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长轴零件直流等离子体离子注入轨迹数值仿真研究
被引量：
1
1
作者
蔡明哲
张春雨
+1 位作者
巩春志
田修波
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期443-448,共6页
直流等离子体离子注入是一种新的离子注入手段。本文基于particle-in-cell模型使用MATLAB软件对长轴零件直流等离子体离子注入进行数值仿真研究,主要考察工件到等离子体边界栅网距离、工件半径、工件电势以及离子种类对于离子注入范围...
直流等离子体离子注入是一种新的离子注入手段。本文基于particle-in-cell模型使用MATLAB软件对长轴零件直流等离子体离子注入进行数值仿真研究,主要考察工件到等离子体边界栅网距离、工件半径、工件电势以及离子种类对于离子注入范围和角度的影响。结果表明,工件到栅网的距离对注入结果的影响较大,距离增加导致离子注入相对范围缩小,注入倾斜角度减小。工件尺寸也会影响注入结果,当工件半径较小时,离子注入相对范围较大,注入角度波动也较大;也讨论了离子种类、工件电压不会对离子运动轨迹、注入位置和注入角度造成影响。
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关键词
直流等离子体注入
Particle-in-cell模型
MATLAB软件
长轴
离子
轨迹
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职称材料
题名
长轴零件直流等离子体离子注入轨迹数值仿真研究
被引量：
1
1
作者
蔡明哲
张春雨
巩春志
田修波
机构
哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期443-448,共6页
基金
国家自然科学基金(U1330110)资助
文摘
直流等离子体离子注入是一种新的离子注入手段。本文基于particle-in-cell模型使用MATLAB软件对长轴零件直流等离子体离子注入进行数值仿真研究,主要考察工件到等离子体边界栅网距离、工件半径、工件电势以及离子种类对于离子注入范围和角度的影响。结果表明,工件到栅网的距离对注入结果的影响较大,距离增加导致离子注入相对范围缩小,注入倾斜角度减小。工件尺寸也会影响注入结果,当工件半径较小时,离子注入相对范围较大,注入角度波动也较大;也讨论了离子种类、工件电压不会对离子运动轨迹、注入位置和注入角度造成影响。
关键词
直流等离子体注入
Particle-in-cell模型
MATLAB软件
长轴
离子
轨迹
Keywords
Direct current plasma implantation
Particle-in-cell
MATLAB software
Long shaft
Ion trajectory
分类号
TL612.3 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
长轴零件直流等离子体离子注入轨迹数值仿真研究
蔡明哲
张春雨
巩春志
田修波
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
1
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