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弹光和电光级联的组合相位调制型椭偏测量术
被引量：
9
1
作者
李克武
王黎明
+3 位作者
王志斌
张瑞
薛瑞
陈友华
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期690-697,共8页
利用弹光调制器的偏振调制优势,提出了将弹光调制器和电光调制器级联的组合相位调制型椭偏测量术。该技术采用单光路实现信号探测,通过切换电光调制器的两个工作状态,并结合数字锁相信号处理技术来完成样品反射光的p分量和s分量的幅值...
利用弹光调制器的偏振调制优势,提出了将弹光调制器和电光调制器级联的组合相位调制型椭偏测量术。该技术采用单光路实现信号探测,通过切换电光调制器的两个工作状态,并结合数字锁相信号处理技术来完成样品反射光的p分量和s分量的幅值比Ψ和相位差Δ的全范围高精度测量。对提出的新型椭偏测量原理进行了分析,搭建了相应的实验系统。完成了弹光调制器的调制电压峰峰值和相位调制幅值关系的定标,定标结果优于99.05%,然后还采用系统初始偏移值的方法对实验系统进行了校准。最后,运用该系统对石英玻璃反射样品进行了实验分析,得到的Ψ和Δ的测量精度分别优于0.08°和0.81°。实验结果显示系统校准有效地消除了电光调制器和弹光调制器的剩余双折射引入的测量误差;数据采集和处理时间均在ms量级。提出的测量技术具有宽光谱测量、工作稳定、重复度高、测量速率快、成本相对较低和系统便于工业自动化集成的潜在优势。
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关键词
椭
偏
仪
相位调制型椭偏测量术
弹光
调制
电光
调制
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职称材料
电光相位调制器谐波响应对光纤陀螺的影响
被引量：
14
2
作者
王冬云
毛彩虹
+2 位作者
朱辉
牟旭东
杨国光
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第9期1053-1055,共3页
从电光相位调制器的谐波响应出发 ,对干涉型光纤陀螺信号零偏、零漂的产生来源进行了探讨 用干涉理论和正弦波调制解调分析从原理上指出调制器的振幅与相位两种谐波可产生陀螺信号的零偏和零漂 根据调制器典型数据所做的模拟与人为加...
从电光相位调制器的谐波响应出发 ,对干涉型光纤陀螺信号零偏、零漂的产生来源进行了探讨 用干涉理论和正弦波调制解调分析从原理上指出调制器的振幅与相位两种谐波可产生陀螺信号的零偏和零漂 根据调制器典型数据所做的模拟与人为加入温漂时所得的试验结果相当吻合 从而证实调制器谐波响应是产生陀螺信号偏移和漂移的主要原因 。
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关键词
干涉
型
光纤陀螺
电光
相位
调制
器
谐波响应
零
偏
零漂
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职称材料
题名
弹光和电光级联的组合相位调制型椭偏测量术
被引量：
9
1
作者
李克武
王黎明
王志斌
张瑞
薛瑞
陈友华
机构
中北大学信息与通信工程学院
山西省光电信息与仪器工程技术研究中心
中北大学电子测试技术重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期690-697,共8页
基金
国家国际科技合作专项(No.2013DFR10150)
国家自然科学基金资助项目(No.61127015
+2 种基金
No.61471325
No.61505179
山西省青年科技研究基金资助项目(No.2014021012)
文摘
利用弹光调制器的偏振调制优势,提出了将弹光调制器和电光调制器级联的组合相位调制型椭偏测量术。该技术采用单光路实现信号探测,通过切换电光调制器的两个工作状态,并结合数字锁相信号处理技术来完成样品反射光的p分量和s分量的幅值比Ψ和相位差Δ的全范围高精度测量。对提出的新型椭偏测量原理进行了分析,搭建了相应的实验系统。完成了弹光调制器的调制电压峰峰值和相位调制幅值关系的定标,定标结果优于99.05%,然后还采用系统初始偏移值的方法对实验系统进行了校准。最后,运用该系统对石英玻璃反射样品进行了实验分析,得到的Ψ和Δ的测量精度分别优于0.08°和0.81°。实验结果显示系统校准有效地消除了电光调制器和弹光调制器的剩余双折射引入的测量误差;数据采集和处理时间均在ms量级。提出的测量技术具有宽光谱测量、工作稳定、重复度高、测量速率快、成本相对较低和系统便于工业自动化集成的潜在优势。
关键词
椭
偏
仪
相位调制型椭偏测量术
弹光
调制
电光
调制
Keywords
ellipsometer
phase-modulated ellipsometry
photo-elastic modulation
electro-optic modulation
分类号
O436.3 [机械工程—光学工程]
TH744.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
电光相位调制器谐波响应对光纤陀螺的影响
被引量：
14
2
作者
王冬云
毛彩虹
朱辉
牟旭东
杨国光
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
浙江大学微系统研究与开发中心
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第9期1053-1055,共3页
基金
86 3资助项目
文摘
从电光相位调制器的谐波响应出发 ,对干涉型光纤陀螺信号零偏、零漂的产生来源进行了探讨 用干涉理论和正弦波调制解调分析从原理上指出调制器的振幅与相位两种谐波可产生陀螺信号的零偏和零漂 根据调制器典型数据所做的模拟与人为加入温漂时所得的试验结果相当吻合 从而证实调制器谐波响应是产生陀螺信号偏移和漂移的主要原因 。
关键词
干涉
型
光纤陀螺
电光
相位
调制
器
谐波响应
零
偏
零漂
Keywords
I FOG
Harmonic response
Electro optic phase modulator
Signal bias
Bias stability
分类号
TN253 [电子电信—物理电子学]
O318 [理学—一般力学与力学基础]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
弹光和电光级联的组合相位调制型椭偏测量术
李克武
王黎明
王志斌
张瑞
薛瑞
陈友华
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
9
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
电光相位调制器谐波响应对光纤陀螺的影响
王冬云
毛彩虹
朱辉
牟旭东
杨国光
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
14
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职称材料
已选择
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