过滤真空弧等离子体沉积成膜系统的磁过滤管道传输特性的实验 被引量：6

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作者 王广甫 张荟星 张孝吉 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期361-365,共5页

介绍了采用90°螺旋管的过滤真空弧等离子体沉积成膜系统，对磁过滤管道的传输特性进行了实验研究．实验观察到，弧源聚焦磁场和过滤管道正偏压越高，过滤管道的传输效率越高．但聚焦磁场高过一定阈值时，会出现起弧不稳现象，此阈... 介绍了采用90°螺旋管的过滤真空弧等离子体沉积成膜系统，对磁过滤管道的传输特性进行了实验研究．实验观察到，弧源聚焦磁场和过滤管道正偏压越高，过滤管道的传输效率越高．但聚焦磁场高过一定阈值时，会出现起弧不稳现象，此阈值的大小同过滤管道磁场及偏压的大小有关．过滤管道正偏压在40～60V范围内，管道磁场在7～11mT时传输效率较高，偏压越高达到最佳传输效率所需的过滤管道磁场越高． 展开更多

关键词 真空弧 等离子体沉积 磁过滤管道 传输特性 薄膜

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磁过滤真空弧等离子体钛沉积膜的XPS研究 被引量：2

2

作者 李永良 王广甫 +4 位作者 马辉 李唯超 陈栾 马芙蓉 张通和 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第2期158-161,共4页

通过磁过滤真空弧等离子体沉积技术 ,在单晶Si和H13钢衬底上生长一层Ti沉积膜。利用扫描电镜、X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪对膜层进行了测量和分析。结果表明 ,加上磁过滤器的沉积膜表面平整光洁 ,无“液滴”出现。在靶室真空度不... 通过磁过滤真空弧等离子体沉积技术 ,在单晶Si和H13钢衬底上生长一层Ti沉积膜。利用扫描电镜、X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪对膜层进行了测量和分析。结果表明 ,加上磁过滤器的沉积膜表面平整光洁 ,无“液滴”出现。在靶室真空度不高的情况下 ,膜层中的Ti以TiO的形式存在 ,并且TiO晶粒沿 <110 >方向择优取向。膜层表面的TiO进一步与大气中氧发生反应形成TiO2 。 展开更多

关键词 磁过滤器 钛沉积膜 结构 真空弧等离子体沉积 制备 X射线 电子能谱 表面形貌

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阴极真空弧放电等离子体的过滤及传输 被引量：5

3

作者 罗云 张孝吉 +2 位作者 张荟星 周凤生 吴先映 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1996年第3期334-337,共4页

阴极真空孤放电产生高密度等离子体的同时，也产生了尺寸可达微米量级的液滴，液滴对膜层的污染限制了它的应用。为解决这个问题，可采用轴对称磁场约束阴极斑，磁过滤器过滤等离子体出束中的液滴。结果表明液滴在磁过滤器出口处已基本... 阴极真空孤放电产生高密度等离子体的同时，也产生了尺寸可达微米量级的液滴，液滴对膜层的污染限制了它的应用。为解决这个问题，可采用轴对称磁场约束阴极斑，磁过滤器过滤等离子体出束中的液滴。结果表明液滴在磁过滤器出口处已基本上被过滤掉了，该处离子束流达到１２０ｍＡ。 展开更多

关键词 阴极真空弧放电 等离子体 过滤 离子镀膜 传输

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一种滑动弧放电等离子体有机废水处理装置

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《化工环保》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期287-287,共1页

该实用新型公开了一种滑动弧放电等离子体有机废水处理装置。在反应罩的绝缘底座上装有与高压电源相连的刀型分又电极，绝缘底座中部有与废水槽相连的废液收集槽，槽口上装有雾化喷嘴，反应罩的上部装有气体采样口、排气管道，排气管道... 该实用新型公开了一种滑动弧放电等离子体有机废水处理装置。在反应罩的绝缘底座上装有与高压电源相连的刀型分又电极，绝缘底座中部有与废水槽相连的废液收集槽，槽口上装有雾化喷嘴，反应罩的上部装有气体采样口、排气管道，排气管道外装有冷却水套，压缩空气和废水槽分别通过导管一起接入雾化喷嘴。废水和压缩空气通过空气雾化喷嘴形成待处理的废水水雾， 展开更多

关键词 废水处理装置 放电等离子体 滑动弧 有机 雾化喷嘴 排气管道 压缩空气 实用新型 高压电源

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磁过滤阴极真空弧沉积装置研究中的等效电路方法

5

作者 王广甫 张荟星 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2003年第1期16-18,共3页

提出了模拟磁过滤阴极真空弧放电等离子体沉积装置阴极弧放电过程的等效电路 ,并用此电路定性研究了各参数对弧放电的影响 。

关键词 磁过滤阴极 真空弧放电等离子体沉积装置 阴极弧放电过程 等效电路 薄膜 制备

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大气压射流等离子体放电特性及其灭菌效果 被引量：12

6

作者 刘文正 严伟 郝宇翀 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期2984-2988,共5页

介绍了一种同轴电极的射流等离子体发生装置,可以直接在大气中将生成的氦气辉光放电射流等离子体喷出进行杀菌消毒,无需反应容器和真空系统,并从电压、频率、流速等方面讨论了该同轴等离子体发生器的放电特性。在稳定的放电条件下,利用... 介绍了一种同轴电极的射流等离子体发生装置,可以直接在大气中将生成的氦气辉光放电射流等离子体喷出进行杀菌消毒,无需反应容器和真空系统,并从电压、频率、流速等方面讨论了该同轴等离子体发生器的放电特性。在稳定的放电条件下,利用实验装置进行了大气压下的等离子体灭菌实验,验证了本装置在等离子体灭菌应用上的可行性和易操作性。灭菌结果表明:在最初的2 min内,细菌减小趋势明显,3 min后细菌几乎全部消亡。 展开更多

关键词 大气压射流 等离子体灭菌 放电特性 灭菌效果 ATMOSPHERIC pressure 等离子体发生器 实验装置 真空系统 细菌 同轴电极 杀菌消毒 辉光放电 放电条件 反应容器 发生装置 大气中 min 验证 稳定 讨论

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磁驱动滑动弧放电装置的磁路设计 被引量：1

7

作者 江中和 刘明海 +1 位作者 辜承林 潘垣 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期111-114,共4页

大气压磁驱动滑动弧放电能产生具有约束性能较好的非平衡等离子体 ,在微电子工业、环境工程等领域有广泛的应用前景。利用磁导法对此装置进行了磁路设计 ,得出了磁感应强度、磁体厚度、气隙长度三者之间的解析表达式。所得出的结果与有... 大气压磁驱动滑动弧放电能产生具有约束性能较好的非平衡等离子体 ,在微电子工业、环境工程等领域有广泛的应用前景。利用磁导法对此装置进行了磁路设计 ,得出了磁感应强度、磁体厚度、气隙长度三者之间的解析表达式。所得出的结果与有限元分析结果进行了比较 ,偏差约为 3 1% ,但磁导法简捷方便 ,通用性强 ,经济性好 。 展开更多

关键词 磁路 磁导 有限元法 大气压非平衡等离子体 优化设计 低温等离子体 磁驱动 滑动弧放电装置 磁路设计

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阴极真空弧沉积中MEVVA源两种工作状态的比较

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作者 王广甫 田人和 +2 位作者 吴瑜光 张孝吉 张荟星 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 1999年第3期366-369,共4页

介绍了阴极真空弧沉积中，弧源在阴极接地和阳极接地2种不同工作状态下的工作特性．发现阳极接地时，因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用，聚焦磁场对孤源放电稳定性的影响不如阴极接地时明显．因此可以加较高的聚焦磁场，从而获得电流... 介绍了阴极真空弧沉积中，弧源在阴极接地和阳极接地2种不同工作状态下的工作特性．发现阳极接地时，因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用，聚焦磁场对孤源放电稳定性的影响不如阴极接地时明显．因此可以加较高的聚焦磁场，从而获得电流较大和较稳定的沉积离子束． 展开更多

关键词 真空弧沉积 阳极接地 等离子体源 阴极 MEVVA源

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过滤管道作为第二阳极的磁过滤阴极真空弧沉积系统

9

作者 王广甫 张荟星 张孝吉 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2000年第6期775-778,共4页

建立了一台磁过滤脉冲阴极真空弧沉积装置 .通过在 90°磁过滤管道和阴极之间加一30～ 60V的正偏压使系统沉积速率得到了大幅度提高 .研究和观察表明 ,此时在过滤管道和阴极之间产生了阴极真空弧放电 ,并因此使阴极消耗率大幅度增... 建立了一台磁过滤脉冲阴极真空弧沉积装置 .通过在 90°磁过滤管道和阴极之间加一30～ 60V的正偏压使系统沉积速率得到了大幅度提高 .研究和观察表明 ,此时在过滤管道和阴极之间产生了阴极真空弧放电 ,并因此使阴极消耗率大幅度增大 .对此放电回路及其和MEVVA阳极 展开更多

关键词 阴极真空弧 等离子体沉积 磁过滤管道 第二阳极

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过滤管道磁场在改进真空弧沉积系统中的作用

10

作者 王广甫 张荟星 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2001年第3期229-233,共5页

在 90°磁过滤管道和MEVVA源阴极之间加 30～ 60V的正偏压可使磁过滤管道起到阴极弧放电第二阳极的作用。在此情况下 ,就磁过滤管道磁场对MEVVA源阳极 阴极和磁过滤管道 阴极两个回路弧放电和磁过滤管道等离子体传输效率的影响进... 在 90°磁过滤管道和MEVVA源阴极之间加 30～ 60V的正偏压可使磁过滤管道起到阴极弧放电第二阳极的作用。在此情况下 ,就磁过滤管道磁场对MEVVA源阳极 阴极和磁过滤管道 阴极两个回路弧放电和磁过滤管道等离子体传输效率的影响进行了实验研究。研究结果表明 :随磁过滤磁场升高 ,磁过滤管道和阴极之间的弧放电规模降低 ,系统的等离子体传输效率升高 。 展开更多

关键词 阴极真空弧放电 磁过滤管道 第二阳极作用 薄膜 磁过滤管道磁场 制备 真空弧沉积系统

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阴极真空弧沉积中靶室第二阳极作用对系统性能的影响

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作者 王广甫 张荟星 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第1期68-70,共3页

介绍了阴极真空弧沉积中 ,弧源在阴极接地和阳极接地两种不同工作状态下的工作特性。发现阳极接地时 ,因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用 ,聚焦磁场对弧源放电稳定性的影响不如阴极接地时明显。因此可以加较高的聚焦磁场 。

关键词 阴极真空弧沉积 靶室 第二阳极作用 MEVVA等离子体源 薄膜 制备

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高能量离子束诊断质谱仪的研制及性能表征

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作者 苏海波 谭国斌 +5 位作者 黄正旭 洪义 车欣欣 王攀攀 高伟 周振 《质谱学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期153-159,I0006,共8页

本研究开发了一台应用于高能量离子束诊断的直线式飞行时间质谱仪,实现了其与高能真空弧放电离子源的联用。该仪器加速电压30 kV,飞行腔有效飞行距离1.5 m,通过短脉冲离子门精确截取,ICCD高速相机优化聚焦,仪器分辨率优于90 FWHM,对放... 本研究开发了一台应用于高能量离子束诊断的直线式飞行时间质谱仪,实现了其与高能真空弧放电离子源的联用。该仪器加速电压30 kV,飞行腔有效飞行距离1.5 m,通过短脉冲离子门精确截取,ICCD高速相机优化聚焦,仪器分辨率优于90 FWHM,对放电过程中产生的等离子体可实现不同时间的离子成分分析。将该方法用于真空弧放电离子源放电过程中离子成分的检测,放电2μs时,电离成分以气态离子C+、O+、C2+、O2+为主;放电6μs后,除气体成分外,还可以检测到Fe+、Cu+及其同位素金属离子峰。该仪器能够给出离子源放电产生离子的种类、价态以及相对含量等信息,可实现整个放电过程产生离子成分信息的准确诊断。 展开更多

关键词 直线式飞行时间质谱仪 真空弧放电离子源 等离子体 高能离子束诊断

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摄影光学 摄影技术及其装置

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《中国光学与应用光学》 2007年第4期67-67,共1页

关键词 摄影技术 光子 蒙特卡罗 玻色子 真空弧放电 闪光灯 分幅相机 装置

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