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题名新型真空传输机械手设计研究
被引量：3
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作者
李学威
冯亚磊
马壮
王凤利
张金果
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机构
新松机器人自动化股份有限公司
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出处
《机械设计与制造》
北大核心
2013年第6期197-199,共3页
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基金
国家科技重大专项/IC装备机械手及硅片传输系统系列产品研发与产业化(2009ZX02012)
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文摘
作为半导体行业的关键元件,晶圆对晶圆传输机械手的要求非常高。针对传统真空机械手在刚度、洁净度及寿命等方面的不足,提出一种新型连杆式真空传输机械手结构,可实现平面内任意直线轨迹规划运动,不仅结构简单,洁净度高,而且有效的提高了刚度及使用寿命。同时,根据真空传输机械手的结构建立其分析模型,推导运动学公式,对机械手驱动臂同步控制运动及电机同步控制精度进行了仿真分析,阐述了插值次数与运动精度之间的联系并优化得到最佳插值次数,为真空机械手机构的优化设计和平稳控制提供了理论基础。
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关键词
晶圆
真空传输机械手
控制特性
轨迹规划
同步控制
运动精度
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Keywords
Wafer
Vacuum Transmission Manipulator
Control Characteristics
Trajectory Planning
Synchronization Control
Motion Precision
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
TP242.202
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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