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超精密平面飞切机床关键技术研究
被引量：
1
1
作者
陈东生
李祥
+1 位作者
宋颖慧
肖虹
《制造技术与机床》
北大核心
2020年第5期73-76,共4页
研制了一种用于KDP晶体加工的平面飞切机床,该机床直线轴基于直线电动机驱动、液体静压导轨支承;刀具旋转轴采用高刚度气浮主轴+高刚度主轴旋转机构。基于高精度分辨率位置反馈+线性驱动器+PID控制算法,直线轴获得了1 mm/min速度下,0.01...
研制了一种用于KDP晶体加工的平面飞切机床,该机床直线轴基于直线电动机驱动、液体静压导轨支承;刀具旋转轴采用高刚度气浮主轴+高刚度主轴旋转机构。基于高精度分辨率位置反馈+线性驱动器+PID控制算法,直线轴获得了1 mm/min速度下,0.018 mm/min的低速波动以及±0.01μm的位置精度;刀具微进给装置采用差动螺纹进给来实现,最终获得了进给分辨率1μm、锁紧后位置移动量小于1μm高精度进给。在优化工艺参数后,金刚石飞切机床加工100 mm×100 mm×10mm的KDP晶体后获得表面粗糙度Rq优于2 nm高精度指标;加工400 mm×400 mm×30 mm的铝镜后获得面形PV值优于3μm的高精度指标。
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关键词
KDP晶体
液体静压导轨
直线电动机驱动
飞切机床
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职称材料
题名
超精密平面飞切机床关键技术研究
被引量：
1
1
作者
陈东生
李祥
宋颖慧
肖虹
机构
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
出处
《制造技术与机床》
北大核心
2020年第5期73-76,共4页
基金
“高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项(2017ZX04022001)。
文摘
研制了一种用于KDP晶体加工的平面飞切机床,该机床直线轴基于直线电动机驱动、液体静压导轨支承;刀具旋转轴采用高刚度气浮主轴+高刚度主轴旋转机构。基于高精度分辨率位置反馈+线性驱动器+PID控制算法,直线轴获得了1 mm/min速度下,0.018 mm/min的低速波动以及±0.01μm的位置精度;刀具微进给装置采用差动螺纹进给来实现,最终获得了进给分辨率1μm、锁紧后位置移动量小于1μm高精度进给。在优化工艺参数后,金刚石飞切机床加工100 mm×100 mm×10mm的KDP晶体后获得表面粗糙度Rq优于2 nm高精度指标;加工400 mm×400 mm×30 mm的铝镜后获得面形PV值优于3μm的高精度指标。
关键词
KDP晶体
液体静压导轨
直线电动机驱动
飞切机床
Keywords
KDP crystal
hydrostatic guideway
linear motor driving
flying cutting machine tool
分类号
TH69 [机械工程—机械制造及自动化]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
超精密平面飞切机床关键技术研究
陈东生
李祥
宋颖慧
肖虹
《制造技术与机床》
北大核心
2020
1
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