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题名缩短微机械圆盘谐振器缝隙的电极移动法
被引量：1
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作者
邓成
鲍景富
杜亦佳
赵兴海
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机构
电子科技大学电子工程学院
中国工程物理研究院电子工程研究所
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出处
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2012年第2期493-498,共6页
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基金
国家部委基金(9140A23070311DZ0210)
中国工程物理研究院科学技术发展基金(2008A0403016)
国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金(11176006)资助课题
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文摘
针对现有微机械（Micromechanical,也称MEMS）圆盘谐振器串联动态电阻过大的问题,该文提出了电极移动法,将其它MEMS器件的可调性能引入MEMS圆盘谐振器,在现有最窄缝隙工艺条件下实现了电极-圆盘缝隙的进一步缩减,降低了串联动态电阻。该文给出了悬置电极的设计方法,推导了电极移动后有效缝隙宽度的表达式,提出了可防电极接触短路的微小圆孔状凹陷设计,并给出了加入凹陷后的有效缝隙宽度表达式。通过ANSYS仿真结果可知,分别加载2.10 V和66.38 V偏置电压后,0.1μm和1μm电极-圆盘缝隙缩小为0.0016μm和0.01μm。对于0.1~1.1μm缝隙谐振器,串联动态电阻变为原来的10 8倍以下。
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关键词
微机电系统
微机械圆盘谐振器
电极-圆盘缝隙
串联动态阻抗
电极移动
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Keywords
Microelectromechanical systems
Micromechanical disk resonator
Electrode-disk gap
Series motional resistance
Movement of electrode
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分类号
TN703
[电子电信—电路与系统]
TN305
[电子电信—物理电子学]
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