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从n型硅到RTN超薄SiO_2膜的电流传输特性
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作者 冯文修 张恒 +1 位作者 陈蒲生 田浦延 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期51-54,共4页
用卤素钨灯作辐射热源 ,对超薄 (1 0nm )SiO2 膜进行快速热氮化 (RTN) ,制备了SiOxNy 超薄栅介质膜 ,并制作了Al/n Si/SiOxNy/Al结构电容样品 .研究了不同样品中n型Si到快速热氮化超薄SiO2 膜的电流传输特性及其随氮化时间的变化 .结果... 用卤素钨灯作辐射热源 ,对超薄 (1 0nm )SiO2 膜进行快速热氮化 (RTN) ,制备了SiOxNy 超薄栅介质膜 ,并制作了Al/n Si/SiOxNy/Al结构电容样品 .研究了不同样品中n型Si到快速热氮化超薄SiO2 膜的电流传输特性及其随氮化时间的变化 .结果表明 :低场时的漏电流很小 ;进入隧穿电场时 ,I E曲线遵循Fowler Nordheim (F N)规律 ;在更高的电场时 ,主要出现两种情形 ,其一是I E曲线一直遵循F N规律直至介质膜发生击穿 ,其二是I E曲线下移 ,偏离F N关系 ,直至介质膜发生击穿 .研究表明 ,I E曲线随氮化时间增加而上移 . 展开更多
关键词 快速热氮化 超薄SiO2膜 电流传输特性
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用MgCl_2、NaCl、KCl和MgB_2O_4熔融混合物电解法合成MgB_2块材的电流传输特性
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《稀有金属快报》 CSCD 2003年第2期4-4,共1页
关键词 MgB2块材 合成 电流传输特性 熔融混合物电解法 超导体
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(Pb0.5Cd0.5)(La2—xSrx)CuO5—δ的磁特性和电传输特性
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作者 汪京荣 《稀有金属快报》 CSCD 1997年第12期14-15,共2页
关键词 高温超导材料 特性 电流传输特性
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电子从〈100〉和〈111〉晶向硅隧穿超薄快速热氮化SiO_2 膜(英文)
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作者 冯文修 田浦延 +1 位作者 陈蒲生 刘剑 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期13-17,共5页
用卤素 -钨灯作辐射热源快速热氮化 (RTN) ,在〈10 0〉和〈111〉晶向Si衬底上制备了Si_SiOxNy_Al电容 ,并测量了由低场到F_N隧穿电场范围的电子从N型Si积累层到超薄SiOxNy 膜的电流传输特性 .测量结果说明 ,两种不同晶向的低场漏电流没... 用卤素 -钨灯作辐射热源快速热氮化 (RTN) ,在〈10 0〉和〈111〉晶向Si衬底上制备了Si_SiOxNy_Al电容 ,并测量了由低场到F_N隧穿电场范围的电子从N型Si积累层到超薄SiOxNy 膜的电流传输特性 .测量结果说明 ,两种不同晶向的低场漏电流没有多大区别 ,而在高场范围对〈10 0〉晶向电容结构的F_N隧穿电流要比〈111〉晶向电容结构的F_N隧穿电流显著增加 。 展开更多
关键词 电子隧穿 快速热氮化 晶向硅 超薄二氧化硅膜 遂穿电流 电流传输特性
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对数IV转换器在局部探测显微镜中的应用 被引量:1
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作者 李继红 李自田 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期285-288,共4页
这里我们构建了一个准对数电流电压转换器,它测量的带宽范围超过 2 kHz;并且允许的输入电流范围 是 10 pA到 10 mA.此转换器用半导体二极管作为反馈支路的非线性元件,是建立在虚地设计模式基础上的. 为了扩展此转换器... 这里我们构建了一个准对数电流电压转换器,它测量的带宽范围超过 2 kHz;并且允许的输入电流范围 是 10 pA到 10 mA.此转换器用半导体二极管作为反馈支路的非线性元件,是建立在虚地设计模式基础上的. 为了扩展此转换器的频带,加了额外的补偿回路.并且用多对二极管扩大了输入级的动态范围.这对于在扫描隧道 显微镜的局部相互作用中的应用是非常合适的. 展开更多
关键词 扫描隧道显微镜 电流-电压传输特性 超低漏二极管 局部探测
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