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真空紫外铝+氟化镁膜偏振特性的研究
被引量：
4
1
作者
刘颖
李志刚
李福田
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期724-727,共4页
研究了铝 +氟化镁膜在真空紫外波段的偏振特性。理论上数值模拟计算了铝 +氟化镁膜在真空紫外波段的反射率及其与入射平面平行和垂直两方向的分量 ,分析了铝 +氟化镁膜反射率的两分量随入射条件和氟化镁膜厚度的变化规律 ,在此基础上研...
研究了铝 +氟化镁膜在真空紫外波段的偏振特性。理论上数值模拟计算了铝 +氟化镁膜在真空紫外波段的反射率及其与入射平面平行和垂直两方向的分量 ,分析了铝 +氟化镁膜反射率的两分量随入射条件和氟化镁膜厚度的变化规律 ,在此基础上研究了铝 +氟化镁膜的偏振特性 ,并与单层铝膜的相应特性作了比较。以氟化锂堆作偏振器 ,在Seya Namioka真空紫外反射率计上实验研究了铝 +氟化镁膜的偏振特性。研究结果表明 ,铝 +氟化镁膜的偏振特性由于受到氟化镁厚度的调制 ,存在反射率的垂直分量小于平行分量的情形 ,从而使铝 +氟化镁膜的消光比在非正入射的条件下接近 1。
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关键词
铝+氟化镁膜
真空紫外波段
反射
偏振
反射膜
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职称材料
紫外-真空紫外凹面光栅单色仪小型化设计与波长重复性研究
2
作者
张子辉
陈建波
+2 位作者
苏荣华
施飞
李玉鹏
《仪表技术与传感器》
2025年第6期42-48,共7页
光栅驱动机构是实现真空紫外单色仪高性能输出的基础,为了实现单色仪的高精度、高线性和小型化设计,文中将理论分析与实验相结合,提出推广式正弦摆杆机构,建立基于推广式正弦摆杆机构的单色仪波长输出模型,完成单色仪波长扫描过程中误...
光栅驱动机构是实现真空紫外单色仪高性能输出的基础,为了实现单色仪的高精度、高线性和小型化设计,文中将理论分析与实验相结合,提出推广式正弦摆杆机构,建立基于推广式正弦摆杆机构的单色仪波长输出模型,完成单色仪波长扫描过程中误差源影响因素分析。实验结果表明:单色仪波长重复性优于0.04 nm,波长重复性误差实测值与理论值的相对误差均在16%以下,波长准确度输出误差优于0.1 nm。对单色仪波长扫描驱动结构设计的有效性、单色仪波长重复性分析理论和结构设计理论的准确性实现有效验证。
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关键词
紫外
-
真空紫外波段
单色仪
正弦摆杆机构
波长输出方程
波长重复性
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职称材料
题名
真空紫外铝+氟化镁膜偏振特性的研究
被引量：
4
1
作者
刘颖
李志刚
李福田
机构
中科院长春光机所应用光学国家重点实验室
南开大学物理学院光子学中心
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期724-727,共4页
文摘
研究了铝 +氟化镁膜在真空紫外波段的偏振特性。理论上数值模拟计算了铝 +氟化镁膜在真空紫外波段的反射率及其与入射平面平行和垂直两方向的分量 ,分析了铝 +氟化镁膜反射率的两分量随入射条件和氟化镁膜厚度的变化规律 ,在此基础上研究了铝 +氟化镁膜的偏振特性 ,并与单层铝膜的相应特性作了比较。以氟化锂堆作偏振器 ,在Seya Namioka真空紫外反射率计上实验研究了铝 +氟化镁膜的偏振特性。研究结果表明 ,铝 +氟化镁膜的偏振特性由于受到氟化镁厚度的调制 ,存在反射率的垂直分量小于平行分量的情形 ,从而使铝 +氟化镁膜的消光比在非正入射的条件下接近 1。
关键词
铝+氟化镁膜
真空紫外波段
反射
偏振
反射膜
Keywords
VUV
reflectance
polarization
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
O436.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
紫外-真空紫外凹面光栅单色仪小型化设计与波长重复性研究
2
作者
张子辉
陈建波
苏荣华
施飞
李玉鹏
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《仪表技术与传感器》
2025年第6期42-48,共7页
基金
吉林省科技发展计划重点研发项目(20210203174SF)。
文摘
光栅驱动机构是实现真空紫外单色仪高性能输出的基础,为了实现单色仪的高精度、高线性和小型化设计,文中将理论分析与实验相结合,提出推广式正弦摆杆机构,建立基于推广式正弦摆杆机构的单色仪波长输出模型,完成单色仪波长扫描过程中误差源影响因素分析。实验结果表明:单色仪波长重复性优于0.04 nm,波长重复性误差实测值与理论值的相对误差均在16%以下,波长准确度输出误差优于0.1 nm。对单色仪波长扫描驱动结构设计的有效性、单色仪波长重复性分析理论和结构设计理论的准确性实现有效验证。
关键词
紫外
-
真空紫外波段
单色仪
正弦摆杆机构
波长输出方程
波长重复性
Keywords
UV-VUV
monochromator
sine drive mechanism
wavelength output equation
wavelength repeatability
分类号
TH744 [机械工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
真空紫外铝+氟化镁膜偏振特性的研究
刘颖
李志刚
李福田
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
紫外-真空紫外凹面光栅单色仪小型化设计与波长重复性研究
张子辉
陈建波
苏荣华
施飞
李玉鹏
《仪表技术与传感器》
2025
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