直流电弧等离子体射流法沉积金刚石薄膜

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作者 白亦真 吕宪义 +1 位作者 金曾孙 邹广田 《人工晶体学报》 CSCD 1991年第3期344-344,共1页

采用直流电弧等离子体射流法,在硬质合金、单晶硅等衬底上,制备出了多晶金刚石薄膜,沉积速率约为20μm/h,是一般低压沉积法的几十倍,成膜范围φ10mm。自行设计的沉积装置有三支气路,对各气路进不同气体的几种情况进行了实验研究,结果表... 采用直流电弧等离子体射流法,在硬质合金、单晶硅等衬底上,制备出了多晶金刚石薄膜,沉积速率约为20μm/h,是一般低压沉积法的几十倍,成膜范围φ10mm。自行设计的沉积装置有三支气路,对各气路进不同气体的几种情况进行了实验研究,结果表明,各种气体不同的进气途径对于成膜质量、沉积速率及工作的稳定性影响很大。 展开更多

关键词 直流电弧等离子体射流法

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直流电弧等离子体喷射法制备金刚石涂层拉拔模具 被引量：5

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作者 崔玉明 李国华 姜龙 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2019年第6期25-29,共5页

线材拉拔加工正向精密、高速、低耗、高生产效率方向发展,金刚石涂层拉拔模具是最受用户青睐的产品之一。在综述直流电弧等离子体喷射技术制备金刚石涂层拉拔模具方法的基础上,利用洛氏硬度计、表面粗糙度轮廓测量仪、拉曼光谱仪和光学... 线材拉拔加工正向精密、高速、低耗、高生产效率方向发展,金刚石涂层拉拔模具是最受用户青睐的产品之一。在综述直流电弧等离子体喷射技术制备金刚石涂层拉拔模具方法的基础上,利用洛氏硬度计、表面粗糙度轮廓测量仪、拉曼光谱仪和光学显微镜进行涂层质量检测。检测结果显示:金刚石涂层的纯度和厚度均匀性均较好;在1470 N载荷下薄膜压痕的边缘区域无严重裂纹及薄膜脱落现象,其表面粗糙度R a平均值为18 nm。 展开更多

关键词 直流电弧等离子体喷射法 拉拔模具 金刚石涂层

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直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法制备金刚石膜过程中冷阱的设计及作用 被引量：1

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作者 陈良贤 邵思武 +8 位作者 刘鹏 安康 郑宇亭 黄亚博 白明洁 张建军 刘金龙 魏俊俊 李成明 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2022年第2期150-155,共6页

首先,介绍直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法的原理以及气体循环系统的设计和其优缺点;其次,详细介绍冷阱系统的设计及其工作原理;最后,使用拉曼光谱和傅里叶变换红外光谱与光致发光光谱对比添加冷阱系统前后的金刚石薄膜的质量。结... 首先,介绍直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法的原理以及气体循环系统的设计和其优缺点;其次,详细介绍冷阱系统的设计及其工作原理;最后,使用拉曼光谱和傅里叶变换红外光谱与光致发光光谱对比添加冷阱系统前后的金刚石薄膜的质量。结果表明:冷阱系统可以有效过滤循环气路中的热油气,避免杂质的掺入;在添加冷阱系统后,金刚石膜内掺入的杂质减少,金刚石拉曼峰半高宽降低到6.76 cm^(−1),接近于Ib型单晶金刚石的,且自支撑金刚石膜的晶体质量明显提高,光学透过率提升较大,在10.6μm波长处达到68.4%。 展开更多

关键词 直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法 金刚石膜 循环系统 冷阱

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提高Ni、Cu超微粉生产率的方法研究 被引量：6

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作者 孙维民 金寿日 李志杰 《应用科学学报》 CAS CSCD 2000年第2期164-166,共3页

研究了用直流电弧等离子体法制备 Ni、Cu超微粉时 ,在原材料中加入高熔点金属 W、Mo后 ,对超微粉产率的影响 .结果表明 ,Ni、Cu超微粉的产率有较大幅度提高 ,并且超微粉中几乎不含有 W和 Mo.探讨了 W、Mo提高超微粉产率的原因 .

关键词 超微粉 生产率 镍 铜 直流电弧等离子体法

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金刚石涂层游动芯头制备及其在铜管生产中的应用

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作者 崔玉明 王勇 +2 位作者 李国华 姜龙 董旺 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2024年第4期456-462,共7页

通过沉积方式和旋转装置设计,采用直流电弧等离子体喷射法在硬质合金游动芯头表面均匀沉积金刚石涂层,并利用白光干涉仪、扫描电子显微镜、Raman光谱仪和压痕法对涂层的表面粗糙度、形貌、质量均匀性和膜–基附着力等进行测试分析。结... 通过沉积方式和旋转装置设计,采用直流电弧等离子体喷射法在硬质合金游动芯头表面均匀沉积金刚石涂层,并利用白光干涉仪、扫描电子显微镜、Raman光谱仪和压痕法对涂层的表面粗糙度、形貌、质量均匀性和膜–基附着力等进行测试分析。结果表明:金刚石涂层抛光后的表面平均粗糙度S_(a)为76.4 nm,金刚石涂层脱落位置到压痕中心的平均距离为287.9μm,且各位置的金刚石涂层厚度均匀性和质量均较好。将制备的金刚石涂层游动芯头应用于高精度精密铜管生产线中,与硬质合金游动芯头对比,其在降低劳动强度、保证铜管一致性和延长芯头使用寿命方面都有显著效果。 展开更多

关键词 铜管 直流电弧等离子体喷射法 游动芯头 金刚石涂层

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镍/碳复合纳米粒子的制备及电磁性能研究 被引量：9

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作者 董星龙 钟武波 +2 位作者 左芳 李哲男 刘顺华 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期519-521,共3页

用直流电弧等离子体法分别在甲烷和 (H2+Ar)气氛下制备了纳米镍粒子,利用XPS和TEM等分析手段对两种纳米镍粒子的表层特征和形貌进行了分析,发现甲烷气氛下制备的纳米镍粒子表面包覆了多层碳膜,H2+Ar气氛下制备的纳米镍粒子由于要进行钝... 用直流电弧等离子体法分别在甲烷和 (H2+Ar)气氛下制备了纳米镍粒子,利用XPS和TEM等分析手段对两种纳米镍粒子的表层特征和形貌进行了分析,发现甲烷气氛下制备的纳米镍粒子表面包覆了多层碳膜,H2+Ar气氛下制备的纳米镍粒子由于要进行钝化处理表面包覆有氧化物膜(Ni2O3).测定了两种纳米粉体的复介电常数和复磁导率以及以此为填料制备的导电涂料的导电率,证明了碳包覆纳米镍粒子的2～18GHz频率范围内电磁参数大小搭配及频响特性优于氧化物包覆纳米粒子. 展开更多

关键词 金属纳米材料 碳包覆纳米镍粒子 直流电弧等离子体法 甲烷

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铁、镍及其合金纳米粒子的制备及电磁性能研究 被引量：10

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作者 李灿权 张雪峰 +3 位作者 王威娜 朱旭光 董星龙 黄昊 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期46-50,共5页

利用直流电弧等离子法在10^5Pa H2＋Ar混合气氛下制备了Fe，Ni及FeNi合金纳米粒子，通过XRD，TEM，XPS，VSM及TC-436（LECO LTD．）N／O分析仪等对纳米粒子结构、形貌、成分、表面状态及静态磁性能进行了表征，并通过矢量网络分析仪，... 利用直流电弧等离子法在10^5Pa H2＋Ar混合气氛下制备了Fe，Ni及FeNi合金纳米粒子，通过XRD，TEM，XPS，VSM及TC-436（LECO LTD．）N／O分析仪等对纳米粒子结构、形貌、成分、表面状态及静态磁性能进行了表征，并通过矢量网络分析仪，利用同轴波导的方法对金属纳米粒子进行了电磁参数的测定。结果发现：在2～8GHz频率范围内，Fe，Ni，FeNi合金纳米粒子／固体石蜡复合材料的复介电常数虚部ε″在3～4，7～10，14～16GHz频段均出现三个峰值，随着Fe元素含量的增加，FeNi合金纳米粒子的复介电常数ε″损耗值成规律性的增加；复磁导率实部μ′也逐渐增大，且在2－4GHz范围出现极大值，复磁导率虚部μ″吸收峰值向高频段移动，而且当成分（质量分数／％）为Fe49．00Ni和Fe28．35Ni时，材料的吸收频带展宽。 展开更多

关键词 直流电弧等离子体法 纳米粒子 吸波材料

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SiC/C纳米复合材料的制备与性能表征 被引量：9

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作者 甘小荣 薛方红 +5 位作者 黄昊 董星龙 汪晓允 于洪涛 刘艳明 全燮 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期75-80,86,共7页

在Ar气的保护下,以微米级的石墨粉和Si粉为原料,H2为活性气体,通过直流电弧等离子体法原位合成SiC/C纳米复合材料.采用XRD,Raman和红外光谱分析产物的成分;应用SEM和TEM观察产物的形貌和微结构;使用紫外可见漫反射光谱仪和紫外可见分光... 在Ar气的保护下,以微米级的石墨粉和Si粉为原料,H2为活性气体,通过直流电弧等离子体法原位合成SiC/C纳米复合材料.采用XRD,Raman和红外光谱分析产物的成分;应用SEM和TEM观察产物的形貌和微结构;使用紫外可见漫反射光谱仪和紫外可见分光光度计分别测试了产物的光吸收性质和对亚甲基兰的光催化降解性能.结果表明：产物是由占主相的β-SiC和少量的C组分构成的SiC/C球状复合物;包覆的C壳层厚度为60nm,核层是平均粒径50nm的SiC颗粒,复合体的尺寸约为0.5～1μm;带隙为2.35eV,此复合材料具有较好的电子迁移性能和一定的光催化性能. 展开更多

关键词 直流电弧等离子体法 纳米复合材料 光催化

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电刷镀(Ni-P)-TiN纳米微粒复合镀层的组织与力学性能 被引量：3

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作者 赵福国 黄昊 +3 位作者 王飞 郭道远 吕波 董星龙 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2010年第9期1-4,共4页

采用直流电弧等离子体气相蒸发法,在氢气与氮气混合气氛中蒸发块体Ti金属制备TiN单晶纳米颗粒,以此纳米颗粒为添加粒子,利用电刷镀方法制备出(Ni-P)-TiN纳米微粒复合镀层。对纳米颗粒及其复合镀层进行了物相结构、表面形貌及微观组织分... 采用直流电弧等离子体气相蒸发法,在氢气与氮气混合气氛中蒸发块体Ti金属制备TiN单晶纳米颗粒,以此纳米颗粒为添加粒子,利用电刷镀方法制备出(Ni-P)-TiN纳米微粒复合镀层。对纳米颗粒及其复合镀层进行了物相结构、表面形貌及微观组织分析,并测试了镀层显微硬度和耐磨性能。研究结果表明:TiN纳米颗粒具有立方晶体结构,(Ni-P)-TiN纳米微粒复合镀层的硬度较普通Ni-P合金镀层提高近3倍,耐磨性能也有显著提高。 展开更多

关键词 TiN纳米颗粒 直流电弧等离子体法 复合电刷镀 力学性能

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大面积球面金刚石膜的均匀沉积研究 被引量：7

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作者 相炳坤 左敦稳 +2 位作者 李多生 陆海泉 陈荣发 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期33-38,共6页

利用直流电弧等离子体喷射法沉积装置在底径65 mm、高5 mm的Mo球面衬底上制备出厚度大于500μm金刚石膜。用千分尺测量膜径向厚度以判断膜厚均匀性,用SEM观察膜的表面形貌,用拉曼谱仪测量膜的表面纯度,通过分析电镜形貌和拉曼谱峰的... 利用直流电弧等离子体喷射法沉积装置在底径65 mm、高5 mm的Mo球面衬底上制备出厚度大于500μm金刚石膜。用千分尺测量膜径向厚度以判断膜厚均匀性,用SEM观察膜的表面形貌,用拉曼谱仪测量膜的表面纯度,通过分析电镜形貌和拉曼谱峰的分布特点来判断金刚石膜的质量均匀性。结果表明,在优化工艺条件下,直流电弧等离子体喷射法设备可以在球面Mo衬底上生长出厚度和质量都比较均匀的半透光的自支撑球面金刚石厚膜。 展开更多

关键词 金刚石膜 直流电弧等离子体喷射法 均匀性 SEM 拉曼

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纳米钴粉的制备及其在乙醇中的分散性能 被引量：7

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作者 蒙海宁 赵芳霞 张振忠 《中南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期2986-2992,共7页

针对高性能硬质合金的制备基础研究,通过直流电弧等离子体蒸发法制备纳米级钴粉,利用X线衍射(XRD)、X线荧光分析(XRF)、振动磁强计(VSM)、透射电子显微镜(TEM)和相应的选区电子衍射(SAED)等测试手段对样品进行表征。在测定样品粉体于无... 针对高性能硬质合金的制备基础研究,通过直流电弧等离子体蒸发法制备纳米级钴粉,利用X线衍射(XRD)、X线荧光分析(XRF)、振动磁强计(VSM)、透射电子显微镜(TEM)和相应的选区电子衍射(SAED)等测试手段对样品进行表征。在测定样品粉体于无水乙醇中pH-Zeta电位的基础上,研究超声时间和特定的分散剂及其加入量对分散效果的影响。研究结果表明:直流电弧等离子体蒸发法制备的纳米钴粉为立方晶体结构,纯度(质量分数)达99.923%,粒径分布窄,颗粒呈现球形。随着超声时间和分散剂浓度的增加,纳米钴粉在无水乙醇中的分散效果呈现先增大后减小的趋势;不同分散剂分散效果从优到劣的顺序为:PVP,SHMP,TEA,CTAB和STAN-80。纳米钴粉在无水乙醇中较好分散工艺为:在pH=7的情况下,PVP加入量(质量分数)为2%,超声时间为30 min,超声功率为560 W。 展开更多

关键词 直流电弧等离子体蒸发法 纳米钴粉 分散性能 无水乙醇

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