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Waveguide-surfatron型表面波等离子体源的特性研究
被引量：
3
1
作者
詹如娟
吴丛凤
+2 位作者
温小辉
朱晓东
周海洋
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2001年第1期30-33,共4页
报道了所研制的Waveguide surfatron型表面波等离子体源的特性 ,理论计算表明 ,激发表面波模式为m≥l模 ,在放电室中电磁场均匀性与等离子体的密度有关。实验结果指出 ,采用Ar气放电 ,在气压为 10～ 10 0 0Pa ,微波功率 80 0～ 10 0 0W...
报道了所研制的Waveguide surfatron型表面波等离子体源的特性 ,理论计算表明 ,激发表面波模式为m≥l模 ,在放电室中电磁场均匀性与等离子体的密度有关。实验结果指出 ,采用Ar气放电 ,在气压为 10～ 10 0 0Pa ,微波功率 80 0～ 10 0 0W的范围内可形成大面 (体 )积 (直径为 16 0mm)等离子体 ,其电子温度为 1～ 4eV ,等离子体密度为 10 10 ～ 10 11cm-3 量级 ,实测的等离子体密度与理论计算值基本吻合。
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关键词
波导型表面波
等离子体源
表面波模
电磁场均匀性
等离子体密度
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职称材料
题名
Waveguide-surfatron型表面波等离子体源的特性研究
被引量：
3
1
作者
詹如娟
吴丛凤
温小辉
朱晓东
周海洋
机构
中国科学技术大学结构分析开放实验室
中国科学技术大学近代物理系
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2001年第1期30-33,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(69493500,19835030,19875053)
文摘
报道了所研制的Waveguide surfatron型表面波等离子体源的特性 ,理论计算表明 ,激发表面波模式为m≥l模 ,在放电室中电磁场均匀性与等离子体的密度有关。实验结果指出 ,采用Ar气放电 ,在气压为 10～ 10 0 0Pa ,微波功率 80 0～ 10 0 0W的范围内可形成大面 (体 )积 (直径为 16 0mm)等离子体 ,其电子温度为 1～ 4eV ,等离子体密度为 10 10 ～ 10 11cm-3 量级 ,实测的等离子体密度与理论计算值基本吻合。
关键词
波导型表面波
等离子体源
表面波模
电磁场均匀性
等离子体密度
Keywords
Waveguide-surfatron
Large diameter uniform
Plasma source
Surface wave mode
分类号
O531 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Waveguide-surfatron型表面波等离子体源的特性研究
詹如娟
吴丛凤
温小辉
朱晓东
周海洋
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2001
3
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