-
题名一种硅基MEMS电离式气体传感器
- 1
-
-
作者
董续盛
王孜
王艳芳
朱文欢
刘海
刘越
侯中宇
-
机构
上海交通大学电子信息与电气工程学院
-
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2018年第12期1-4,13,共5页
-
基金
国家自然科学基金项目(60906053
61204069
+4 种基金
61274118
61306144
61504079
11605112)
中国博士后面上基金项目(2016M601595)
-
文摘
在室内环境控制领域,对作为信号转换反馈节点的气体传感器提出了2大挑战:一是气体浓度变化范围大;二是许多具有相似化学性质的不同气体混合物难于快速辨识。为解决上述难题,文中提出了一种兼容微电子机械系统(micro-electromechanical systems,MEMS)制造工艺的、带有微纳米功能结构硅材料的电离式气体传感器,并且在含有乙醇和丙酮等挥发性有机化合物(volatile organic compounds,VOC)的环境下进行了传感器响应特性测试。实验结果表明,该传感器在接近饱和蒸气压的极端环境下依然表现出快速恢复的能力。
-
关键词
电离式气体传感器
MEMS
气体放电
纳米结构
-
Keywords
ionization gas sensor
MEMS
gas discharge
nanostructure
-
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
-
题名一种新型的电离式MEMS气体传感器
被引量：1
- 2
-
-
作者
詹昌华
潘元志
赵小林
侯中宇
-
机构
上海交通大学微纳科学技术研究院
上海电气集团股份有限公司中央研究院
-
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期467-470,共4页
-
基金
国家自然科学基金项目(61274118/F040703,60906053/F040703)
-
文摘
实现了一种新型的电离式MEMS气体传感器,即线性阻抗电离式MEMS气体传感器。该传感器创新地采用了电导率而不是常用的击穿电压来检测不同的气体成分,这样可以避免高电压对器件的影响,提高器件工作状态的可重复性和稳定性。该器件在低压条件下不同气体组分中进行气体放电实验,测出了不同的伏安特性曲线和电导率值,从而证实了该器件的气体传感特性。
-
关键词
微机电系统
一维纳电极阵
电离式气体传感器
气体电导率
-
Keywords
MEMS
one-dimensional nano electrode array
ionization gas sensor
gas conductivity
-
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
