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MEMS痕量爆炸物传感器的探测选择性分析
被引量：
1
1
作者
齐永光
孔德义
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008年第7期9-11,14,共4页
利用MEMS传感器对被测物进行高选择性探测。对几种不同探测原理的MEMS痕量爆炸物传感器进行了分析与比较,指出其在选择性探测方面的不足与缺陷,提出了可提高选择性的解决方法。
关键词
选择性
探测
痕量爆炸物探测
微硅梁
微悬臂梁
微电子机械系统
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职称材料
题名
MEMS痕量爆炸物传感器的探测选择性分析
被引量：
1
1
作者
齐永光
孔德义
机构
中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室安徽省仿生感知与先进机器人技术重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008年第7期9-11,14,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60574093
50534050)
国家"863"计划资助项目(2007AA04Z341)
文摘
利用MEMS传感器对被测物进行高选择性探测。对几种不同探测原理的MEMS痕量爆炸物传感器进行了分析与比较,指出其在选择性探测方面的不足与缺陷,提出了可提高选择性的解决方法。
关键词
选择性
探测
痕量爆炸物探测
微硅梁
微悬臂梁
微电子机械系统
Keywords
detection selectivity
trace explosive detection
micro silicon beam
microcantilever
MEMS
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS痕量爆炸物传感器的探测选择性分析
齐永光
孔德义
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008
1
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