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EB-PVD法制备微层材料的研究
被引量：
4
1
作者
李晓海
陈贵清
+1 位作者
韩杰才
孟松鹤
《宇航材料工艺》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期13-16,共4页
简要介绍了用于电子束物理气相沉积的设备及其发展,阐述了利用该技术制备微层材料的优点,同时对制备工艺和相应的材料性能作了详细的介绍,并指出使用电子束物理气相沉积技术制备微层材料具有广阔的发展前景。
关键词
电子束物理
气
相
沉积
微层材料
直接气相沉积
发展前景
在线阅读
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职称材料
题名
EB-PVD法制备微层材料的研究
被引量：
4
1
作者
李晓海
陈贵清
韩杰才
孟松鹤
机构
哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所
出处
《宇航材料工艺》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期13-16,共4页
基金
国家自然科学基金(90205034)
文摘
简要介绍了用于电子束物理气相沉积的设备及其发展,阐述了利用该技术制备微层材料的优点,同时对制备工艺和相应的材料性能作了详细的介绍,并指出使用电子束物理气相沉积技术制备微层材料具有广阔的发展前景。
关键词
电子束物理
气
相
沉积
微层材料
直接气相沉积
发展前景
Keywords
EB - PVD, Microlaminated materials, Directed vapor deposition
分类号
TB332 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
EB-PVD法制备微层材料的研究
李晓海
陈贵清
韩杰才
孟松鹤
《宇航材料工艺》
CAS
CSCD
北大核心
2005
4
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