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基于电致伸缩微位移器的精密微动平台的实验研究及应用被引量：1: 1; 作者刘国华李亮玉《天津工业大学学报》 CAS 2005年第1期56-58,共3页; 针对电致伸缩微位移器动态响应速度慢的问题进行了研究,提出用数字PID方法加以解决,并研制出一套实用控制系统.其中,研制出一种微机控制的精密高压调节器,与单片机数字系统相配合,形成一个数字模拟电路结合的控制系统,用以实现电致伸... 展开更多; 关键词电致伸缩微位移器微动平台 PID算法进给机构动态特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

闭环控制的微动工作台设计被引量：3: 2; 作者张腊梅黄其圣余晓芬《工具技术》北大核心 2004年第4期56-58,共3页; 介绍了一种以弹性导轨为支承的平面三自由度微动工作台的原理、结构、设计计算方法及闭环控制的基本原理。采用电致伸缩微位移器驱动弹性导轨 ,电涡流传感器测量工作台的微位移 ,能可靠地保证微动工作台的运动精度 ,并使其结构简单、紧凑。; 关键词弹性导轨闭环控制微动工作台设计电致伸缩微位移器电涡流传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

大行程高精度两级定位工作台的控制方法研究被引量：14: 3; 作者王立松苏宝库 +1 位作者董申张晶《机械设计与制造》 2001年第4期71-72,共2页; 研究了具有宏微两级驱动双定位工作台的控制技术，该工作台采用直线电机进行大位移驱动，来保证较大的工作行程和较快的响应速度，而采用电致伸缩微位移器完成精密位置驱动，利用单频激光干涉仪实现闭环位置反馈。将该系统应用于实际中... 展开更多; 关键词直线电机电致伸缩微位移器单频激光干涉仪超精密定位; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于电致伸缩微位移器的精密微动平台的实验研究及应用	刘国华李亮玉	《天津工业大学学报》 CAS	2005	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	闭环控制的微动工作台设计	张腊梅黄其圣余晓芬	《工具技术》北大核心	2004	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	大行程高精度两级定位工作台的控制方法研究	王立松苏宝库董申张晶	《机械设计与制造》	2001	14	在线阅读下载PDF 职称材料