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题名正交线偏振激光器及其在精密测量中的新应用
被引量：4
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作者
张书练
谈宜东
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机构
清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期1-11,共11页
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文摘
介绍了正交线偏振激光器及其在精密测量中的新应用,包括:1)正交偏振双频激光器,2)纳米激光测尺(基于频率分裂的激光器两偏振光竞争位移传感器)测量原理,3)直接利用波片形成频率分裂的波片位相延迟测量原理,4)激光回馈波片位相延迟测量原理。这些新应用的原理,结构简单,可溯源到光波长。如,纳米激光测尺已在应用中,测量范围12mm,分辨力79nm,线性度小于5×10-5,基于频率分裂的波片位相延迟测量系统重复性达到0.3′,而激光回馈波片位相延迟测量系统具有在线检测的优点。
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关键词
正交线偏振
精密测量
频率分裂
激光纳米测尺
相位延迟测量
激光回馈效应
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Keywords
orthogonally linearly-polarized
precision measurement
frequency splitting
laser nanometer ruler
phase retardation measurement
laser feedback effect
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分类号
O435.1
[机械工程—光学工程]
TN248.2
[电子电信—物理电子学]
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