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题名基于电荷泵的压电致动器迟滞非线性改善研究
被引量：3
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作者
张连生
张鹏程
郝爽
黄强先
程荣俊
李红莉
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机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
合肥工业大学测试理论与精密仪器安徽省重点实验室
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2023年第11期1646-1651,共6页
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基金
国家重点研发计划(2019YFB2004901)。
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文摘
压电致动器在精密定位、微纳米测量等领域得到了广泛的应用,然而迟滞和非线性现象严重影响了其定位精度和性能。虽然电荷驱动的方法可以降低大部分迟滞,但仍存在较为明显的残余迟滞,尤其是电压工作范围较大时,压电致动器的迟滞呈现增大的趋势。基于残余迟滞的分析和计算,提出了一种用于电荷泵驱动的残余迟滞改进方法,研究了校正参数的推导方法,改善了经典电荷泵驱动的迟滞非线性。通过实验发现,在驱动电压范围为0~100 V、驱动频率为0.1~2 Hz时,相比经典电荷泵驱动的2.79%迟滞,改进后的电荷泵驱动方法可以将迟滞进一步降低至0.47%以下,比经典的电荷泵驱动方法降低了83%左右。所提方法在精密测量等领域具有较好的应用价值。
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关键词
计量学
压电致动器
迟滞效应
非线性
电荷泵驱动
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Keywords
metrology
piezoelectric actuator
hysteresis effect
non-linear
charge pump drive
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分类号
TP92
[自动化与计算机技术]
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