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WO_3薄膜的显色性和敏感性研究 被引量:5
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作者 陈祥君 邵丙铣 +1 位作者 郑庆平 宗祥福 《功能材料》 EI CAS CSCD 1993年第4期314-318,共5页
本文利用反应离子束溅射技术制备WO_3薄膜,在衬底温度为室温时,溅射制备的薄膜经电子束(?)时,说明它是无定形的。在电化学过程中,氢离子注入WO_3薄膜,使薄膜显示出蓝色,薄膜的电阻率随之降低.这种显色性和敏感性使WO_3薄膜在显示器件和p... 本文利用反应离子束溅射技术制备WO_3薄膜,在衬底温度为室温时,溅射制备的薄膜经电子束(?)时,说明它是无定形的。在电化学过程中,氢离子注入WO_3薄膜,使薄膜显示出蓝色,薄膜的电阻率随之降低.这种显色性和敏感性使WO_3薄膜在显示器件和pH值敏感器件中得到应用。 展开更多
关键词 三氧化钨薄膜 电致显示性 显示器件
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