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用于相移点衍射干涉仪的加权最小二乘相位提取算法
被引量:
4
1
作者
于杰
《中国光学与应用光学》
2010年第6期605-615,共11页
针对现有的相位提取算法只对某些特定的误差不敏感,不能满足高精度光学检测的要求,本文引入一种等间隔多步移相算法—权重待定的加权最小二乘算法。通过在最小二乘算法中添加待定的权重,分析移相点衍射干涉仪中多种误差源对算法的影响,...
针对现有的相位提取算法只对某些特定的误差不敏感,不能满足高精度光学检测的要求,本文引入一种等间隔多步移相算法—权重待定的加权最小二乘算法。通过在最小二乘算法中添加待定的权重,分析移相点衍射干涉仪中多种误差源对算法的影响,获得多组约束方程,从而确定权重和新算法。对新算法和标准四步算法、Hariharan五步算法进行比对分析,验证了新算法对PZT线性和二阶非线性移相不准、光强的一阶二阶波动和光源频率一阶二阶波动等误差抑制能力远远优于标准四步算法和Hariharan五步算法;新算法对CCD的量化误差、光强噪声、频率噪声的抑制能力也具有一定优势,且对CCD的二阶响应非线性完全不敏感。
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关键词
移相干涉技术
误差分析
约束方程
最小二乘法
相位提取算法
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职称材料
在CSOCT系统中抑制线性相移误差的校正算法
被引量:
2
2
作者
郑羽
李刚
+2 位作者
刘晶晶
张泰石
林凌
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期753-760,共8页
从理论上详细分析了经典相移算法对线性相移误差的敏感度,用频域和空域两种分析方法对定步长算法抑制线性相移误差的能力进行了分析。建立了含有线性相移误差复频域OCT空域分析法的仿真模型,并对测试样品进行了实验。实验结果表明,五帧...
从理论上详细分析了经典相移算法对线性相移误差的敏感度,用频域和空域两种分析方法对定步长算法抑制线性相移误差的能力进行了分析。建立了含有线性相移误差复频域OCT空域分析法的仿真模型,并对测试样品进行了实验。实验结果表明,五帧相移算法对真实层析结构影响小,对镜像尾迹有完全的抑制作用,能够真正地实现100%的全量程的有效探测。
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关键词
线性相移误差
空域分析
相位提取算法
复频域OCT
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职称材料
基于相位法的三维测量系统的相移误差分析
被引量:
2
3
作者
吴禄慎
万露萍
李彧雯
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第9期1040-1044,共5页
采用投影栅相位法进行三维测量时,光栅移动的精密控制是整个测量系统的基础。针对相移误差,对硬件系统进行设计,通过步进电机细分控制实现更小、更平稳的相移误差;并对传统的四步相位提取算法进行优化,在优化算法中,稳定的相移误差项可...
采用投影栅相位法进行三维测量时,光栅移动的精密控制是整个测量系统的基础。针对相移误差,对硬件系统进行设计,通过步进电机细分控制实现更小、更平稳的相移误差;并对传统的四步相位提取算法进行优化,在优化算法中,稳定的相移误差项可以作为中间变量,即其大小随机变化不再对相位计算结果产生影响。实验结果表明:设计的硬件系统调试简单,步进电机可以实现最小1/128细分;优化后的算法有效地抑制了相移误差对测量结果的影响,进一步提高了表面微观形貌的测量精度和可靠性;从而使得测量系统的整体性能指标得到提升。
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关键词
投影栅
相位
法
细分控制
相移误差
相位提取算法
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职称材料
双点干涉法位相缺陷检测中的解相算法比较
被引量:
5
4
作者
戚子文
刘炳国
+2 位作者
张仲海
卢丙辉
刘国栋
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2016年第4期483-490,共8页
双点光源移相干涉测量是大口径光学元件位相缺陷检测的一种重要方法。为了分析双点干涉中误差对解相算法的影响,首先给出相位缺陷检测的系统结构和理论模型,在此基础上,针对测量过程中主要存在的一次移相误差、二次移相误差、光强误差...
双点光源移相干涉测量是大口径光学元件位相缺陷检测的一种重要方法。为了分析双点干涉中误差对解相算法的影响,首先给出相位缺陷检测的系统结构和理论模型,在此基础上,针对测量过程中主要存在的一次移相误差、二次移相误差、光强误差和随机振动误差,研究了Hariharan 5帧移相算法、13帧移相算法和迭代随机移相算法的解相误差,并进行了仿真分析。结果表明,针对这几种误差源,13帧算法解相精度整体优于5帧法,迭代随机移相算法解相效果优于13帧法和5帧法,当这几种误差按实际指标同时作用时,迭代随机移相算法解相误差RMS小于5帧法和13帧法,PV值稳定在0.5 nm以内。由于随机振动占主要作用,说明迭代随机移相算法受误差影响很小。
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关键词
位相缺陷
双点干涉
相位提取算法
误差分析
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职称材料
题名
用于相移点衍射干涉仪的加权最小二乘相位提取算法
被引量:
4
1
作者
于杰
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《中国光学与应用光学》
2010年第6期605-615,共11页
基金
国家863高技术研究发展计划资助项目
文摘
针对现有的相位提取算法只对某些特定的误差不敏感,不能满足高精度光学检测的要求,本文引入一种等间隔多步移相算法—权重待定的加权最小二乘算法。通过在最小二乘算法中添加待定的权重,分析移相点衍射干涉仪中多种误差源对算法的影响,获得多组约束方程,从而确定权重和新算法。对新算法和标准四步算法、Hariharan五步算法进行比对分析,验证了新算法对PZT线性和二阶非线性移相不准、光强的一阶二阶波动和光源频率一阶二阶波动等误差抑制能力远远优于标准四步算法和Hariharan五步算法;新算法对CCD的量化误差、光强噪声、频率噪声的抑制能力也具有一定优势,且对CCD的二阶响应非线性完全不敏感。
关键词
移相干涉技术
误差分析
约束方程
最小二乘法
相位提取算法
Keywords
phase-shifting interferometry
error analysis
bound equation
least square method
phase extraction algorithm
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
TP391.4 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
在CSOCT系统中抑制线性相移误差的校正算法
被引量:
2
2
作者
郑羽
李刚
刘晶晶
张泰石
林凌
机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期753-760,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.60174032)
文摘
从理论上详细分析了经典相移算法对线性相移误差的敏感度,用频域和空域两种分析方法对定步长算法抑制线性相移误差的能力进行了分析。建立了含有线性相移误差复频域OCT空域分析法的仿真模型,并对测试样品进行了实验。实验结果表明,五帧相移算法对真实层析结构影响小,对镜像尾迹有完全的抑制作用,能够真正地实现100%的全量程的有效探测。
关键词
线性相移误差
空域分析
相位提取算法
复频域OCT
Keywords
linear phase-shift error
spatial analysis
phase-shift algorithm
complex spectral OCT(CSOCT)
分类号
R814.42 [医药卫生—影像医学与核医学]
TP391 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
基于相位法的三维测量系统的相移误差分析
被引量:
2
3
作者
吴禄慎
万露萍
李彧雯
机构
南昌大学机电工程学院
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第9期1040-1044,共5页
基金
国家自然科学基金项目(No.51065021)资助
文摘
采用投影栅相位法进行三维测量时,光栅移动的精密控制是整个测量系统的基础。针对相移误差,对硬件系统进行设计,通过步进电机细分控制实现更小、更平稳的相移误差;并对传统的四步相位提取算法进行优化,在优化算法中,稳定的相移误差项可以作为中间变量,即其大小随机变化不再对相位计算结果产生影响。实验结果表明:设计的硬件系统调试简单,步进电机可以实现最小1/128细分;优化后的算法有效地抑制了相移误差对测量结果的影响,进一步提高了表面微观形貌的测量精度和可靠性;从而使得测量系统的整体性能指标得到提升。
关键词
投影栅
相位
法
细分控制
相移误差
相位提取算法
Keywords
projected grating phase method
subdivision driving
phase-stepping error
phase-extracting algorithm
分类号
TN29 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
双点干涉法位相缺陷检测中的解相算法比较
被引量:
5
4
作者
戚子文
刘炳国
张仲海
卢丙辉
刘国栋
机构
哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院
出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2016年第4期483-490,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.61275096)~~
文摘
双点光源移相干涉测量是大口径光学元件位相缺陷检测的一种重要方法。为了分析双点干涉中误差对解相算法的影响,首先给出相位缺陷检测的系统结构和理论模型,在此基础上,针对测量过程中主要存在的一次移相误差、二次移相误差、光强误差和随机振动误差,研究了Hariharan 5帧移相算法、13帧移相算法和迭代随机移相算法的解相误差,并进行了仿真分析。结果表明,针对这几种误差源,13帧算法解相精度整体优于5帧法,迭代随机移相算法解相效果优于13帧法和5帧法,当这几种误差按实际指标同时作用时,迭代随机移相算法解相误差RMS小于5帧法和13帧法,PV值稳定在0.5 nm以内。由于随机振动占主要作用,说明迭代随机移相算法受误差影响很小。
关键词
位相缺陷
双点干涉
相位提取算法
误差分析
Keywords
phase defects
two-point interference
phase extraction algorithm
error analysis
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于相移点衍射干涉仪的加权最小二乘相位提取算法
于杰
《中国光学与应用光学》
2010
4
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职称材料
2
在CSOCT系统中抑制线性相移误差的校正算法
郑羽
李刚
刘晶晶
张泰石
林凌
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于相位法的三维测量系统的相移误差分析
吴禄慎
万露萍
李彧雯
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2012
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
双点干涉法位相缺陷检测中的解相算法比较
戚子文
刘炳国
张仲海
卢丙辉
刘国栋
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2016
5
在线阅读
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职称材料
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