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便携式真空漏孔校准装置被引量：22: 1; 作者卢耀文陈旭 +3 位作者李得天刘波齐京查良镇《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1179-1183,共5页; 针对现场检漏对漏率校准的需求，研制出具有体积小、重量轻、成本低等特点的便携式真空漏孔校准装置。采用标准流量系统提供可调的气体流量，通过质谱计作为比较器分别测量标准气体流量和被校准漏孔提供示漏气体（He气）的分压力实现校... 展开更多; 关键词真空漏孔计量校准便携式; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种下限为1.3×10^(-14)Pa·m^3/s的真空漏孔校准装置被引量：18: 2; 作者卢耀文陈旭 +4 位作者李得天齐京刘波闫睿查良镇《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期504-509,共6页; 为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计作为比较器测量示漏He气离子... 展开更多; 关键词累积法固定流导法真空漏孔漏率; 在线阅读下载PDF 职称材料

固定流导法真空漏孔校准装置被引量：31: 3; 作者李得天郭美如 +4 位作者葛敏张周焕王占忠刘波杨新民《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期358-362,共5页; 为了精确校准较小漏率真空漏孔,研制了固定流导法真空漏孔校准装置。在漏孔校准过程中,通过调节稳压室中的压力,很容易使标准气体流量与漏孔漏率非常接近或相等,从而避免四极质谱计的非线性影响。通过实验测试,校准装置的极限真空度为3.... 展开更多; 关键词真空漏孔校准装置固定流导法四极质谱计; 在线阅读下载PDF 职称材料

不同气体和压力对真空漏孔漏率的影响被引量：5: 4; 作者钟博扬王维 +3 位作者李芳芳叶小球陈长安罗文华《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第4期345-350,共6页; 针对目前大多数标准漏孔的漏率都是在He和入口压力为100 kPa下的漏率,采用定容变压法校准了铭牌漏率为2.3×10^(-6)Pa·m^3/s的标准真空漏孔在使用H_2、He、D_2三种气体时,在不同入口压力下的漏率。预先对系统进行了加热除气后... 展开更多; 关键词真空漏孔漏率校准粘滞-分子流; 在线阅读下载PDF 职称材料

真空混合漏孔示漏气体的延迟和保持特性研究被引量：4: 5; 作者朱为堵国梁 +2 位作者史小军毛福明王辉《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第4期296-298,302,共4页; 真空混合漏孔 ,如漏孔通道内含有空腔、毛细管道等 ,示漏气体除存在超长反应时间外 ,还存在超长的延迟时间和保持时间。只有经该延迟时间后 ,检漏仪才能探得信号。为满足真空元件在生产中的快速检漏的要求 ,又避免常规质谱检漏法漏检混... 展开更多; 关键词真空混合漏孔示漏气体保持特性检漏真空容器延迟特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

动态比较法校准正压漏孔的漏率被引量：4: 6; 作者孟扬张涤新 +1 位作者吕时良龚月莉《中国空间科学技术》 EI CSCD 北大核心 1998年第4期56-61,共6页; 介绍了校准正压漏孔漏率的动态比较法，可以校准的正压漏孔漏率范围为１×１０－４～１×１０－７Ｐａｍ３／ｓ。参考漏孔动态比较法是用一只漏率已知的正压漏孔作参考标准，分别让示漏气体通过参考正压漏孔或被校正压漏孔后，... 展开更多; 关键词正压漏孔泄漏率校准动态比较法真空漏孔; 在线阅读下载PDF 职称材料

定容式流导法微流量校准装置被引量：14: 7; 作者张涤新郭美如 +8 位作者冯焱赵澜李得天赵定众李正海成永军李莉龚月莉孙海《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期21-25,共5页; 定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准 ,可采用定容法和流导法对气体微流进行校准 ,校准范围为 (5× 10 -2 ～ 5× 10 -11)Pa·m3 /s,合成标准不确定度为 0 .5 6 %～ 1.7%。; 关键词流量计流量校准真空漏孔; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名便携式真空漏孔校准装置被引量：22: 1; 作者卢耀文陈旭李得天刘波齐京查良镇; 机构清华大学兰州物理研究所; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1179-1183,共5页; 文摘针对现场检漏对漏率校准的需求，研制出具有体积小、重量轻、成本低等特点的便携式真空漏孔校准装置。采用标准流量系统提供可调的气体流量，通过质谱计作为比较器分别测量标准气体流量和被校准漏孔提供示漏气体（He气）的分压力实现校准。标准气体流量系统采用直径约为1μm的小孔获得了10^-10m3／s量级的分子流导，仅用一台满量程为1．33×104Pa的电容薄膜规真空计（coc）作为参考标准，通过直接测量和膨胀衰减压力两种方法为小孔入口提供标准压力，从而获得较宽范围的标准气体流量。研究结果表明，装置的校准范围为3．5×10^-6-4．6×10^-11Pa·m3／s，合成标准不确定度为1.8％～2．O％，外形尺寸减小到400mm×300mm×400mm，总重量小于35奴。; 关键词真空漏孔计量校准便携式; Keywords Vacuum leak, Metrology, Calibration, Portable; 分类号 TB77 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种下限为1.3×10^(-14)Pa·m^3/s的真空漏孔校准装置被引量：18: 2; 作者卢耀文陈旭李得天齐京刘波闫睿查良镇; 机构清华大学兰州物理研究所西安航天计量测试研究所; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期504-509,共6页; 文摘为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计作为比较器测量示漏He气离子流大小,通过累积的方法解决了质谱分析室中示漏气体分压力测量问题;采用激光打孔和多次镀膜的方式获得10-10m3/s量级的分子流导,用吸气剂泵将真空室本底压力维持在10-7Pa量级,使磁悬浮转子真空计对固定流导元件入口He气压力测量下限可达10-4Pa,从而获得下限为1.3×10-14Pa·m3/s的标准气体流量。研究结果表明,装置采用He气作为示漏气体的校准范围为10-12~1.3×10-14Pa·m3/s,合成标准不确定度为5.2%~5.8%。; 关键词累积法固定流导法真空漏孔漏率; Keywords Accumulation method Constant conductance method Vacuum leak Leak rates; 分类号 TB77 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名固定流导法真空漏孔校准装置被引量：31: 3; 作者李得天郭美如葛敏张周焕王占忠刘波杨新民; 机构兰州物理研究所西安航天计量测试研究所; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期358-362,共5页; 文摘为了精确校准较小漏率真空漏孔,研制了固定流导法真空漏孔校准装置。在漏孔校准过程中,通过调节稳压室中的压力,很容易使标准气体流量与漏孔漏率非常接近或相等,从而避免四极质谱计的非线性影响。通过实验测试,校准装置的极限真空度为3.7×10-6Pa,漏率校准范围为10-5Pa.m3/s^10-11Pa.m3/s,合成标准不确定度为1.4%~4.2%。; 关键词真空漏孔校准装置固定流导法四极质谱计; Keywords Vacuun leak, Calibration apparatus, Constant conductance method, Quadrupole mass spectrometer （QMS）; 分类号 TB77 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名不同气体和压力对真空漏孔漏率的影响被引量：5: 4; 作者钟博扬王维李芳芳叶小球陈长安罗文华; 机构表面物理与化学重点实验室四川大学原子与分子物理研究所中国工程物理研究院; 出处《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第4期345-350,共6页; 文摘针对目前大多数标准漏孔的漏率都是在He和入口压力为100 kPa下的漏率,采用定容变压法校准了铭牌漏率为2.3×10^(-6)Pa·m^3/s的标准真空漏孔在使用H_2、He、D_2三种气体时,在不同入口压力下的漏率。预先对系统进行了加热除气后计算了系统本底漏率大小,并探讨了本底漏率对校准漏孔漏率的影响。结合粘滞流-分子流理论研究了不同气体和漏孔入口压力对漏孔漏率的影响。; 关键词真空漏孔漏率校准粘滞-分子流; Keywords Vacuum leak, Leak rate, Calibration, Viscous-molecular flow; 分类号 TB77 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名真空混合漏孔示漏气体的延迟和保持特性研究被引量：4: 5; 作者朱为堵国梁史小军毛福明王辉; 机构东南大学电子工程系南京工业大学; 出处《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第4期296-298,302,共4页; 文摘真空混合漏孔 ,如漏孔通道内含有空腔、毛细管道等 ,示漏气体除存在超长反应时间外 ,还存在超长的延迟时间和保持时间。只有经该延迟时间后 ,检漏仪才能探得信号。为满足真空元件在生产中的快速检漏的要求 ,又避免常规质谱检漏法漏检混合漏孔的可能性 ,在真空室内对检漏元件集体充氦 ,然后在保持期内逐个检测氦气浓度来判断有无混合漏孔 ;; 关键词真空混合漏孔示漏气体保持特性检漏真空容器延迟特性; Keywords Vacuum leak,Leak detection,Mixing leak; 分类号 TB774 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名动态比较法校准正压漏孔的漏率被引量：4: 6; 作者孟扬张涤新吕时良龚月莉; 机构兰州物理研究所; 出处《中国空间科学技术》 EI CSCD 北大核心 1998年第4期56-61,共6页; 文摘介绍了校准正压漏孔漏率的动态比较法，可以校准的正压漏孔漏率范围为１×１０－４～１×１０－７Ｐａｍ３／ｓ。参考漏孔动态比较法是用一只漏率已知的正压漏孔作参考标准，分别让示漏气体通过参考正压漏孔或被校正压漏孔后，在内充大气的累积容器中累积不同的时间，产生大致相同的示漏气体增量；静态膨胀后，测量它们在动态流量法系统中产生的动态平衡分压力，再进行线性近似比较计算出被校正压漏孔的漏率。定量气体动态比较法是采用定量的示漏气体作参考标准，替代参考漏孔动态比较法中示漏气体通过参考正压漏孔后在累积容器中的累积量。; 关键词正压漏孔泄漏率校准动态比较法真空漏孔; Keywords Pressure leak Leak rate Calibration Method; 分类号 TB774 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名定容式流导法微流量校准装置被引量：14: 7; 作者张涤新郭美如冯焱赵澜李得天赵定众李正海成永军李莉龚月莉孙海; 机构兰州物理研究所; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期21-25,共5页; 文摘定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准 ,可采用定容法和流导法对气体微流进行校准 ,校准范围为 (5× 10 -2 ～ 5× 10 -11)Pa·m3 /s,合成标准不确定度为 0 .5 6 %～ 1.7%。; 关键词流量计流量校准真空漏孔; Keywords Gas flowmeter,Throughput calibration,Vacuum leaker; 分类号 TB77 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	便携式真空漏孔校准装置	卢耀文陈旭李得天刘波齐京查良镇	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2013	22	在线阅读下载PDF 职称材料
2	一种下限为1.3×10^(-14)Pa·m^3/s的真空漏孔校准装置	卢耀文陈旭李得天齐京刘波闫睿查良镇	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2014	18	在线阅读下载PDF 职称材料
3	固定流导法真空漏孔校准装置	李得天郭美如葛敏张周焕王占忠刘波杨新民	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	31	在线阅读下载PDF 职称材料
4	不同气体和压力对真空漏孔漏率的影响	钟博扬王维李芳芳叶小球陈长安罗文华	《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心	2017	5	在线阅读下载PDF 职称材料
5	真空混合漏孔示漏气体的延迟和保持特性研究	朱为堵国梁史小军毛福明王辉	《真空科学与技术》 CSCD 北大核心	2002	4	在线阅读下载PDF 职称材料
6	动态比较法校准正压漏孔的漏率	孟扬张涤新吕时良龚月莉	《中国空间科学技术》 EI CSCD 北大核心	1998	4	在线阅读下载PDF 职称材料
7	定容式流导法微流量校准装置	张涤新郭美如冯焱赵澜李得天赵定众李正海成永军李莉龚月莉孙海	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	14	在线阅读下载PDF 职称材料