展开更多

关键词 X SERIES 控制模块 精密化 内锁 分析技术 真空管路 压力传感器 气路 电磁阀 真空规

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专利名称：一种工件表层纳米陶瓷薄膜制备装置

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作者 贾文峰 《表面技术》 EI CAS CSCD 2005年第6期21-21,共1页

一种工件表层纳米陶瓷薄膜制备装置，其特征是真空反应室的顶部具有带法兰的罩盖，罩盖的顶部与升降机构的提升端连接；罩盖内具有带升降机构的阳极板，其极端通过导线接射频电源，阳极板的下面设置有带小孔的分流管外接气体管路；真空... 一种工件表层纳米陶瓷薄膜制备装置，其特征是真空反应室的顶部具有带法兰的罩盖，罩盖的顶部与升降机构的提升端连接；罩盖内具有带升降机构的阳极板，其极端通过导线接射频电源，阳极板的下面设置有带小孔的分流管外接气体管路；真空反应室的底部安装有由加热板支撑的电热丝，加热板上面由绝缘座支撑有温度缓冲板，由其支撑加工工件极板，其极端通过导线接射频电源：在机架内具有充气阀和真空规管分别与真空反应室底部连接；真空反应室底部由带蝶阀的抽气管外接出机架与真空泵组连接。具有真空反应室空间大，设置有加热机构、真空泵组设置在机架外，设置有可升降阳极板，设置气体分流管，在气体管路上设置有电磁阀，气瓶设置在气柜内等特点。 展开更多

关键词 薄膜制备装置 加工工件 纳米陶瓷 专利名称 表层 真空规管 升降机构 射频电源 反应室 阳极板

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