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基于LVDT的光学器件相对位姿检测方法
被引量：
2
1
作者
马立
欧阳航空
+2 位作者
荣伟彬
何正峰
孙立宁
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第10期2324-2329,共6页
针对光学精密装配工艺特点,提出一种基于LVDT的三维相对位姿检测方法。采用4个对称分布的LVDT检测光学装配过程中球面镜与谐振腔体的位姿关系,根据LVDT的读数推导得出球面镜与谐振腔体的相对位姿。设计采用集成信号调理芯片AD598的LVDT...
针对光学精密装配工艺特点,提出一种基于LVDT的三维相对位姿检测方法。采用4个对称分布的LVDT检测光学装配过程中球面镜与谐振腔体的位姿关系,根据LVDT的读数推导得出球面镜与谐振腔体的相对位姿。设计采用集成信号调理芯片AD598的LVDT处理电路作为位姿检测的控制系统,通过实验得出LVDT微位移检测的分辨率为0.1μm,重复检测精度为±0.3μm,并能较好地跟踪方波及正弦波信号。采用PID算法实现球面镜的快速位姿定位。实验结果表明:当球面镜的加工及安装误差在允许范围内时,位姿检测系统可以在25 s内完成球面镜相对于谐振腔体的位姿调整,最大距离误差为0.5μm,最大角度误差为8″,充分验证了基于LVDT相对位姿检测方法的可行性。
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关键词
相对位姿检测
LVDT
光学装配
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职称材料
题名
基于LVDT的光学器件相对位姿检测方法
被引量：
2
1
作者
马立
欧阳航空
荣伟彬
何正峰
孙立宁
机构
上海大学机电工程与自动化学院
哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第10期2324-2329,共6页
基金
国家自然科学基金(50905105)
机器人技术与系统国家重点实验室开放基金(SKLRS-2010-MS-02)资助项目
文摘
针对光学精密装配工艺特点,提出一种基于LVDT的三维相对位姿检测方法。采用4个对称分布的LVDT检测光学装配过程中球面镜与谐振腔体的位姿关系,根据LVDT的读数推导得出球面镜与谐振腔体的相对位姿。设计采用集成信号调理芯片AD598的LVDT处理电路作为位姿检测的控制系统,通过实验得出LVDT微位移检测的分辨率为0.1μm,重复检测精度为±0.3μm,并能较好地跟踪方波及正弦波信号。采用PID算法实现球面镜的快速位姿定位。实验结果表明:当球面镜的加工及安装误差在允许范围内时,位姿检测系统可以在25 s内完成球面镜相对于谐振腔体的位姿调整,最大距离误差为0.5μm,最大角度误差为8″,充分验证了基于LVDT相对位姿检测方法的可行性。
关键词
相对位姿检测
LVDT
光学装配
Keywords
relative position and attitude test
LVDT
optical assembly
分类号
TP206 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于LVDT的光学器件相对位姿检测方法
马立
欧阳航空
荣伟彬
何正峰
孙立宁
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
2
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