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平面反射光栅衍射效率自动测试仪的设计与分析
被引量：
6
1
作者
王芳
齐向东
+1 位作者
于宏柱
于海利
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期556-560,共5页
设计了一种快速自动测试平面反射光栅相对衍射效率的新型系统。它采用连续光源照明,运用双联光栅光谱仪的结构型式,以N沟道增强型场效应管阵列（线阵NMOS）作为光电接收器件。运用光栅光谱仪的相关原理,对系统的测试原理进行了理论分析...
设计了一种快速自动测试平面反射光栅相对衍射效率的新型系统。它采用连续光源照明,运用双联光栅光谱仪的结构型式,以N沟道增强型场效应管阵列（线阵NMOS）作为光电接收器件。运用光栅光谱仪的相关原理,对系统的测试原理进行了理论分析;并对光学系统进行了像质分析。分析得出,系统装置结构紧凑,电子学系统简化;不存在保证两光栅光谱仪的波长扫描同步问题,具有很好的波长重复性,精度易于保证;较之以往文献中的自动化方案制造成本降低,且操作简便,工作效率提高。研究结果表明：该测试仪工作光谱范围为190-1100 nm,覆盖了大多数常用光栅的应用波长范围;且系统光谱分辨率小于3 nm,完全满足设计要求,是一种经济可行的方案。
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关键词
平面反射光栅
相对衍射效率
光栅光谱仪
线阵NMOS
像差
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职称材料
题名
平面反射光栅衍射效率自动测试仪的设计与分析
被引量：
6
1
作者
王芳
齐向东
于宏柱
于海利
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院研究生院
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期556-560,共5页
基金
国家“十一五”科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02)资助
文摘
设计了一种快速自动测试平面反射光栅相对衍射效率的新型系统。它采用连续光源照明,运用双联光栅光谱仪的结构型式,以N沟道增强型场效应管阵列（线阵NMOS）作为光电接收器件。运用光栅光谱仪的相关原理,对系统的测试原理进行了理论分析;并对光学系统进行了像质分析。分析得出,系统装置结构紧凑,电子学系统简化;不存在保证两光栅光谱仪的波长扫描同步问题,具有很好的波长重复性,精度易于保证;较之以往文献中的自动化方案制造成本降低,且操作简便,工作效率提高。研究结果表明：该测试仪工作光谱范围为190-1100 nm,覆盖了大多数常用光栅的应用波长范围;且系统光谱分辨率小于3 nm,完全满足设计要求,是一种经济可行的方案。
关键词
平面反射光栅
相对衍射效率
光栅光谱仪
线阵NMOS
像差
Keywords
Plane reflection grating
Relative diffraction efficiency
Grating spectrograph
Linear array NMOS
Optical aberration
分类号
TH744.1 [机械工程—光学工程]
TB96 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
平面反射光栅衍射效率自动测试仪的设计与分析
王芳
齐向东
于宏柱
于海利
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
6
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