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动态气流下真空腔室内的压强分布及压差测量被引量：3: 1; 作者周玉林杨铁牛《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期199-203,共5页; 集成电路(IC)装备工艺腔室内流场的均匀性是影响镀膜质量的关键因素。本文通过控制真空腔室入口处N_2流量(140,230,320 mL/min(标准状态))和出气口处压强值(36,45,55 Pa)来设置实验,采用压力管法测量低压腔室内任一点的压强值和薄膜规... 展开更多; 关键词真空腔室压强测量压差均匀布气; 在线阅读下载PDF 职称材料

低压腔室内流速分布规律研究: 2; 作者吴宗跃杨铁牛 +2 位作者黄尊地赵蕾蕾杜华娜《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期197-205,共9页; 工艺腔室内气体流动状态对于目标产品的性能影响极为重要。为研究腔室压强、进气量、温度、间距等因素对腔室内气体流速的影响,利用激光多普勒测速仪对腔室进行内流速测量实验,从而研究流速的分布规律及各个变量对流速规律的影响,并在... 展开更多; 关键词真空腔室激光多普勒测速仪流速多因素回归分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

300mm硅片高精度真空传输系统设计被引量：1: 3; 作者李学威何书龙赵治国《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2017年第8期80-84,共5页; 文章设计一种300mm硅片真空传输系统,满足市场对硅片传输过程高精度,高洁净度,高效率的需求。其中硅片传输腔室采用真空设计,并优化了真空腔室的结构以适应300mm硅片传输,真空度可达2×10^(-7)Torr。真空机械手采用对称连杆直驱机械... 展开更多; 关键词硅片传输真空腔室机械手纠偏检测系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

喷淋孔结构流体动力学特性研究被引量：2: 4; 作者王春财程嘉 +1 位作者路益嘉季林红《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期1500-1506,共7页; 喷淋板通常用在化学气相沉积等真空腔室中,其流体动力学特性是决定真空腔室性能的关键因素之一。本文利用自主开发二维直接模拟Monte Carlo模拟程序对单个不同形状喷淋孔结构中性气体流场进行了数值仿真研究;讨论了七种不同单个喷淋孔... 展开更多; 关键词真空腔室喷淋板直接模拟Monte Carlo 结构设计; 在线阅读下载PDF 职称材料

低压流场速度测量的不确定度分析被引量：4: 5; 作者杨铁牛邹胜 +3 位作者吴宗跃赵蕾蕾卢冬冬阳亚《计量学报》 CSCD 北大核心 2019年第2期278-284,共7页; 激光多普勒测速技术被广泛应用于流速测量领域。在搭建好的真空气流检测实验平台基础上,运用二维激光多普勒测速仪对真空腔室进行流速测量;为了减小测速系统的测量误差,对真空腔室流速测量不确定度的来源及评定进行了分析与说明,得到了... 展开更多; 关键词计量学二维激光多普勒测速仪真空腔室流速测量不确定度; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于二维LDV低压流场速度测量的研究被引量：4: 6; 作者邹胜杨铁牛 +2 位作者黄尊地吴宗跃赵蕾蕾《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期169-175,共7页; 在半导体制造领域中,IC装备工艺腔室流场的均匀性决定镀膜的质量。本文运用二维激光多普勒测速仪(LDV)对真空腔室进行内流场测量,研究了在不同进气量、不同腔室压强下,腔室各平面流速的分布规律。研究表明,粒子浓度和背景噪声是影响腔... 展开更多; 关键词二维激光多普勒测速仪真空腔室粒子浓度背景噪声流速测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于扫描探针电子能谱仪的扫描隧道显微镜: 7; 作者郦盟徐春凯陈向军《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期1320-1324,共5页; 扫描探针电子能谱学是正在发展中的一种结合了扫描隧道显微技术的电子能谱学技术,可以原位地获得固体表面的形貌和能谱信息。本文针对新研制的扫描探针电子能谱仪专门设计制作了一台采用横向隧道结结构、小巧紧凑、稳定对称的扫描隧道... 展开更多; 关键词扫描隧道显微镜扫描探针电子能谱仪超高真空腔室原位测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

PECVD设备Leak在线监控系统创建及应用: 8; 作者金哲山霍建宾 +2 位作者董杰刘晓婷胡毓龙《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期1039-1042,共4页; 等离子体增强型化学气相沉积法(PECVD)设备具有高真空特点,容易发生漏气(Leak)事故,为预防事故发生,对PECVD腔室构造、成膜原理及过程进行深入分析。从原理上检讨通过光谱分析方法在线监控PECVD工艺腔室Leak的可行性,搭建了腔室在线监... 展开更多; 关键词真空腔室等离子体增强型化学气相沉积漏气光谱检测等离子体光谱分析仪; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名动态气流下真空腔室内的压强分布及压差测量被引量：3: 1; 作者周玉林杨铁牛; 机构五邑大学机电工程学院江门市CAD/CAM工程技术研发中心; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期199-203,共5页; 基金国家科技重大专项资助项目(No.2011ZX02403-004); 文摘集成电路(IC)装备工艺腔室内流场的均匀性是影响镀膜质量的关键因素。本文通过控制真空腔室入口处N_2流量(140,230,320 mL/min(标准状态))和出气口处压强值(36,45,55 Pa)来设置实验,采用压力管法测量低压腔室内任一点的压强值和薄膜规直接测量腔壁、出气口的压强值来实现腔室内压强分布的研究和压差的测量。讨论了腔壁与出气口之间的压差对压力管法的测量误差的影响;选择了二级匀气装置对进入腔室内的气体进行布气,通过比较腔室内同一水平面上各点与出气口之间的压差是否恒定来分析二级匀气盘的匀气效果。试验研究发现:在距离腔室中心150 mm的范围内,二级匀气装置的布气效果明显;本文采用的压力管法测量腔室内压强的误差与腔室进气量和腔室内流速存在内在联系。研究结果对IC装备设计及工艺控制有一定的指导意义。; 关键词真空腔室压强测量压差均匀布气; Keywords Vacuum chamber Pressure measurement Pressure differences Uniform distribution; 分类号 TB75 [一般工业技术—真空技术] TG174 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名低压腔室内流速分布规律研究: 2; 作者吴宗跃杨铁牛黄尊地赵蕾蕾杜华娜; 机构江门市CAD/CAM工程技术研发中心五邑大学智能制造学部五邑大学轨道交通学院; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期197-205,共9页; 基金国家科技重大专项资助项目(No.2011ZX02403-004); 文摘工艺腔室内气体流动状态对于目标产品的性能影响极为重要。为研究腔室压强、进气量、温度、间距等因素对腔室内气体流速的影响,利用激光多普勒测速仪对腔室进行内流速测量实验,从而研究流速的分布规律及各个变量对流速规律的影响,并在中轴线方向上建立多元线性回归模型。结果表明:当进气量、温度越大,流速越大。当压强、间距越大,流速越小。四个因素对中轴线上流速大小影响排序为:压强(p)>进气量(Q)>温度(T)>间距(G)。; 关键词真空腔室激光多普勒测速仪流速多因素回归分析; Keywords Vacuum chamber Laser Doppler velocimeter Current velocity Multiple factors Regression analysis; 分类号 TB77 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名300mm硅片高精度真空传输系统设计被引量：1: 3; 作者李学威何书龙赵治国; 机构沈阳新松机器人自动化股份有限公司; 出处《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2017年第8期80-84,共5页; 基金国家科技重大专项02专项(2014ZX02103005); 文摘文章设计一种300mm硅片真空传输系统,满足市场对硅片传输过程高精度,高洁净度,高效率的需求。其中硅片传输腔室采用真空设计,并优化了真空腔室的结构以适应300mm硅片传输,真空度可达2×10^(-7)Torr。真空机械手采用对称连杆直驱机械手,大气机械手采用R-θ型机械手,其重复精度均为±0.1mm。设计了AWC纠偏检测系统,利用光电对射传感器,实现对硅片的实时检测及位置纠正。通过验证性试验数据分析,得到整个系统的整体精度、洁净度、真空度和真空变化值满足工作要求,验证了设计的合理性。; 关键词硅片传输真空腔室机械手纠偏检测系统; Keywords silicon wafers transmission vacuum chamber manipulator deviation detection system; 分类号 TH166 [机械工程—机械制造及自动化] TG659 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名喷淋孔结构流体动力学特性研究被引量：2: 4; 作者王春财程嘉路益嘉季林红; 机构清华大学摩擦学国家重点实验室清华大学机械工程系设计所; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期1500-1506,共7页; 基金国家自然科学基金--青年科学基金资助项目(51005132) 第02号国家科技重大专项资助项目(2011ZX02403-004); 文摘喷淋板通常用在化学气相沉积等真空腔室中,其流体动力学特性是决定真空腔室性能的关键因素之一。本文利用自主开发二维直接模拟Monte Carlo模拟程序对单个不同形状喷淋孔结构中性气体流场进行了数值仿真研究;讨论了七种不同单个喷淋孔结构的速度场、压力场和温度场分布情况。中性参考气体为氩气,固定入口压力200 Pa、温度300 K。结果表明,喷淋孔入口或出口形状影响腔室的工艺性能;而将喷淋孔入口和出口均设计成锥形,则腔室内流场分布较为理想。研究成果为喷淋板设计提供直接参考,同时对化工、热处理、光伏电池制造等领域中腔室部件的研发具有重要意义。; 关键词真空腔室喷淋板直接模拟Monte Carlo 结构设计; Keywords Vacuum chamber Showerhead DSMC Physical design; 分类号 TB711 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名低压流场速度测量的不确定度分析被引量：4: 5; 作者杨铁牛邹胜吴宗跃赵蕾蕾卢冬冬阳亚; 机构五邑大学机电工程学院江门市CAD/CAM工程技术研发中心; 出处《计量学报》 CSCD 北大核心 2019年第2期278-284,共7页; 基金国家科技重大专项(2011ZX02403-004); 文摘激光多普勒测速技术被广泛应用于流速测量领域。在搭建好的真空气流检测实验平台基础上,运用二维激光多普勒测速仪对真空腔室进行流速测量;为了减小测速系统的测量误差,对真空腔室流速测量不确定度的来源及评定进行了分析与说明,得到了真空腔室流速测量的合成相对标准不确定度和相对扩展不确定度。研究表明:LDV重复性测速和进气量估读引起的不确定度较大,而LDV系统误差和其它因素引起的不确定度较小。研究结果对后期真空腔室流速测量有一定指导意义。; 关键词计量学二维激光多普勒测速仪真空腔室流速测量不确定度; Keywords metrology two-dimensional LDV vacuum chamber measurement of gas-velocity uncertainty; 分类号 TB93 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于二维LDV低压流场速度测量的研究被引量：4: 6; 作者邹胜杨铁牛黄尊地吴宗跃赵蕾蕾; 机构五邑大学机电工程学院江门市CAD/CAM工程技术研发中心五邑大学轨道交通学院; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期169-175,共7页; 基金国家科技重大专项资助项目(No.2011ZX02403-004); 文摘在半导体制造领域中,IC装备工艺腔室流场的均匀性决定镀膜的质量。本文运用二维激光多普勒测速仪(LDV)对真空腔室进行内流场测量,研究了在不同进气量、不同腔室压强下,腔室各平面流速的分布规律。研究表明,粒子浓度和背景噪声是影响腔室流速测量的两大关键因素,采用四种方法有效地降低了背景噪声对信号的干扰;通过大量实验得出了LDV有效测量腔室流速的压力范围,以及腔室压强、进气量与流速之间的关系;验证了腔室内二级匀气装置具有均匀布气的功能。研究结果能为IC装备的设计提供数据支持。; 关键词二维激光多普勒测速仪真空腔室粒子浓度背景噪声流速测量; Keywords Two-dimensional LDV, Vacuum chamber, Particle concentration, Background noise, Measurement of gas-velocity; 分类号 TB75 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于扫描探针电子能谱仪的扫描隧道显微镜: 7; 作者郦盟徐春凯陈向军; 机构中国科学技术大学近代物理系和合肥微尺度物质科学国家实验室(筹); 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期1320-1324,共5页; 基金国家重点基础研究发展计划(973计划)(2010CB923301) 国家自然科学基金项目(11174268 11327404); 文摘扫描探针电子能谱学是正在发展中的一种结合了扫描隧道显微技术的电子能谱学技术,可以原位地获得固体表面的形貌和能谱信息。本文针对新研制的扫描探针电子能谱仪专门设计制作了一台采用横向隧道结结构、小巧紧凑、稳定对称的扫描隧道显微镜,可以工作在隧道区测量样品表面形貌,也可以在近场发射区测量表面背散射电子能谱。在高定向热解石墨和石墨基底上蒸镀的银膜样品的得到的原子分辨、纳米结构图像和原位电子能量损失谱表明这两种功能已完全实现。; 关键词扫描隧道显微镜扫描探针电子能谱仪超高真空腔室原位测量; Keywords STM Scanning probe electron energy spectrometer UHV In situ; 分类号 O485 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名PECVD设备Leak在线监控系统创建及应用: 8; 作者金哲山霍建宾董杰刘晓婷胡毓龙; 机构北京京东方显示技术有限公司; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期1039-1042,共4页; 文摘等离子体增强型化学气相沉积法(PECVD)设备具有高真空特点,容易发生漏气(Leak)事故,为预防事故发生,对PECVD腔室构造、成膜原理及过程进行深入分析。从原理上检讨通过光谱分析方法在线监控PECVD工艺腔室Leak的可行性,搭建了腔室在线监控系统。通过光谱条件的调整测试,发现Ar等离子状态下,Leak光谱和正常光谱差异最大化,更有利于Leak光谱检测,成功实现Leak在线检测,在行业内首次实现PECVD真空腔室在线监控功能。; 关键词真空腔室等离子体增强型化学气相沉积漏气光谱检测等离子体光谱分析仪; Keywords Vacuum Chamber PECVD Leak Spectrum detection RTPSA; 分类号 TB774 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	动态气流下真空腔室内的压强分布及压差测量	周玉林杨铁牛	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2016	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	低压腔室内流速分布规律研究	吴宗跃杨铁牛黄尊地赵蕾蕾杜华娜	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2019	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	300mm硅片高精度真空传输系统设计	李学威何书龙赵治国	《组合机床与自动化加工技术》北大核心	2017	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	喷淋孔结构流体动力学特性研究	王春财程嘉路益嘉季林红	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	低压流场速度测量的不确定度分析	杨铁牛邹胜吴宗跃赵蕾蕾卢冬冬阳亚	《计量学报》 CSCD 北大核心	2019	4	在线阅读下载PDF 职称材料
6	基于二维LDV低压流场速度测量的研究	邹胜杨铁牛黄尊地吴宗跃赵蕾蕾	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2018	4	在线阅读下载PDF 职称材料
7	用于扫描探针电子能谱仪的扫描隧道显微镜	郦盟徐春凯陈向军	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2016	0	在线阅读下载PDF 职称材料
8	PECVD设备Leak在线监控系统创建及应用	金哲山霍建宾董杰刘晓婷胡毓龙	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2019	0	在线阅读下载PDF 职称材料