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基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究(英文) 被引量：2: 1; 作者陈健陈德勇王军波《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期516-518,共3页; 为了提高电热激励/压阻拾振谐振式微加速度传感器的品质因数和消除交叉灵敏度,提出一种基于三梁结构的新设计.依据有限元模拟得到的固有振型来选择三梁结构参数,以减少能量耗散,提高品质因数.分析本设计消除交叉灵敏度的机制和独特的三... 展开更多; 关键词微机械电子系统电热驱动谐振式微加速度传感器三梁结构交叉灵敏度有限元模拟; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用(英文) 被引量：1: 2; 作者陈健陈德勇王军波《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第2期274-278,共5页; 为了提高谐振式微加速度传感器的灵敏度,提出一种新颖的微杠杆结构。分析该结构的工作原理,推导该结构的理论模型,得到这种微杆杠放大倍数的解析表达式.在这个理论模型的基础上,为了进一步提高微杆杠的放大倍数,对其参数进行优化,分析... 展开更多; 关键词微机械电子系统微杠杆结构谐振式微加速度传感器有限元模拟; 在线阅读下载PDF 职称材料

谐振式微加速度传感器的有限元分析(英文): 3; 作者陈健陈德勇《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期96-100,共5页; 有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器,仔细分析新结构的几个主要振动模态,优化结构参数,证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn.而且在有限元分析的基础上对实际制造的非完全匹配的双端固定音叉的特点... 展开更多; 关键词微机械电子系统谐振式微加速度传感器有限元模拟非完全匹配的双端固定音叉; 在线阅读下载PDF 职称材料

平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造被引量：5: 4; 作者俞锋李昕欣于海涛《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第7期869-875,共7页; 给出了一种新型的基于平面内谐振模态的电热驱动微悬臂梁的工作原理和制造方案。相比于传统的平面外谐振模态谐振式悬臂梁,该设计能有效地降低微悬臂梁在液体中工作时的拖曳力,从而降低其振动能量损失,使得其接入锁相环接口电路后的闭... 展开更多; 关键词悬臂梁传感器平面内谐振模态品质因数电热驱动液体中谐振; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究(英文) 被引量：2: 1; 作者陈健陈德勇王军波; 机构中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期516-518,共3页; 文摘为了提高电热激励/压阻拾振谐振式微加速度传感器的品质因数和消除交叉灵敏度,提出一种基于三梁结构的新设计.依据有限元模拟得到的固有振型来选择三梁结构参数,以减少能量耗散,提高品质因数.分析本设计消除交叉灵敏度的机制和独特的三梁结构的激振方式并对其进行有限元模拟.模拟结果证实这种谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1000Hz/g.; 关键词微机械电子系统电热驱动谐振式微加速度传感器三梁结构交叉灵敏度有限元模拟; Keywords MEMS thermally driven resonant microaccelerometer triple-beam structure cross-sensitivity; 分类号 TN30 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用(英文) 被引量：1: 2; 作者陈健陈德勇王军波; 机构中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第2期274-278,共5页; 文摘为了提高谐振式微加速度传感器的灵敏度,提出一种新颖的微杠杆结构。分析该结构的工作原理,推导该结构的理论模型,得到这种微杆杠放大倍数的解析表达式.在这个理论模型的基础上,为了进一步提高微杆杠的放大倍数,对其参数进行优化,分析微杆杠结构中各参数对于放大倍数的影响,优化后该结构的放大倍数高达200.基于这种微杠杆结构设计两种分别为静电驱动/电容检测和电热驱动/压阻拾振的谐振式微加速度传感器,分别介绍这两种传感器的工作原理及其特点,并对这两种结构进行有限元模拟.模拟结果证实这两种微加速度传感器的灵敏度均高于1000Hz/gn,进而验证这种新提出的微杠杆结构的有效性.; 关键词微机械电子系统微杠杆结构谐振式微加速度传感器有限元模拟; Keywords MEMS microleverage structure resonant microaccelerometer FEA simulation; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名谐振式微加速度传感器的有限元分析(英文): 3; 作者陈健陈德勇; 机构中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期96-100,共5页; 文摘有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器,仔细分析新结构的几个主要振动模态,优化结构参数,证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn.而且在有限元分析的基础上对实际制造的非完全匹配的双端固定音叉的特点和对于测量的不良影响进行分析.; 关键词微机械电子系统谐振式微加速度传感器有限元模拟非完全匹配的双端固定音叉; Keywords MEMS resonant microaccelerometer FEA simulation, not perfectly matched DETF; 分类号 TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造被引量：5: 4; 作者俞锋李昕欣于海涛; 机构中国科学院上海微系统与信息技术研究所中国科学院研究生院; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第7期869-875,共7页; 基金上海市科委科技攻关项目(11511500900); 文摘给出了一种新型的基于平面内谐振模态的电热驱动微悬臂梁的工作原理和制造方案。相比于传统的平面外谐振模态谐振式悬臂梁,该设计能有效地降低微悬臂梁在液体中工作时的拖曳力,从而降低其振动能量损失,使得其接入锁相环接口电路后的闭环品质因数达到了249。电热驱动和压阻检测方式便于工艺集成和快速检测。本文给出了基于SOI硅片和深反应离子刻蚀(DRIE)的悬臂梁制作方案,并分别在空气和水中对悬臂梁的谐振特性进行了测试。; 关键词悬臂梁传感器平面内谐振模态品质因数电热驱动液体中谐振; Keywords microcantilever sensors in-plane resonance mode quality factor electrothermal excitation resonance in liquids; 分类号 TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究(英文)	陈健陈德勇王军波	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2007	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用(英文)	陈健陈德勇王军波	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2007	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	谐振式微加速度传感器的有限元分析(英文)	陈健陈德勇	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2007	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造	俞锋李昕欣于海涛	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2012	5	在线阅读下载PDF 职称材料