激光多普勒测速仪产品研发与应用 被引量：6

1

作者 牛洪涛 王连泽 沈熊 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2015年第3期101-105,共5页

总结了10多年来,将激光测速技术科研成果转化为产品过程中解决的几个重要技术关键问题,研发出可靠实用的一维和二维激光测速以及相位多普勒粒径测速实验仪器,成功应用于多种流动测量的教学和科研,为培养高水平的创新型人才和提供多样化... 总结了10多年来,将激光测速技术科研成果转化为产品过程中解决的几个重要技术关键问题,研发出可靠实用的一维和二维激光测速以及相位多普勒粒径测速实验仪器,成功应用于多种流动测量的教学和科研,为培养高水平的创新型人才和提供多样化的市场选择做出了有益的贡献。 展开更多

关键词 实验流体力学 激光测速仪 相位多普勒粒径测速仪

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声学多普勒测速技术综述 被引量：8

2

作者 曹忠义 孙大军 +2 位作者 张志鑫 张殿伦 勇俊 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第11期1914-1926,共13页

速度信息是实现水下精确自主导航的重要参量之一。本文以海洋声学多普勒测速技术为对象,介绍了其研究现状、关键技术和发展趋势。首先将声学测速技术分为声学相关测速技术和声学多普勒测速技术;在此基础上,总结了声学多普勒测速信号处... 速度信息是实现水下精确自主导航的重要参量之一。本文以海洋声学多普勒测速技术为对象,介绍了其研究现状、关键技术和发展趋势。首先将声学测速技术分为声学相关测速技术和声学多普勒测速技术;在此基础上,总结了声学多普勒测速信号处理方法、技术演化历程和国内外设备发展现状;讨论了声学多普勒测速的波形设计、误差标校、性能评价、系统检测等关键技术;最后对声学多普勒测速技术未来发展进行了展望,梳理了声学环境感知、一体化融合等趋势,为相关研究提供有益的参考和借鉴。 展开更多

关键词 声学多普勒测速 多普勒计程仪 多普勒流速剖面仪 相控阵 相位编码 波形设计 误差标校 性能评价 系统检测

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基于多普勒测速技术的JB-9014炸药反应区结构研究 被引量：8

3

作者 裴红波 黄文斌 +3 位作者 覃锦程 张旭 赵锋 郑贤旭 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期485-490,共6页

为了解TATB基JB-9014炸药的爆轰过程,利用火炮驱动飞片加载,采用光子多普勒测速技术,对JB-9014炸药的爆轰反应区结构进行了实验研究。实验中利用火炮发射高速蓝宝石飞片冲击起爆被测炸药,在炸药后表面安装镀膜氟化锂(LiF)窗口测量炸药... 为了解TATB基JB-9014炸药的爆轰过程,利用火炮驱动飞片加载,采用光子多普勒测速技术,对JB-9014炸药的爆轰反应区结构进行了实验研究。实验中利用火炮发射高速蓝宝石飞片冲击起爆被测炸药,在炸药后表面安装镀膜氟化锂(LiF)窗口测量炸药爆轰时的界面粒子速度,测试过程的时间分辨率小于2ns。将粒子速度剖面对时间进行一阶求导,通过一阶导数的拐点来确定炸药反应区宽度、反应时间。研究结果表明,钝感炸药JB-9014的反应时间为(0.26±0.02)μs,对应的化学反应区宽度为(1.5±0.2)mm,反应结束点处的压力为27.3GPa,von Neumann峰处压力为40.3GPa。 展开更多

关键词 光子多普勒测速仪 JB-9014炸药 氟化锂窗口 粒子速度 反应区结构

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应用激光相位多普勒系统测量雾化液滴颗粒和流动特性 被引量：13

4

作者 沈熊 魏乃龙 彭涛 《流体力学实验与测量》 EI CSCD 2000年第2期54-60,共7页

在几何光学近似理论的基础上分析了相位多普勒方法的理论模型和相位 粒径特性关系 ,分析了实验应用的光纤型激光相位多普勒系统的原理和组成 ,并应用此系统对雾化喷嘴的流动和颗粒特性进行了测量 ,得到了液滴的二维速度与粒径的相关和... 在几何光学近似理论的基础上分析了相位多普勒方法的理论模型和相位 粒径特性关系 ,分析了实验应用的光纤型激光相位多普勒系统的原理和组成 ,并应用此系统对雾化喷嘴的流动和颗粒特性进行了测量 ,得到了液滴的二维速度与粒径的相关和统计特性。 展开更多

关键词 相位-多普勒 激光测速 粒子分析 雾化喷嘴

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激光多普勒闪烁信号处理中的小波变换方法 被引量：1

5

作者 郑颖君 吕进 周文晖 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期85-87,共3页

文中讨论小波变换应用于激光多普勒信号处理的方法。研究表明 ,通过连续小波变换 ,可检测多谱勒闪烁信号频移 ,在尺度域上突出测量体积中多粒子多普勒闪烁叠加信号的特征 。

关键词 激光多普勒闪烁信号 小波变换 多粒子状态 激光多普勒测速仪 LDV

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离心喷嘴液膜形态与液膜破碎机制试验研究 被引量：1

6

作者 方传宇 王少林 +8 位作者 王凯兴 刘舆帅 刘富强 杨金虎 曹程 刘存喜 穆勇 徐纲 朱俊强 《力学学报》 北大核心 2025年第2期388-398,共11页

离心喷嘴由于其具有简单可靠的结构以及优异的雾化性能,被广泛应用于航空发动机燃烧室喷嘴.离心喷嘴的性能一定程度上决定了燃烧室的燃烧稳定性能,燃烧组织性能和排放特性.文章采用高速阴影成像技术和相位多普勒粒子测速仪(PDPA)对比研... 离心喷嘴由于其具有简单可靠的结构以及优异的雾化性能,被广泛应用于航空发动机燃烧室喷嘴.离心喷嘴的性能一定程度上决定了燃烧室的燃烧稳定性能,燃烧组织性能和排放特性.文章采用高速阴影成像技术和相位多普勒粒子测速仪(PDPA)对比研究了喷注压力对于离心喷嘴流量系数、喷雾锥角、液膜形态、破碎模式以及粒径分布的影响,系统分析离心喷嘴液膜形态、液膜破碎机制和雾化特性,并使用本征正交分解(POD)方法识别出不同液膜形态下的主要和次要的破碎模式,建立了离心喷嘴液膜形态与雾化特性之间的对应关系,支撑了离心喷嘴雾化性能优化研究.结果发现,随着喷注压力的增大,流量系数和喷雾锥角呈现出先增大后减小的趋势;喷注压力通过改变液膜的液体韦伯数(We)从而改变液膜形态.随着We的增加,液膜的破碎位置逐渐向喷嘴出口处移动,破碎距离逐渐减小,并使得离心喷嘴下游液滴的径向速度增大,大粒径液滴向两侧运动,导致雾锥中心的索太尔平均直径(SMD)迅速下降;离心喷嘴不同的液膜形态包含多种液膜破碎模式,并随着We数增加而演化:随着We数的增加,液膜的主要破碎模式依次为撞击破碎、表面波破碎、穿孔破碎以及湍流破碎,且这4种破碎模式的表面波频率依次增大. 展开更多

关键词 相位多普勒粒子测速仪 高速阴影成像 本征正交分解 液体韦伯数

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细水雾灭火喷嘴的雾化特性测量 被引量：9

7

作者 范明豪 周华 +1 位作者 朱畅 杨华勇 《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1431-1434,共4页

为了改善喷嘴的雾化效果和研究其喷雾过程,对直射式灭火喷嘴进行了加旋芯改进和实验测量.初步探讨了旋芯式喷嘴的雾化机理,简述了三维相位多普勒粒子测速仪(PDPA)的系统参数、测量原理和测量过程.施加不同的喷雾压力,分别测量了喷嘴无... 为了改善喷嘴的雾化效果和研究其喷雾过程,对直射式灭火喷嘴进行了加旋芯改进和实验测量.初步探讨了旋芯式喷嘴的雾化机理,简述了三维相位多普勒粒子测速仪(PDPA)的系统参数、测量原理和测量过程.施加不同的喷雾压力,分别测量了喷嘴无旋芯和有旋芯时的喷雾锥角并进行比较.在2.5 MPa喷雾压力时,测量了旋芯式喷嘴喷射的雾滴分别在喷雾中心和边缘处的索太尔雾滴直径(SMD)、轴向速度、径向速度和切向速度并进行对比.结果表明,与没加旋芯的喷嘴相比,加旋芯的喷嘴有更大的喷雾锥角和更好的雾化效果,其雾化过程符合稳定性理论规律;在喷雾中心和边缘处,喷雾参数有显著的区别. 展开更多

关键词 旋芯喷嘴 相位多普勒粒子测速仪 细水雾 索太尔平均直径 三维速度

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添加筛网对减阻流体湍流空间结构的影响 被引量：6

8

作者 王德忠 董正方 +1 位作者 王松平 张杰 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期1842-1846,共5页

应用相位多普勒测速仪(PDA)和粒子图像测速仪(P IV)对添加筛网后的十六烷基三甲基氯化铵(CTAC)减阻流体湍流流场进行试验研究,得到了减阻流体的速度脉动分布以及在筛网后不同位置的减阻流体湍流速度分布和平均速度分布.结果表明:添加筛... 应用相位多普勒测速仪(PDA)和粒子图像测速仪(P IV)对添加筛网后的十六烷基三甲基氯化铵(CTAC)减阻流体湍流流场进行试验研究,得到了减阻流体的速度脉动分布以及在筛网后不同位置的减阻流体湍流速度分布和平均速度分布.结果表明:添加筛网后,减阻流体的速度脉动明显增强,随着离网格距离的增大,速度脉动逐渐减弱最后趋于稳定;在靠近筛网处,平均速度分布趋向于和水的速度平均分布相一致,而在远离筛网处,其平均速度分布趋向于减阻流体不加筛网时的平均速度分布;随着筛网层数的增多,靠近网格处减阻流体湍流核心区明显增大,同时在近壁面处出现强烈的漩涡波动,瞬间速度空间分布趋近于水的速度空间分布,在远离筛网处,CTAC减阻流体过渡层明显增厚,在湍流核心区和过渡层之间出现小漩涡,表明被金属筛网破坏的胶束重新缔合成棒状胶束,恢复了减阻性能. 展开更多

关键词 减阻流体 湍流特性 相位多普勒测速仪 粒子图像测速仪

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旋流式气/液同轴喷嘴常压雾化燃烧实验研究 被引量：8

9

作者 李进贤 何浩波 +1 位作者 岳春国 冯喜平 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期1563-1569,共7页

利用相位多普勒粒子分析仪,对两种旋流式气/液同轴喷嘴进行了模拟实验研究,获得了冷流模拟条件下和常压燃烧条件下的喷嘴雾化参数分布,以及常压下喷雾流稳定燃烧的条件,分析了该型喷嘴的常压雾化燃烧特性。同时,使用红外热像仪测量了常... 利用相位多普勒粒子分析仪,对两种旋流式气/液同轴喷嘴进行了模拟实验研究,获得了冷流模拟条件下和常压燃烧条件下的喷嘴雾化参数分布,以及常压下喷雾流稳定燃烧的条件,分析了该型喷嘴的常压雾化燃烧特性。同时,使用红外热像仪测量了常压条件下喷雾流燃烧的温度分布,分析了火焰结构,定性研究了喷嘴形式和工况对燃烧性能的影响。 展开更多

关键词 同轴喷嘴 雾化特性 相位多普勒粒子分析仪 红外热像仪

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现代流动测量技术用于撞击流混合器内流动特性的研究进展 被引量：5

10

作者 张建伟 马彦东 冯颖 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期268-273,共6页

分别介绍了几种现代典型的流动测量技术包括热线风速仪(HWA)、激光多普勒测速技术(LDV)、相位激光多普勒技术(PDA)、激光粒子图像测速技术(PIV)及平面激光诱导荧光技术(PLIF)的基本工作原理。在对这些技术在近几年的应用状况进行了介绍... 分别介绍了几种现代典型的流动测量技术包括热线风速仪(HWA)、激光多普勒测速技术(LDV)、相位激光多普勒技术(PDA)、激光粒子图像测速技术(PIV)及平面激光诱导荧光技术(PLIF)的基本工作原理。在对这些技术在近几年的应用状况进行了介绍和分析,指出使用这些测量技术对撞击流混合器内流场进行测试的重要意义。同时介绍了一种新型撞击流装置,并对撞击流的进一步研究进行展望。 展开更多

关键词 热线风速仪 激光多普勒测速技术 相位激光多普勒技术 激光粒子图像测速技术 平面激光诱导荧光技术 撞击流

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内燃机光学诊断试验平台和测试方法综述 被引量：10

11

作者 何旭 伍岳 +9 位作者 马骁 李雁飞 齐运亮 刘泽昌 徐一凡 周扬 李熊伟 刘聪 冯海涛 刘福水 《实验流体力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期1-52,共52页

活塞式内燃发动机是现代工业中应用最为广泛的动力机械装置。由于其内部燃料喷射、蒸发、燃烧等复杂的工作过程会对发动机的结构可靠性、能量利用效率和污染物生成产生极大影响,研究内部过程的物理机理并确定控制策略对于发动机的设计... 活塞式内燃发动机是现代工业中应用最为广泛的动力机械装置。由于其内部燃料喷射、蒸发、燃烧等复杂的工作过程会对发动机的结构可靠性、能量利用效率和污染物生成产生极大影响,研究内部过程的物理机理并确定控制策略对于发动机的设计和改进具有重要的科学意义和实用价值。近年来,为更加深入理解发动机内部工作过程,研究人员广泛采用光学诊断试验技术来测量发动机缸内流动和燃烧特性。本文首先介绍了各类用于模拟发动机工作过程的试验台架(如定容燃烧弹、快速压缩机、光学发动机等)。在此基础上,分析了各类光学诊断技术的基本原理及其在发动机研究中的应用。光学诊断技术分为两类进行讨论,分别是基于传统光学的传统诊断技术(如纹影法、双色法等)和基于激光的先进诊断技术(如粒子图像测速法、激光诱导荧光法等)。光学诊断技术可在多尺度下测量缸内温度、物质浓度、液滴粒径等参数,为准确评估发动机喷油、蒸发、燃烧过程提供试验依据。更重要的是,光学诊断技术为更加深入理解高温高压环境下流动、燃烧的物理/化学机理提供了可能性,为开发高功率、高能效、低排放的先进发动机提供可靠的试验手段,同时为研究人员未来开展基础试验研究、更加深入地理解发动机工作过程提供指导。 展开更多

关键词 内燃机 光学诊断 可视化 喷雾 燃烧 定容燃烧弹 快速压缩机 光学发动机 纹影法 双色法 消光法 折射率匹配法 粒子图像测速 激光诱导荧光 激光诱导炽光 相位多普勒

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带间隙轴流转子顶部三维整体平均速度测量 被引量：2

12

作者 竺晓程 郭强 杜朝辉 《空气动力学学报》 EI CSCD 北大核心 2004年第2期196-200,共5页

用三维激光多普勒测速系统对带间隙轴流转子顶部流场进行测量。在15个不同轴向位置上,获得在90%叶高以外的转子内部、进口以及出口三维整体平均速度分布。根据所测量得到的三维速度,清楚地展现了转子顶部流动的特性,特别是泄漏流对顶部... 用三维激光多普勒测速系统对带间隙轴流转子顶部流场进行测量。在15个不同轴向位置上,获得在90%叶高以外的转子内部、进口以及出口三维整体平均速度分布。根据所测量得到的三维速度,清楚地展现了转子顶部流动的特性,特别是泄漏流对顶部流动的影响。泄漏流沿叶顶弦线从顶部流出,在叶片吸力面侧形成泄漏涡,叶片的旋转运动使得泄漏涡核心向压力面靠近。在顶部区域泄漏流和主流发生混合作用,并被认为是叶顶泄漏流动所造成的主要流动损失之一。 展开更多

关键词 泄漏流 PDA 顶部间隙 轴流转子 三维激光相位多普勒测速仪 速度测量 叶轮机械

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应用PDA对氯化十六烷基三甲基季铵盐溶液的实验研究 被引量：1

13

作者 许鹏 王德忠 +1 位作者 扈黎光 周浩军 《应用科学学报》 CAS CSCD 2003年第3期268-271,共4页

应用激光相位多普勒测速仪进行减阻流体的湍流特性实验研究,测量了不同减阻工况下的减阻流体的横向速度脉动,得到了多种工况下的速度剖面曲线.在对激光测试结果同减阻性能实验结果进行分析的基础上,对速度剖面曲线的形状与减阻率的关系... 应用激光相位多普勒测速仪进行减阻流体的湍流特性实验研究,测量了不同减阻工况下的减阻流体的横向速度脉动,得到了多种工况下的速度剖面曲线.在对激光测试结果同减阻性能实验结果进行分析的基础上,对速度剖面曲线的形状与减阻率的关系进行了探讨,并对垂直于流体流动方向的速度脉动与减阻性能的关系进行了研究.将减阻流体和牛顿流体的雷诺应力进行了比较,结果表明减阻流体的雷诺应力显著减小. 展开更多

关键词 减阻流体 湍流实验 激光相位多普勒测速仪 PDA 氯化十六烷基三甲基季铵盐溶液 表面活性剂 减阻机理

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数字PIV技术在圆柱振荡流中的应用

14

作者 戴光清 王滨蓉 杨庆 《四川大学学报（工程科学版）》 EI CAS CSCD 2001年第6期1-5,共5页

用数字粒子成像测速仪 (DPIV)对圆柱体在静水中作正弦运动而产生的振荡流场进行了实测研究。通过相位锁定技术和互相关分析法 ,分别获得了圆柱体在一个运动周期中 8个不同相位的流场速度矢量及涡量强度等值线分布。实测表明 ,当KC=12 ,... 用数字粒子成像测速仪 (DPIV)对圆柱体在静水中作正弦运动而产生的振荡流场进行了实测研究。通过相位锁定技术和互相关分析法 ,分别获得了圆柱体在一个运动周期中 8个不同相位的流场速度矢量及涡量强度等值线分布。实测表明 ,当KC=12 ,β=2 0 0时 ,圆柱振荡流中将存在一个有明显周期性且很规则的斜向涡街。该涡街主要由一股较强的二次流及其两侧的非对称的涡对构成 ,涡街与圆柱体振动方向约成± 4 5°夹角。 展开更多

关键词 DPIV 圆柱振动流 涡街 数字粒子成像测速仪 振荡流场 相位锁定 互相关分析法

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磨料射流速度测量技术研究进展

15

作者 王明波 王瑞和 杨金莹 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期104-108,共5页

对磨料射流两相速度测量和射流结构测量两方面的进展进行了综述。介绍了两相速度测量中采用的电磁感应法、旋转双盘法、激光-双聚焦法、激光-多普勒测速仪(LDV)、粒子图像速度场仪(PIV)、冲击力测量法,射流结构测量中的扫描X射线光密度... 对磨料射流两相速度测量和射流结构测量两方面的进展进行了综述。介绍了两相速度测量中采用的电磁感应法、旋转双盘法、激光-双聚焦法、激光-多普勒测速仪(LDV)、粒子图像速度场仪(PIV)、冲击力测量法,射流结构测量中的扫描X射线光密度测定和流动分离等技术的测量原理和实验方法,分析了各种方法的优缺点,指出PIV技术将成为今后磨料射流速度测量技术的发展方向。 展开更多

关键词 磨料射流 激光-多普勒测速(LDV) 粒子图像速度场仪(PIV) 速度测量 射流结构

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基于反向撞击法的JB-9014炸药Hugoniot关系测量 被引量：9

16

作者 裴红波 刘俊明 +3 位作者 张旭 舒俊翔 黄文斌 郑贤旭 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期47-52,共6页

为了获得JB-9014未反应炸药的Hugoniot关系,在火炮加载平台上利用反向撞击技术对JB-9014炸药进行一维平面冲击实验。将JB-9014炸药样品作为飞片安装于弹托前表面,将镀膜氟化锂窗口作为装置靶。利用火炮加速弹托,使炸药样品以一定速度撞... 为了获得JB-9014未反应炸药的Hugoniot关系,在火炮加载平台上利用反向撞击技术对JB-9014炸药进行一维平面冲击实验。将JB-9014炸药样品作为飞片安装于弹托前表面,将镀膜氟化锂窗口作为装置靶。利用火炮加速弹托,使炸药样品以一定速度撞击镀膜氟化锂窗口,通过光子多普勒测速仪(photonic Doppler velocimetry,PDV)测量炸药样品击靶速度以及炸药/镀膜氟化锂窗口界面粒子速度。最终根据冲击波阵面守恒关系计算获得了JB-9014炸药冲击Hugoniot数据,采用正交回归直线拟合得到了炸药样品在3.1～8.2 GPa压力范围内的冲击Hugoniot关系:D_s=2.417+2.140u_s (D_s和u_s的单位均为km/s)。结果表明:该方法测试精度较高,响应时间快(小于5 ns),同时该方法可以对炸药的反应情况进行检测,便于判断实验是否测得真实的未反应炸药冲击Hugoniot数据。 展开更多

关键词 JB-9014 炸药 HUGONIOT 关系 反向撞击 光子多普勒测速仪(PDV) 粒子速度

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RDX基含铝炸药爆轰波结构实验研究 被引量：2

17

作者 丁彤 裴红波 +3 位作者 郭文灿 张旭 郑贤旭 刘仓理 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第6期12-19,共8页

为了获得含铝炸药爆轰反应区附近铝粉的反应情况,对两种RDX/Al炸药和一种RDX/LiF炸药的爆轰波结构进行了测量。实验过程中,利用火炮加载产生一维平面波,通过光子多普勒测速仪测量炸药/LiF窗口的界面粒子速度。结果表明:含铝炸药爆轰波... 为了获得含铝炸药爆轰反应区附近铝粉的反应情况,对两种RDX/Al炸药和一种RDX/LiF炸药的爆轰波结构进行了测量。实验过程中,利用火炮加载产生一维平面波,通过光子多普勒测速仪测量炸药/LiF窗口的界面粒子速度。结果表明:含铝炸药爆轰波的结构与理想炸药的差异较大,其界面粒子速度曲线没有明显的拐点;反应初期,由于气相产物与添加物之间温度的非平衡性,RDX/Al界面的粒子速度低于RDX/LiF炸药的;随后,由于铝粉反应放能,RDX/Al界面的粒子速度高于RDX/LiF炸药的;微米尺度铝粉在CJ面前几乎不发生反应;2、10μm等两种粒度铝粉的反应延滞时间小于0.8μs;在本文中,两种粒度铝粉的反应度为16%~31%。 展开更多

关键词 含铝炸药 爆轰反应区 光子多普勒测速仪 反应延滞时间 界面粒子速度

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粗糙地形内潮导致混合的实验研究 被引量：1

18

作者 于宇君 孟静 +1 位作者 陈旭 杨华 《中国海洋大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2018年第12期1-6,共6页

内潮是海洋能量级串中重要环节,对维持海洋背景层结及大尺度环流结构起着重要的作用。本文设计了粗糙地形内潮导致混合的实验方案,对内潮混合机制进行了探讨。根据混合机理将流场分为三个区域:底边界层区、近底边界层区及远离边界层区... 内潮是海洋能量级串中重要环节,对维持海洋背景层结及大尺度环流结构起着重要的作用。本文设计了粗糙地形内潮导致混合的实验方案,对内潮混合机制进行了探讨。根据混合机理将流场分为三个区域:底边界层区、近底边界层区及远离边界层区。利用PIV及ADV观测内潮流场中断面的流速,计算并对比了两者的无量纲流速振幅、雷诺剪切应力及湍耗散率。对比结果良好,实验方案可用于内潮混合的实验研究。 展开更多

关键词 内潮 混合 湍耗散率 粒子图像测速技术(PIV) 声谱多普勒流速仪(ADV)

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基于二维LDV低压流场速度测量的研究 被引量：4

19

作者 邹胜 杨铁牛 +2 位作者 黄尊地 吴宗跃 赵蕾蕾 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期169-175,共7页

在半导体制造领域中,IC装备工艺腔室流场的均匀性决定镀膜的质量。本文运用二维激光多普勒测速仪(LDV)对真空腔室进行内流场测量,研究了在不同进气量、不同腔室压强下,腔室各平面流速的分布规律。研究表明,粒子浓度和背景噪声是影响腔... 在半导体制造领域中,IC装备工艺腔室流场的均匀性决定镀膜的质量。本文运用二维激光多普勒测速仪(LDV)对真空腔室进行内流场测量,研究了在不同进气量、不同腔室压强下,腔室各平面流速的分布规律。研究表明,粒子浓度和背景噪声是影响腔室流速测量的两大关键因素,采用四种方法有效地降低了背景噪声对信号的干扰;通过大量实验得出了LDV有效测量腔室流速的压力范围,以及腔室压强、进气量与流速之间的关系;验证了腔室内二级匀气装置具有均匀布气的功能。研究结果能为IC装备的设计提供数据支持。 展开更多

关键词 二维激光多普勒测速仪 真空腔室 粒子浓度 背景噪声 流速测量

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波束故障条件下基于ST-EKF的SINS/DVL紧组合导航优化方法 被引量：1

20

作者 冉昌艳 祝执 +2 位作者 王伟 罗志会 朱倚娴 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第10期996-1003,共8页

针对基于扩展卡尔曼滤波(EKF)的捷联惯性导航系统/多普勒测速仪(SINS/DVL)紧组合导航系统中出现波束故障时,采用波束频移信息重构的故障处理方案会引起量测噪声特性变化,导致导航精度降低的问题,提出了一种波束故障条件下基于状态变换... 针对基于扩展卡尔曼滤波(EKF)的捷联惯性导航系统/多普勒测速仪(SINS/DVL)紧组合导航系统中出现波束故障时,采用波束频移信息重构的故障处理方案会引起量测噪声特性变化,导致导航精度降低的问题,提出了一种波束故障条件下基于状态变换扩展卡尔曼滤波(ST-EKF)的SINS/DVL紧组合导航优化方法。根据四波束Janus阵列的结构特性,提出适用于紧组合导航系统的目标函数,并采用粒子群优化算法对系统噪声协方差矩阵和量测噪声协方差矩阵进行实时优化。仿真实验结果表明,与基于EKF的SINS/DVL紧组合导航系统相比,所提方法的定位精度提高了70.4%,有效提高了波束故障条件下组合系统的导航精度。 展开更多

关键词 捷联惯性导航系统/多普勒测速仪紧组合导航 状态变换扩展卡尔曼滤波 粒子群优化 波束多普勒频移重构

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