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题名硅-蓝宝石绝压传感器陶瓷密封结构设计与分析
被引量：2
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作者
姚东媛
夏航
王俊巍
谢胜秋
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机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2017年第8期65-68,共4页
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文摘
介绍了硅-蓝宝石绝压传感器中氧化铝陶瓷-钛合金的真空密封参考腔小型化结构设计,探讨了异质材料不匹配引起的陶瓷断裂问题,对陶瓷-钛合金封装结构的应力情况进行了计算和分析,通过中间缓冲层设计、减小陶瓷承受的结构残余应力,消除了由陶瓷断裂导致的密封失效;选择热胀系数相近的可伐中间层材料,对比不同厚度缓冲层产生的残余应力,优化中间层结构,采用LTCC加工技术与真空钎焊工艺结合制作了陶瓷-可伐-钛合金密封组件,并通过了高、低温度试验考核:组件密封漏率小于1×10^(-10)Pa·m^3/s,密封可靠,满足绝压传感器使用寿命的要求。
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关键词
硅-蓝宝石
绝压传感器
氧化铝陶瓷
真空密封结构
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Keywords
silicon-on-sapphire（SOS）
absolute pressure sensor
alumina ceramic
vacuum sealed structure
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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