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题名基于电流变阻尼超精密气浮工作台建模及控制研究
被引量：1
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作者
陈亚英
朱煜
段广洪
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机构
清华大学精密仪器与机械学系
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出处
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第8期24-27,36,共5页
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基金
国家重点基础研究发展计划支持项目(2003cb716204)
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文摘
随超精密装备加工精度和生产率的不断提高,直线气浮系统得到广泛重视和研究。为解决直线气浮系统抗干扰能力较差等问题,针对已开发的超精密直线气浮工作台,设计了电流变剪切模式阻尼器;建立了气浮工作台整体模型并基于屈服前后平滑过渡的Eyring连续本构模型通过辨识得出电流变剪切阻尼器类稳态模型;分别对零电场线性及高电场非线性电流变阻尼2种情况下的气浮工作台应用误差积分LQR控制器;为达到综合最优,进一步提出开关及滑模控制器,实验证实这2种控制策略均能同时提高系统的响应速度、减少建立时间,降低跟踪误差及纹波。
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关键词
直线气浮系统
电流变阻尼
Eyring模型
开关控制
滑模控制
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Keywords
ultra-precision gas bearing stage
electrorheological damper
Eyring model
on-off control
sliding mode control
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分类号
TP13
[自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
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题名基于电流变阻尼超精密气浮工作台研究
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作者
陈亚英
朱煜
段广洪
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机构
清华大学精密仪器与机械学系
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出处
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期7-9,12,共4页
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基金
国家重点基础研究发展计划支持项目(2003cb716204)
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文摘
为解决直线气浮系统抗干扰能力较差等问题,针对已开发的超精密直线气浮工作台,设计了电流变剪切模式阻尼器;基于屈服前后平滑过渡的Eyring连续本构模型通过辨识得出电流变剪切阻尼器类稳态模型;从仿真和实验研究了电流变阻尼及高电场强度对直线气浮工作台模态的影响,实验模态结果验证了仿真方法的有效性,同时证实设计的电流变阻尼器及电场强度的提高不会造成模态频率的下降,只会引起阻尼比的大幅度提高,甚至减少模态阶数。
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关键词
直线气浮系统
电流变阻尼
Eyring模型
模态
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Keywords
ultra-precision gas bearing stage
electrorheological damper
Eyfing model
modal
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分类号
TB381
[一般工业技术—材料科学与工程]
TH161.5
[机械工程—机械制造及自动化]
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