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题名新型整平剂对电镀铜填通孔的影响及机制探究
被引量：1
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作者
许昕莹
肖树城
张路路
丁胜涛
肖宁
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机构
北京化工大学化学工程学院
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出处
《电镀与精饰》
CAS
北大核心
2024年第5期92-100,共9页
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基金
国家自然科学基金青年基金(21902010)。
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文摘
针对目前国内电子电镀专用化学品瓶颈问题,合成了一种由含氮杂环与含氧碳链组成的新型整平剂分子SC-21。通过哈林槽实验、循环伏安法(CV)、计时电位法(CP&CPCR)和电化学交流阻抗谱(EIS)对比,研究了常见整平剂健那绿(JGB)、聚乙烯亚胺烷基盐(PN)与新型整平剂SC-21在电镀铜填充通孔过程中的作用差异。结果表明:以一定浓度SC-21为整平剂时可出现“蝴蝶填充”现象,进而实现对深径比2∶1通孔的无空洞填充;与JGB和PN相比,此浓度下的SC-21在较宽的电流密度范围内具有动态吸附行为,可产生“负微分电阻效应”,使得通孔内呈现与“蝴蝶填充”形状相匹配的沉铜速率梯度,最终实现对通孔的无空洞填充。
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关键词
通孔填充
整平剂
蝴蝶技术
变电流计时电位法
负微分电阻效应
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Keywords
through hole filling
leveler
butterfly technology
chronopotentiometry with current ramp
negative differential resistance effect
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分类号
TQ153.1
[化学工程—电化学工业]
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题名一种新型微量钾离子传感器的研究
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作者
郎璐婷
左月明
荆小院
杨威
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机构
山西农业大学工学院
山西农业大学生命科学院
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出处
《山西农业大学学报（自然科学版）》
CAS
2016年第11期832-836,共5页
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基金
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20121403110002)
山西省回国留学人员资助项目(2013-061)
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文摘
[目的]钾的精确测定是临床诊断和营养分析的关键,为了解决钾离子的定量检测问题,[方法]本文采用巯基乙胺修饰丝网印刷金电极表面并绑定4-氨基二苯并-18-冠-6的方法,研制出一种电流型传感器。在电压范围为-0.3~0.6V,阶跃次数为1以及脉冲宽度为200s时进行电流计时测定。[结果]结果表明,180s后传感器电流稳定,而且该电流与1×10^(-5)~1×10^(-4) mol·L^(-1)范围内的钾离子浓度呈良好的线性关系,显著性检验概率p值小于0.000 1,决定系数为0.998 1。[结论]通过电化学循环伏安法对传感器电极制作过程的表征研究表明,该方法不但可显著改善电极的可逆性及导电性,有利于提高传感器的灵敏度,而且有利于微型钾离子传感器的制作。
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关键词
钾离子
丝网印刷金电极
4-氨基二苯并-18-冠-6
电流计时法
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Keywords
Potassium Ion
Screen-printed electrode
4-amino diphenyl-18-crown-6
Chronoamperomety
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分类号
S223.23
[农业科学—农业机械化工程]
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