靶面淀积参数对真空微电子平板摄像管特性的影响 被引量：2

1

作者 吕永积 邵佑军 +1 位作者 刘光诒 施化芬 《液晶与显示》 CAS CSCD 2002年第4期265-269,共5页

为了开发用于真空微电子平板摄像管的高灵敏度CdSe多层光导材料 ,改建了一台能精确控制CdSe材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空蒸镀设备 ,开发了由真空热预处理 ,非真空热后处理二种处理新工艺 ,制造出了新的高性能的CdSe多层光导... 为了开发用于真空微电子平板摄像管的高灵敏度CdSe多层光导材料 ,改建了一台能精确控制CdSe材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空蒸镀设备 ,开发了由真空热预处理 ,非真空热后处理二种处理新工艺 ,制造出了新的高性能的CdSe多层光导靶。使CdSe多层光导靶的灵敏度提高了两个数量级 ,而清晰度 (分辨率 )保持不变。 展开更多

关键词 靶面淀积参数 真空微电子平板摄像管 真空热预处理 非真空热处理 CDSE 硒化镉 多层光导靶

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真空微电子平板摄像管10×10像素驱动电路的设计与制作

2

作者 蔡东山 吕永积 +1 位作者 邵佑军 黄庆云 《液晶与显示》 CAS CSCD 2002年第6期461-464,共4页

真空微电子平板摄像是一种全新的摄像理论,它采用碳纳米场发射阴极、栅极和阳极(收集极)三极管结构。介绍了真空微电子平板摄像管驱动电路的设计要求、设计思路和电路测试结果,实验中采用的栅极驱动对驱动电路(扫描电路)起到了关键作用。

关键词 真空微电子平板摄像管 像素 驱动电路 设计 制作 场频 行频 场同步 行同步

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在烧结氧化中Se气氛对真空微电子平板摄像管CdSe靶面性能的影响 被引量：3

3

作者 吕永积 邵佑军 +2 位作者 刘光诒 施化芬 罗运良 《液晶与显示》 CAS CSCD 2002年第3期189-192,共4页

CdSe是研制高灵敏真空微电子平板摄像管光导靶材材料 ,在CdSe靶材的结晶过程中Se气氛对形成完整的晶格结构起了至关重要的作用。介绍了精确控制Se气氛的实验装置和Se气氛对CdSe光导靶性能影响的实验结果。

关键词 烧结氧化 Se气氛 CdSe靶 真空微电子 平板摄像管 硒气氛 六角形结构 硒化镉靶 靶面材料 晶格结构

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真空微电子平板显示器工艺研究 被引量：3

4

作者 皇甫鲁江 朱长纯 +3 位作者 淮永进 铁执玲 单建安 郭彩林 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第11期119-121,共3页

本文介绍了我们最近开发的真空微电子平板数码管工艺，主要包括阳极支柱（阵列）的制作和平板透明真空封装。利用上述工艺已经制成了平板数码营，其栅阴特性理想，阳阴之间也能测得明显的场致发射特性并伴有荧光激发。目前，数码管玻壳... 本文介绍了我们最近开发的真空微电子平板数码管工艺，主要包括阳极支柱（阵列）的制作和平板透明真空封装。利用上述工艺已经制成了平板数码营，其栅阴特性理想，阳阴之间也能测得明显的场致发射特性并伴有荧光激发。目前，数码管玻壳内真空度的维持等还存在问题，文章最后分析了其原因。 展开更多

关键词 场致发射 平板显示器 真空微电子器件

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真空微电子荧光平板显示器件的实验研究

5

作者 李志能 刘杰明 陈秀峰 《真空科学与技术》 CSCD 1996年第4期292-295,共4页

描述了真空微电子荧光平板显示器件的工作原理，提出了采用反应离子刻蚀法制作大规模场致发射阵列的工艺，在动态真空系统中测定了荧光平板显示器件的场发射特性，并获得了结果。

关键词 真空微电子学 荧光平板显示器 显示器件

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真空热预处理在平板摄像管CdSe多层靶面制作中的作用 被引量：1

6

作者 吕永积 邵佑军 +2 位作者 黄庆云 蔡东山 施化芬 《液晶与显示》 CAS CSCD 2003年第4期286-289,共4页

为了研制用于真空微电子平板摄像管(FPC)的具有高感光度的CdSe多层光导材料,发展了包括真空热预处理(VHPT)和非真空热后处理(NAHT)在内的新型热处理工艺。重新装配的蒸发设备和具有结晶和氧化功能的新型炉具满足两种热处理工艺并同其他... 为了研制用于真空微电子平板摄像管(FPC)的具有高感光度的CdSe多层光导材料,发展了包括真空热预处理(VHPT)和非真空热后处理(NAHT)在内的新型热处理工艺。重新装配的蒸发设备和具有结晶和氧化功能的新型炉具满足两种热处理工艺并同其他工艺一起可制造出新的高性能的CdSe多层光导靶。实验结果表明,CdSe多层光导靶的灵敏度提高,而清晰度(分辨率)保持不变,介绍了与VHPT工艺有关的实验结果。 展开更多

关键词 真空热预处理 平板摄像管 CDSE 多层光导材料 硒化镉 多层靶面 制作工艺

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真空微电子学的研究与发展 被引量：5

7

作者 黄庆安 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第10期134-138,133,共6页

本文系统介绍了近年来真空微电子学的研究内容、达到的水平和亟待解决的问题：包括真空微电子器件的基本结构、场发射阵列、微尖结构物理、新材料和新器件的探索以及真空微电子学的主要应用。

关键词 真空微电子学 场发射 场发射阵列 平板显示

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全玻璃平板型真空荧光光源的工艺探讨 被引量：4

8

作者 刘光诒 夏善红 +4 位作者 吕永积 陈绍凤 李宏彦 罗运良 王建英 《液晶与显示》 CAS CSCD 2001年第4期294-299,共6页

提出并研制出一种新型平板式全玻璃真空荧光光源（ＶＦＬＳ）管，与国际上传统的真空荧光光源管比较，新的器件在大面积碳场发射阴极，厚膜管结构和制造工艺等方面是新颖的。从真空荧光光源管内的工作原理出发，分析了该器件工作时管内... 提出并研制出一种新型平板式全玻璃真空荧光光源（ＶＦＬＳ）管，与国际上传统的真空荧光光源管比较，新的器件在大面积碳场发射阴极，厚膜管结构和制造工艺等方面是新颖的。从真空荧光光源管内的工作原理出发，分析了该器件工作时管内发生的主要物理过程，详细介绍了研制ＶＦＬＳ管的制造工艺，并讨论了此工作目前存在的问题及前景。 展开更多

关键词 真空微电子学 全玻璃平板型真空荧光光源 工艺 VFLS管

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用于平板摄像的CdSe靶面淀积参数对摄像特性的影响

9

作者 吕永积 刘光诒 +1 位作者 邵佑军 施化芬 《科学技术与工程》 2002年第1期59-60,共2页

为了开发用于真空微电子平板摄像管 Vacuum Microelectronics FlatPanel Camera Tube(VME FPC)的高灵敏度 CdSe 多层光导靶面,改建了一台精确控制 CdSe 材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空热蒸镀设备,开发了由真空热预处理,非真空... 为了开发用于真空微电子平板摄像管 Vacuum Microelectronics FlatPanel Camera Tube(VME FPC)的高灵敏度 CdSe 多层光导靶面,改建了一台精确控制 CdSe 材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空热蒸镀设备,开发了由真空热预处理,非真空热后处理组成的系列新处理工艺,制造出了新的高性能的 CdSe多层光导靶。 展开更多

关键词 真空热预处理VHPT 非真空热后处理NHAT 平板摄像管 摄像特性 淀积参数 CdSe多层光导靶面 热处理工艺

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场发射平板显示器件的进展 被引量：6

10

作者 柯春和 彭自安 +1 位作者 陈其略 胡汉泉 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 1997年第2期119-128,共10页

概述场致发射平板显示器件（FED）的理论基础、结构和工作原理、种类和制作工艺。对FED作出评价。介绍国际上在FED方面的竞争。展望了FED的前景。

关键词 真空微电子学 场致发射 FED 平板显示器件

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碳基场发射冷阴极材料的研究 被引量：2

11

作者 钱开友 林仰魁 +2 位作者 徐东 蔡炳初 孙卓 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第5期12-15,共4页

场发射冷阴极材料作为真空微电子器件的核心部件,在真空微电子场发射的研究与应用中占有极其重要的地位。目前碳基材料金刚石、类金刚石和碳纳米管在场发射冷阴级的研究中居统治地位。阐述了以上3种材料的制备工艺,发射特性,提出了改进... 场发射冷阴极材料作为真空微电子器件的核心部件,在真空微电子场发射的研究与应用中占有极其重要的地位。目前碳基材料金刚石、类金刚石和碳纳米管在场发射冷阴级的研究中居统治地位。阐述了以上3种材料的制备工艺,发射特性,提出了改进其发射性能的措施,并对它们目前存在的问题及其应用前景进行了展望。 展开更多

关键词 碳基材料 场发射冷阴极 真空微电子器件 类金刚石 碳纳米管 发射传感器 场发射平板显示器 微波毫米波器件

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光电成像与器件

12

《中国光学》 EI CAS 2003年第3期62-63,共2页

TN142 2003032070在烧结氧化中Se气氛对真空微电子平板摄像管CdSe靶面性能的影响=Effect of Se source temperature on performancesof CdSe target in VME-FPC[刊,中]/吕永积(国家广电总局广播科学研究院光电研究所.北京(102206)),邵... TN142 2003032070在烧结氧化中Se气氛对真空微电子平板摄像管CdSe靶面性能的影响=Effect of Se source temperature on performancesof CdSe target in VME-FPC[刊,中]/吕永积(国家广电总局广播科学研究院光电研究所.北京(102206)),邵佑军…∥液晶与显示.—2002,17(3).—189-192CdSe是研制高灵敏真空微电子平板摄像管光导靶材材料,在CdSe靶材的结晶过程中Se气氛对形成完整的晶格结构起了至关重要的作用。 展开更多

关键词 真空微电子平板摄像管 气氛 结晶过程 晶格结构 精确控制 科学研究院 器件 调制传递函数 高灵敏 液晶

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