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激光辐照VO_2薄膜温度场分布及透射特性研究 被引量：3
1
作者 刘志伟 路远 +1 位作者 侯典心 邹崇文 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期1604-1612,共9页
为了探究VO_2薄膜受激光辐照的温度场分布,以及1 064 nm激光直接辐照100 s内至相变的激光功率密度阈值,并比较近红外和中红外波段透过率调制特性差异。首先基于COMSOL建立了薄膜受激光辐照的模型并进行了温度场仿真,然后分别测试了薄膜... 为了探究VO_2薄膜受激光辐照的温度场分布,以及1 064 nm激光直接辐照100 s内至相变的激光功率密度阈值,并比较近红外和中红外波段透过率调制特性差异。首先基于COMSOL建立了薄膜受激光辐照的模型并进行了温度场仿真,然后分别测试了薄膜正反面被不同功率密度的1 064 nm激光辐照100 s内激光透过率随时间响应特性。实验中的VO_2薄膜利用分子束外延法在Al_2O_3基底上制备得到。仿真结果表明,激光功率密度为25 W獉mm^(-2)时,50 nm厚薄膜在被辐照1 ms时间内即达到相变温度。经激光辐照实验发现:50 nm厚的VO_2薄膜正反面受1 064 nm激光直接辐照100 s内至相变的功率密度阈值分别为4.1 W獉mm^(-2)和5.39 W獉mm^(-2)。30 nm厚VO_2薄膜对1 064 nmn激光的透过率调制深度约为13%,对3 459 nm激光透过率调制深度约62%,说明VO_2薄膜对近红外透过率调制特性不明显。 展开更多
关键词 VO2薄膜 分子束外延 COMSOL仿真 温度场分布 透过率调制深度 相变功率密度阈值
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