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结构光法和相位移法的对比研究被引量：3: 1; 作者赵天宇吴易明 +2 位作者陈良益朱立峰刘宇波《科学技术与工程》 2007年第17期4429-4432,共4页; 结构光法和相位移法都是基于光学三角原理的位移测量方法。对结构光法和相位移法分别进行了原理上的论述,利用表格对其进行了对比。最后总结了各自面临的难题和发展趋势。; 关键词结构光法相位移法三角测量法 CCD PSD; 在线阅读下载PDF 职称材料

衬底温度对溅射硅基铜膜(Cu/Si)应力的影响研究被引量：7: 2; 作者吴桂芳宋学平 +2 位作者刘勇林伟孙兆奇《安徽大学学报（自然科学版）》 CAS 2004年第3期27-32,共6页; 薄膜应力的存在是薄膜制备过程中需要认真考虑的普遍问题。本文对溅射硅基铜膜应力受衬底温度的影响进行了讨论。实验中衬底温度分别设定为室温,50℃,100℃,150℃,200℃,250℃。实验表明:衬底温度在50～200℃之间时,铜膜平均应力变化较... 展开更多; 关键词衬底温度溅射硅基铜膜基片温度微结构光学相位移法薄膜应力超大规模集成电路; 在线阅读下载PDF 职称材料

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