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纳米金刚石薄膜紫外探测器研究
被引量：
3
1
作者
王兰喜
陈学康
+4 位作者
王云飞
郭晚土
吴敢
曹生珠
尚凯文
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第S1期16-20,共5页
利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,制备了高表面光洁度(其表面的高度标准偏差约为8.6nm)的纳米金刚石薄膜,在其表面上制作了共平面MSM结构的紫外探测器。电荷-深能级瞬态谱(Q-DLTS)测试表明,纳米金刚石薄膜的带隙中引入了一个能...
利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,制备了高表面光洁度(其表面的高度标准偏差约为8.6nm)的纳米金刚石薄膜,在其表面上制作了共平面MSM结构的紫外探测器。电荷-深能级瞬态谱(Q-DLTS)测试表明,纳米金刚石薄膜的带隙中引入了一个能级,能级激活能E_a=0.134eV,俘获截面σ_s=2.81×10^(-22)cm^2,能级密度N_I～10^(12)cm^(-2)。利用脉冲氙灯作为光源对器件的紫外探测性能进行了测试,器件在10V偏压下的脉冲光电流峰值可达9μA,光电流的响应时间为ms量级。分析得出,纳米金刚石薄膜中存在的这个浅能级,由于其低的激活能和小的俘获截面起到非平衡载流子的陷阱作用,导致紫外探测器具有较慢的响应速度和较高的光电流。
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关键词
纳米金刚石薄膜
紫外探测器
粗糙度
深
能级
电荷-深能级瞬态谱
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职称材料
题名
纳米金刚石薄膜紫外探测器研究
被引量：
3
1
作者
王兰喜
陈学康
王云飞
郭晚土
吴敢
曹生珠
尚凯文
机构
兰州物理研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第S1期16-20,共5页
文摘
利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,制备了高表面光洁度(其表面的高度标准偏差约为8.6nm)的纳米金刚石薄膜,在其表面上制作了共平面MSM结构的紫外探测器。电荷-深能级瞬态谱(Q-DLTS)测试表明,纳米金刚石薄膜的带隙中引入了一个能级,能级激活能E_a=0.134eV,俘获截面σ_s=2.81×10^(-22)cm^2,能级密度N_I～10^(12)cm^(-2)。利用脉冲氙灯作为光源对器件的紫外探测性能进行了测试,器件在10V偏压下的脉冲光电流峰值可达9μA,光电流的响应时间为ms量级。分析得出,纳米金刚石薄膜中存在的这个浅能级,由于其低的激活能和小的俘获截面起到非平衡载流子的陷阱作用,导致紫外探测器具有较慢的响应速度和较高的光电流。
关键词
纳米金刚石薄膜
紫外探测器
粗糙度
深
能级
电荷-深能级瞬态谱
Keywords
Nanociystalline diamond film
Ultraviolet detector
Roughness
Deep level
Q
-
DLTS
分类号
TN36 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
纳米金刚石薄膜紫外探测器研究
王兰喜
陈学康
王云飞
郭晚土
吴敢
曹生珠
尚凯文
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
3
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