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基于Smith变论域模糊自适应PID蒸发源温度控制
被引量：
28
1
作者
贺自名
牛江川
张静
《控制工程》
CSCD
北大核心
2021年第7期1308-1314,共7页
在电阻加热式真空蒸发镀膜过程中,需要通过对蒸发源的温度进行控制从而实现蒸发速率的控制。针对真空镀膜系统中蒸发源的温度变化具有非线性、时变性和滞后性的特点,提出了一种基于Smith预估的变论域模糊自适应PID的改进控制算法。基于...
在电阻加热式真空蒸发镀膜过程中,需要通过对蒸发源的温度进行控制从而实现蒸发速率的控制。针对真空镀膜系统中蒸发源的温度变化具有非线性、时变性和滞后性的特点,提出了一种基于Smith预估的变论域模糊自适应PID的改进控制算法。基于改进的差分进化算法辨识真空镀膜温控系统的传递函数,结合变论域模糊自适应PID算法和比例控制构成分段控制模型。最后利用MATLAB进行仿真验证,结果表明,相较于Smith预估控制和模糊自适应PID控制算法,改进后的算法具有调节时间短、超调量几乎为零、无稳态误差等特点,对电阻加热式真空镀膜温控系统具有较好的自适应能力。
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关键词
电阻加热式真空镀膜
模型辨识
差分进化算法
变论域模糊自适应PID
分段控制
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职称材料
题名
基于Smith变论域模糊自适应PID蒸发源温度控制
被引量：
28
1
作者
贺自名
牛江川
张静
机构
石家庄铁道大学机械工程学院
石家庄邮电职业技术学院基础教学部
出处
《控制工程》
CSCD
北大核心
2021年第7期1308-1314,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(11872254)。
文摘
在电阻加热式真空蒸发镀膜过程中,需要通过对蒸发源的温度进行控制从而实现蒸发速率的控制。针对真空镀膜系统中蒸发源的温度变化具有非线性、时变性和滞后性的特点,提出了一种基于Smith预估的变论域模糊自适应PID的改进控制算法。基于改进的差分进化算法辨识真空镀膜温控系统的传递函数,结合变论域模糊自适应PID算法和比例控制构成分段控制模型。最后利用MATLAB进行仿真验证,结果表明,相较于Smith预估控制和模糊自适应PID控制算法,改进后的算法具有调节时间短、超调量几乎为零、无稳态误差等特点,对电阻加热式真空镀膜温控系统具有较好的自适应能力。
关键词
电阻加热式真空镀膜
模型辨识
差分进化算法
变论域模糊自适应PID
分段控制
Keywords
Resistance heating vacuum coating
model identification
differential evolution algorithm
variable universe fuzzy adaptive PID
segmented control
分类号
TP13 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于Smith变论域模糊自适应PID蒸发源温度控制
贺自名
牛江川
张静
《控制工程》
CSCD
北大核心
2021
28
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