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电阻蒸发铝薄膜结构及其对非晶硅太阳电池性能的影响 被引量:2
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作者 孙建 薛俊明 +4 位作者 侯国付 王锐 张德坤 赵颖 耿新华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期152-156,共5页
本文首先采用电阻蒸发法制备了不同厚度的Al薄膜,并选择了两个典型厚度的Al薄膜制备工艺来制备非晶硅太阳电池的Al背电极,研究了Al背电极厚度对电池性能的影响。结果表明,Al背电极的厚度由800nm减薄到70nm时,电池的Voc平均值由0.826V增... 本文首先采用电阻蒸发法制备了不同厚度的Al薄膜,并选择了两个典型厚度的Al薄膜制备工艺来制备非晶硅太阳电池的Al背电极,研究了Al背电极厚度对电池性能的影响。结果表明,Al背电极的厚度由800nm减薄到70nm时,电池的Voc平均值由0.826V增加到0.829V,电池的Jsc平均值由11.747mA/cm2减小到11.318 mA/cm2,电池的FF平均值由0.701增加到0.728,而电池效率的平均值略有增加,由6.803%增加到6.833%。用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)研究了玻璃衬底上蒸发的Al薄膜和非晶硅电池Al背电极表面形貌和微观结构的变化,分析了电池性能随Al背电极厚度变化的原因。 展开更多
关键词 电阻蒸发 Al背电极 非晶硅太阳电池
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电阻热蒸发与磁控溅射对制备二维银纳米阵列的影响 被引量:1
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作者 李昌伟 张春婧 孔令琦 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2014年第8期67-69,共3页
利用纳米球刻蚀法制备二维银纳米阵列的过程中,不同的物理气相沉积方法得到的银纳米阵列结构形貌不同。其中电阻热蒸发沉积得到完整三角形状的二维银纳米阵列,而磁控溅射沉积得到蜂窝状银纳米阵列。同时在沉积过程中通过改变金属粒子沉... 利用纳米球刻蚀法制备二维银纳米阵列的过程中,不同的物理气相沉积方法得到的银纳米阵列结构形貌不同。其中电阻热蒸发沉积得到完整三角形状的二维银纳米阵列,而磁控溅射沉积得到蜂窝状银纳米阵列。同时在沉积过程中通过改变金属粒子沉积方向也可获得结构不同的银纳米阵列,其中将基片固定,使蒸发源垂直沉积时制备出的二维银纳米阵列更加致密、完整。最后吸收光谱验证了采用电阻热蒸发垂直沉积时得到结构完整且面积较大的银纳米阵列,以上研究为二维银纳米阵列的应用提供了条件。 展开更多
关键词 纳米球刻蚀 电阻蒸发 磁控溅射 沉积方向 吸收光谱
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电子束与电阻复合法制备Cu-Ti金属玻璃薄膜及性能测试 被引量:3
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作者 胡青卓 张进军 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2019年第12期1620-1624,共5页
文章采用电子束与电阻复合热蒸发的方法,在衬底盘无冷却水条件下成功制备了Cu-Ti二元金属玻璃薄膜。通过X射线衍射仪(X-ray diffraction, XRD)、差示扫描量热仪(differential scanning calorimetry, DSC)和场发射透射电子显微镜(field e... 文章采用电子束与电阻复合热蒸发的方法,在衬底盘无冷却水条件下成功制备了Cu-Ti二元金属玻璃薄膜。通过X射线衍射仪(X-ray diffraction, XRD)、差示扫描量热仪(differential scanning calorimetry, DSC)和场发射透射电子显微镜(field emission transmission electron microscope, FE-TEM)表征了该二元合金薄膜的非晶态结构。此外,利用升温XRD方法研究了升温速率对玻璃转变温度和晶化温度的影响作用。另外,在紫外光和可见光辐照下,偏压分别为+0.2 V和-0.2 V时均有光电流响应,结果表明,该方法制备的Cu-Ti金属玻璃薄膜在紫外光和可见光区域具有光电响应特性,且表现出典型的N型光电流特性。 展开更多
关键词 电子束与电阻复合热蒸发 Cu-Ti金属玻璃薄膜 玻璃转变温度 光电流响应
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ITO薄膜的厚度对其光电性能的影响 被引量:15
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作者 李林娜 薛俊明 +3 位作者 赵亚洲 李养贤 耿新华 赵颖 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期147-150,共4页
氧化铟锡(indium-tin oxide,ITO)具有在可见光范围内高度透明的特性和优良的电学特性,通常当作透明电极,被广泛应用于太阳电池和发光元器件上。本研究中用电阻加热反应蒸发的方法制备ITO薄膜,测试了膜的厚度、电阻率、可见光透过率、载... 氧化铟锡(indium-tin oxide,ITO)具有在可见光范围内高度透明的特性和优良的电学特性,通常当作透明电极,被广泛应用于太阳电池和发光元器件上。本研究中用电阻加热反应蒸发的方法制备ITO薄膜,测试了膜的厚度、电阻率、可见光透过率、载流子浓度和迁移率,讨论薄膜的厚度对薄膜光电性能的影响。实验中制备的ITO薄膜,透过率良好,电阻率可达6.37×10^(-4)Ω.cm,载流子浓度和迁移率可分别达到1.91×10^(20)cm^(-3)和66.4cm2v^(-1)s^(-1)。将实验中制备的ITO作为nip太阳能电池透明电极,其短路电流为10.13mA/cm^(2),开路电压为0.79V,填充因子为0.648,效率可达到5.193%。 展开更多
关键词 ITO薄膜 电阻蒸发 载流子浓度 霍尔迁移率
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纳米Mg/PP复合材料的制备及结构研究
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作者 朱连超 彭红瑞 《塑料工业》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期17-19,47,共4页
分别采用高能球磨法和电阻加热蒸发法制备了纳米Mg ,并对其物相及结构进行了表征。再将经活化处理的纳米Mg与PP熔融共混制得复合材料 ,并测试其力学性能。结果表明 :在一定用量范围内 ,蒸发法制备的纳米Mg能大大提高复合材料的韧性 ,由... 分别采用高能球磨法和电阻加热蒸发法制备了纳米Mg ,并对其物相及结构进行了表征。再将经活化处理的纳米Mg与PP熔融共混制得复合材料 ,并测试其力学性能。结果表明 :在一定用量范围内 ,蒸发法制备的纳米Mg能大大提高复合材料的韧性 ,由脆性断裂转变为韧性断裂 ;同时能保持复合材料原有的强度。 展开更多
关键词 纳米镁/聚丙烯复合材料 制备 结构 高能球磨法 电阻加热蒸发
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基于铝浸润层的超薄银透明导电薄膜研究
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作者 李栋 潘永强 +2 位作者 刘欢 郑志奇 周泽林 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2022年第5期980-985,共6页
超薄银薄膜具有高柔韧性和优良的光电性能,是用于透明导电电极的潜在材料。通过电阻热蒸发技术以金属铝作为浸润层制备超薄银透明导电薄膜。引入铝浸润层降低银薄膜的阈值厚度,使银薄膜在K9玻璃基底上以尽可能低的厚度达到连续。对不同... 超薄银薄膜具有高柔韧性和优良的光电性能,是用于透明导电电极的潜在材料。通过电阻热蒸发技术以金属铝作为浸润层制备超薄银透明导电薄膜。引入铝浸润层降低银薄膜的阈值厚度,使银薄膜在K9玻璃基底上以尽可能低的厚度达到连续。对不同厚度铝浸润层上银薄膜方块电阻进行测试,经SEM图像验证后得出,1 nm铝浸润层对银薄膜具有较好的浸润效果。随后采用相同的工艺在1 nm铝浸润层上制备了不同厚度的银薄膜,透过率和方阻测试结果表明,1 nm铝浸润层上制备的10 nm银薄膜方阻值可达到13Ω/,其在0.4μm~2.5μm波段内透过率可达到50%以上。 展开更多
关键词 超薄银薄膜 铝浸润层 电阻蒸发 透明导电薄膜
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真空镀铝中溅射问题的分析及处理
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作者 张忠武 董华娟 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第6期413-413,共1页
真空镀铝膜时,经常会发生铝液溅射现象(又称溅火或打火),使被镀物因铝液的喷溅而出现孔洞,造成废、次品(尤其是塑料薄膜)。所谓溅射现象,即在蒸发源工作时,在产生铝金属蒸汽时。
关键词 溅射现象 真空镀铝膜 铝液 铝金属 基材表面 铝原子 电阻加热蒸发 蒸发装置 送丝机构 包装材料
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