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题名基于激光干涉的高分辨率精密位移测量研究
被引量：1
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作者
王春梅
张总
王辉
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机构
兰州工业学院
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出处
《激光杂志》
CAS
北大核心
2023年第4期97-102,共6页
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基金
甘肃省高等学校创新基金项目(No.2021B-305)。
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文摘
由于高分辨率精密位移测量过程中调制深度波动和载波相位延迟,导致相位解调中存在误差,致使测量效果较差,测量时间较长,提出基于激光干涉的高分辨率精密位移测量方法。分析激光干涉原理和位移测量原理,获取位移测量误差产生的原因,采用相位生成载波反正切解调方法解调干涉信号,通过离散卡尔曼滤波修正相位解调后正交信号的幅值和偏置,补偿相位解调误差,实现高分辨率精密位移测量。实验结果表明,所提方法的测量波动均值稳定在±1.5 nm之间,能够有效地稳定测量能力、减小测量误差、缩短测量时间。
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关键词
激光干涉
高分辨率精密位移测量
相位生成载波解调
相位解调误差补偿
卡尔曼滤波
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Keywords
laser interferometry
high resolution precision displacement measurement
phase generation carrier demodulation
phase demodulation error compensation
kalman filtering
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分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
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