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基于相位反馈控制的压电微音叉扫描探针显微镜
被引量：
2
1
作者
黄强先
王广红
+1 位作者
万耿华
倪康
《工具技术》
2010年第4期72-75,共4页
压电微音叉具有谐振频率稳定、品质因数高和易于实现音叉臂的振动检测等优点。利用微音叉的这些特性,将其与钨探针结合,构成了压电微音叉扫描探针显微镜(SPM)测头,可实现对微观表面的测量。该测头扫描时,压电微音叉的谐振频率被试样表...
压电微音叉具有谐振频率稳定、品质因数高和易于实现音叉臂的振动检测等优点。利用微音叉的这些特性,将其与钨探针结合,构成了压电微音叉扫描探针显微镜(SPM)测头,可实现对微观表面的测量。该测头扫描时,压电微音叉的谐振频率被试样表面原子和钨探针尖端原子间的作用力调制。探针的谐振状态通过锁相环路(PLL)实现,微音叉测头与试样间的恒定测力及测头的Z向定位通过相位反馈控制实现。此外,测量系统可同时获得试样表面的微观轮廓图和相位图。
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关键词
压电微音叉
相位反馈控制
锁相环路
扫描探针显微镜
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职称材料
题名
基于相位反馈控制的压电微音叉扫描探针显微镜
被引量：
2
1
作者
黄强先
王广红
万耿华
倪康
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
合肥工业大学
出处
《工具技术》
2010年第4期72-75,共4页
基金
国家重点实验室开放基金资助项目(PIL0513)
国家自然科学基金资助项目(50975075)
文摘
压电微音叉具有谐振频率稳定、品质因数高和易于实现音叉臂的振动检测等优点。利用微音叉的这些特性,将其与钨探针结合,构成了压电微音叉扫描探针显微镜(SPM)测头,可实现对微观表面的测量。该测头扫描时,压电微音叉的谐振频率被试样表面原子和钨探针尖端原子间的作用力调制。探针的谐振状态通过锁相环路(PLL)实现,微音叉测头与试样间的恒定测力及测头的Z向定位通过相位反馈控制实现。此外,测量系统可同时获得试样表面的微观轮廓图和相位图。
关键词
压电微音叉
相位反馈控制
锁相环路
扫描探针显微镜
Keywords
piezo-electrical micro-fork
phase feedback control
phase locked loop
scanning probe microscope
分类号
TH71 [机械工程—测试计量技术及仪器]
TH89 [机械工程—精密仪器及机械]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于相位反馈控制的压电微音叉扫描探针显微镜
黄强先
王广红
万耿华
倪康
《工具技术》
2010
2
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