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一种灵敏度提高的垂直型霍尔器件及仿真模型
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作者 王双喜 李建强 +3 位作者 李良 周林 李杰林 徐跃 《固体电子学研究与进展》 2025年第2期92-96,共5页
基于180 nm BCD工艺实现了一种灵敏度提高的五孔垂直型霍尔器件(Five-contact vertical Hall-effect device,FCVHD)。采用掺杂浓度较低且阱深较深的N型漂移区(N-type drift region,NDRF)作为器件有源区,并在器件表面的N~+接触孔之间进行... 基于180 nm BCD工艺实现了一种灵敏度提高的五孔垂直型霍尔器件(Five-contact vertical Hall-effect device,FCVHD)。采用掺杂浓度较低且阱深较深的N型漂移区(N-type drift region,NDRF)作为器件有源区,并在器件表面的N~+接触孔之间进行P~+扩散区隔离,有效减小了短路效应,提高了器件的电流相关灵敏度(S_(IV))。同时,在器件有源区四周设计了双PN结保护环,更有效抑制了器件衬底的噪声和干扰。此外,对该器件建立了一种简化的Verilog-A电路仿真模型,该模型仅由非线性电阻、电容和流控电压源组成,考虑了器件的非理想效应,具有高的仿真精度。测试结果表明,该垂直型霍尔器件的S_(IV)达到了24 V/(A·T),比标准CMOS N阱器件的灵敏度提高了2.86倍,同时模型仿真与实测结果达到很好的一致性,相对误差<3.7%,验证了仿真模型的实用性。 展开更多
关键词 五孔垂直型霍尔器件(FCVHD) N型漂移区(NDRF) 仿真模型 电流相关灵敏度
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关于灵敏电流计灵敏度和线圈运动时间常数的定性与半定量分析 被引量:5
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作者 牟俊侠 陈鹰南 曾仲宁 《大学物理实验》 1999年第3期51-54,共4页
本文分析了灵敏电流计实验中经常遇到的几个问题。
关键词 电流灵敏度 测量线路灵敏度 时间常数
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基于LabVIEW的四象限探测器光电参数测量系统 被引量:9
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作者 邢冀川 田超 《红外技术》 CSCD 北大核心 2004年第2期33-36,共4页
对于四象限光电探测器来说 ,其脉冲电流灵敏度和灵敏度的均匀性是两个重要的参数 ,我们重点研究如何使用LabVIEW编写四象限探测器光电参数测量系统软件。使用LabVIEW开发的光电参数测量系统 ,能利用步进电机进行激光光源对探测器的扫描 ... 对于四象限光电探测器来说 ,其脉冲电流灵敏度和灵敏度的均匀性是两个重要的参数 ,我们重点研究如何使用LabVIEW编写四象限探测器光电参数测量系统软件。使用LabVIEW开发的光电参数测量系统 ,能利用步进电机进行激光光源对探测器的扫描 ,同时控制示波器测量探测器的信号电压 ,并使用GPIB指令把测量数据通过TCP/IP协议传回计算机 ,最后由计算机分析和处理检测数据并显示、保存和打印最终结果。实验结果证明 ,这种方法实用、方便 ,测量精度高。 展开更多
关键词 LABVIEW 四象限探测器 光电参数 测量系统 脉冲电流灵敏度 噪声电流 软件
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万用表欧姆档量程选择及误差分析 被引量:1
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作者 王翠珍 唐金元 《实用测试技术》 2002年第2期31-32,共2页
本文通过对用万用表欧姆档测量电阻的误差分析 。
关键词 万用表 误差分析 电阻测量 量程 电流灵敏度
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基于GLOBALFOUNDRIES 0.18μm BCDlite^(TM)工艺的微型CMOS五电极垂直型霍尔器件的研究 被引量:1
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作者 汤伟 吕飞 +2 位作者 张胜 潘红兵 王敦辉 《电子器件》 CAS 北大核心 2018年第5期1087-1092,1096,共7页
为了解决五电极垂直型霍尔器件(5CVHD)电流灵敏度较低以及器件流片迭代周期较长、成本较高的问题,基于GLOBALFOUNDRIES 0.18μm BCDliteTM工艺在有限元分析软件COMSOL中进行器件结构设计和仿真,研究器件结构和工艺参数对5CVHD性能的影响... 为了解决五电极垂直型霍尔器件(5CVHD)电流灵敏度较低以及器件流片迭代周期较长、成本较高的问题,基于GLOBALFOUNDRIES 0.18μm BCDliteTM工艺在有限元分析软件COMSOL中进行器件结构设计和仿真,研究器件结构和工艺参数对5CVHD性能的影响,并且选取代表性参数进行流片与测试。通过仿真和流片实测发现,减小电极长度(w)和探测电极与中间偏置电极距离(d2),增加器件长度(l)以及添加一层P型覆盖层有助于提高5CVHD的性能,当有源区深度为7μm时,2.5μm厚度的P型覆盖层能够改善5CVHD的性能。 展开更多
关键词 霍尔传感器 5CVHD COMSOL 电流灵敏度 器件结构 工艺参数
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