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混合微电子技术在氧化锆基氧传感器上的应用
被引量：
1
1
作者
俞守耕
《贵金属》
CAS
CSCD
2004年第3期62-66,共5页
用厚膜、薄膜和叠片工艺制作的氧传感器,降低了总阻抗,从而降低了工作温度和缩短了响应时间。通过测量电离或催化反应得到的氧,极限电流型气体传感器的测量范延伸到H2O、CO2、H2、CO和HCs。采用离子-电子混合导体膜作为扩散控制层改善...
用厚膜、薄膜和叠片工艺制作的氧传感器,降低了总阻抗,从而降低了工作温度和缩短了响应时间。通过测量电离或催化反应得到的氧,极限电流型气体传感器的测量范延伸到H2O、CO2、H2、CO和HCs。采用离子-电子混合导体膜作为扩散控制层改善了电流测量型传感器的性能。与掺杂Y2O3稳定的ZrO2相比,采用掺杂In2O3、Y2O3稳定的ZrO2可抑制老化时电导率的降低。用高能球磨技术可以制备3价阳离子稳定的氧化锆。
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关键词
氧化锆
氧
传感器
电位
测量
型
传感器
电流测量型传感器
电阻
型
传感器
气体
传感器
混合微电子技术
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职称材料
题名
混合微电子技术在氧化锆基氧传感器上的应用
被引量：
1
1
作者
俞守耕
机构
昆明贵金属研究所
出处
《贵金属》
CAS
CSCD
2004年第3期62-66,共5页
文摘
用厚膜、薄膜和叠片工艺制作的氧传感器,降低了总阻抗,从而降低了工作温度和缩短了响应时间。通过测量电离或催化反应得到的氧,极限电流型气体传感器的测量范延伸到H2O、CO2、H2、CO和HCs。采用离子-电子混合导体膜作为扩散控制层改善了电流测量型传感器的性能。与掺杂Y2O3稳定的ZrO2相比,采用掺杂In2O3、Y2O3稳定的ZrO2可抑制老化时电导率的降低。用高能球磨技术可以制备3价阳离子稳定的氧化锆。
关键词
氧化锆
氧
传感器
电位
测量
型
传感器
电流测量型传感器
电阻
型
传感器
气体
传感器
混合微电子技术
Keywords
Sensor technology
Potentiometric sensor
Amperometric sensor
Resistive-type sensor
Thick-film
Thin-film
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
混合微电子技术在氧化锆基氧传感器上的应用
俞守耕
《贵金属》
CAS
CSCD
2004
1
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