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软X-射线滤光片支撑镍网的设计及制作工艺研究
1
作者
伍志军
李加东
+1 位作者
张贵彦
缪同群
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2010年第2期195-197,共3页
介绍了软X-射线滤光片支撑栅网的工作原理及其制作工艺,以金属镍为结构材料,采用了微机电系统(MEMS)技术中的电镀工艺及剥离工艺,讨论了制作工艺中的难点,最后成功制作了网面平整、网线匀称、表面光亮、应力小、厚度均匀的镍网,该镍网...
介绍了软X-射线滤光片支撑栅网的工作原理及其制作工艺,以金属镍为结构材料,采用了微机电系统(MEMS)技术中的电镀工艺及剥离工艺,讨论了制作工艺中的难点,最后成功制作了网面平整、网线匀称、表面光亮、应力小、厚度均匀的镍网,该镍网厚14μm,栅线间隔36.3μm,透过率80%。
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关键词
X-射线光学
滤光片
电铸镍网
太阳X-射线成像望远镜
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职称材料
题名
软X-射线滤光片支撑镍网的设计及制作工艺研究
1
作者
伍志军
李加东
张贵彦
缪同群
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院研究生院
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2010年第2期195-197,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(40474069)
文摘
介绍了软X-射线滤光片支撑栅网的工作原理及其制作工艺,以金属镍为结构材料,采用了微机电系统(MEMS)技术中的电镀工艺及剥离工艺,讨论了制作工艺中的难点,最后成功制作了网面平整、网线匀称、表面光亮、应力小、厚度均匀的镍网,该镍网厚14μm,栅线间隔36.3μm,透过率80%。
关键词
X-射线光学
滤光片
电铸镍网
太阳X-射线成像望远镜
Keywords
X-ray optics
filter
eleetroformed nickel mesh
solar X-ray telescope
分类号
O434.12 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
软X-射线滤光片支撑镍网的设计及制作工艺研究
伍志军
李加东
张贵彦
缪同群
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2010
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