电感耦合RF放电等离子体的电流特性

1

作者 奚定平 余陨金 陈静秋 《深圳大学学报（理工版）》 EI CAS 2002年第3期1-7,共7页

从等离子体波动方程和动力学方程出发,利用解析方法,讨论电感耦合RF放电等离子体的电流特性和衰减机制.发现只有当等离子体波的波速低到与等离子体内能量较高一部分电子轴向运动速度相当时,等离子体和波相互作用才能在衰减机制中居主导... 从等离子体波动方程和动力学方程出发,利用解析方法,讨论电感耦合RF放电等离子体的电流特性和衰减机制.发现只有当等离子体波的波速低到与等离子体内能量较高一部分电子轴向运动速度相当时,等离子体和波相互作用才能在衰减机制中居主导地位. 展开更多

关键词 电感耦合rf放电等离子体 电流特性 电子速度分布函数 玻尔兹曼方程

在线阅读 下载PDF 职称材料

电感耦合高频放电等离子体特性测试 被引量：1

2

作者 杨孝龙 黄运添 《西北大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 1998年第4期289-294,共6页

利用Ｌａｎｇｍｕｉｒ双探针测试方法对高频放电等离子体的参数（ｎｐ，Ｔｅ）进行了详尽测试，得出了等离子体参数随放电空间位置、气体种类、放电功率、气体压强、磁约束等条件变化的规律，并对测试结果做了理论分析。

关键词 高频放电 等离子体 电子温度 电感耦合 诊断技术

在线阅读 下载PDF 职称材料

放电参数变化对电感耦合等离子闭式等离子体空间分布特性研究 被引量：5

3

作者 林茂 徐浩军 +2 位作者 魏小龙 韩欣珉 武颂尧 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2022年第5期1294-1304,共11页

射频电感耦合等离子体(ICP)在实际放电过程中,线圈的构型、电源参数、气压等外部工质条件的变化均会对结果产生较大影响,依靠实验很难得到多外部条件对ICP参数分布的影响机理和规律,因此需要结合仿真和实验的方法进行分析。该文通过建... 射频电感耦合等离子体(ICP)在实际放电过程中,线圈的构型、电源参数、气压等外部工质条件的变化均会对结果产生较大影响,依靠实验很难得到多外部条件对ICP参数分布的影响机理和规律,因此需要结合仿真和实验的方法进行分析。该文通过建立感性线圈的电磁学有限元模型,分析不同线圈构型下射频电磁场在等离子体内部的空间分布,研究放电参数(线圈构型、功率大小)对等离子体分布影响和E-H模型下放电形态的跳变过程,并观察进入稳定H模式后电源参数的变化规律,为等离子体源的小型化工程应用提供理论基础。实验和仿真计算结果表明:不同线圈匝数在不同功率条件下,电磁场强度变化对等离子功率吸收和功率耦合有较大影响;当工作气压在0~20Pa时,ICP的电子密度呈轴对称分布,随着放电功率、气压的增大,等离子体吸收的功率和电离度也随之增加,其电子密度相应地增大,放电功率的增加会使得环状的等离子体区域随之扩大,在轴向、径向上的分布呈先逐渐增大而后在靠近腔室壁面区域迅速下降。 展开更多

关键词 电感耦合等离子体 射频功率 放电线圈 参数空间分布

在线阅读 下载PDF 职称材料

小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究 被引量：2

4

作者 廖斌 周蓓 +1 位作者 曹焕丽 朱守正 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1860-1864,共5页

本文提出一种基于平面螺旋微带的2.45GHz小功率电感耦合微波等离子体源,根据等效变压器耦合模型分析等离子体源的谐振特性,通过微波等离子体吸收功率与等离子体阻抗之间的关系,研究不同气压条件下的放电规律.研究表明,在低气压条件下,... 本文提出一种基于平面螺旋微带的2.45GHz小功率电感耦合微波等离子体源,根据等效变压器耦合模型分析等离子体源的谐振特性,通过微波等离子体吸收功率与等离子体阻抗之间的关系,研究不同气压条件下的放电规律.研究表明,在低气压条件下,输入功率不超过220mW时,空气开始放电;而在常压条件下,输入功率不超过1.5W时,氩气开始放电;随着微波等离子体的激励,小功率微波等离子体源的谐振频率和S参数都发生变化.这为电感耦合微波等离子体源的小型化研究提供了理论基础. 展开更多

关键词 平面螺旋微带 小功率电感耦合微波等离子体源 谐振特性 气体放电 S参数

在线阅读 下载PDF 职称材料

iCAP 6300电感耦合等离子体发射光谱仪的常规维护方法 被引量：5

5

作者 赵庆令 李清彩 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2014年第5期767-772,共6页

电感耦合等离子体发射光谱仪在使用过程中,由于控制气体流量的电磁阀出现机械性移位,致使工作气流量过于偏大或偏小,对进样系统及分析数据产生不利影响;长期频繁使用条件下,由于控制光学系统的机械定位装置的磨损,致使谱峰坐标偏离而影... 电感耦合等离子体发射光谱仪在使用过程中,由于控制气体流量的电磁阀出现机械性移位,致使工作气流量过于偏大或偏小,对进样系统及分析数据产生不利影响;长期频繁使用条件下,由于控制光学系统的机械定位装置的磨损,致使谱峰坐标偏离而影响仪器灵敏度;很长时间不能"引燃"等离子体,检查进样系统和氩气纯度并没有发现异常,需要验证RF发生器有无功率输出时有一定的困难;在等离子体工作时产生的高温尾气的长期作用下,难免造成点火头末端铜丝的锈蚀,致使点火头放电微弱,不能"引燃"等离子体。因此,为保证仪器的正常运行,提高工作效率,确保检测数据的准确度,实验室应建立健全电感耦合等离子体发射光谱仪维护保养方案,解决上述问题。本文结合实际工作经验,以iCAP 6300电感耦合等离子体发射光谱仪为例,提出可以借助"Manufacturing and Service.exe"程序校正工作气流量,验证RF发生器是否输出功率;利用C 193.091 nm谱线为基准校正谱线修正CID检测器的谱峰坐标系统;另外,对点火头、分析软件数据库及主机灰尘的清理也进行了详细的维护说明,这些措施有益于保障仪器的性能及提高设备的利用率。 展开更多

关键词 电感耦合等离子体发射光谱仪 维护保养 电磁阀 点火头 电荷注入检测器 rf发生器

在线阅读 下载PDF 职称材料

平面线圈电磁耦合的沿面DBD气体放电加速诱导气流的实验研究 被引量：2

6

作者 刘汝兵 孙伟 +3 位作者 黄印阳 王萌萌 牛中国 林麒 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期2101-2106,共6页

为了提高典型沿面DBD平板激励器诱导气流速度,通过实验研究了典型DBD平板激励器表面的磁场分布,提出了在DBD平板激励器的上、下电极之间夹进平面线圈,运用电磁耦合原理增强等离子体激励器放电效果,从而加速DBD等离子体诱导气流的方法。... 为了提高典型沿面DBD平板激励器诱导气流速度,通过实验研究了典型DBD平板激励器表面的磁场分布,提出了在DBD平板激励器的上、下电极之间夹进平面线圈,运用电磁耦合原理增强等离子体激励器放电效果,从而加速DBD等离子体诱导气流的方法。探究了不同结构参数的电感线圈产生的电磁耦合作用对大气压下平板式DBD等离子体激励器放电加强的效果,以及夹进平面线圈后加载电源的电压和频率对DBD放电的影响,并利用粒子图像测速技术测量了电磁耦合作用下典型DBD等离子体诱导气流流场,考察了其中电磁耦合对加速诱导气流的作用。实验结果表明,运用电磁耦合作用可在一定程度上增强等离子体激励器的放电效果,一些电感线圈产生的电磁耦合作用可显著改善DBD等离子体诱导气流的连续性和加厚流场区域。 展开更多

关键词 等离子体 电磁耦合 介质阻挡放电 诱导气流 平面电感线圈 粒子图像测速

在线阅读 下载PDF 职称材料

放电参数对无极灯发光特性的影响 被引量：8

7

作者 张贵新 董晋阳 王长全 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期770-776,共7页

无极灯(electrodeless discharge lamp,EDL)是一种基于高频电磁感应和无极气体放电的新型电光源,由电感耦合等离子体(ICP)中的Hg 253.7nm共振谱线激发荧光粉进而发出可见光。为研究放电参数对无极灯发光特性的影响,首先,结合Maxwell 3D... 无极灯(electrodeless discharge lamp,EDL)是一种基于高频电磁感应和无极气体放电的新型电光源,由电感耦合等离子体(ICP)中的Hg 253.7nm共振谱线激发荧光粉进而发出可见光。为研究放电参数对无极灯发光特性的影响,首先,结合Maxwell 3D有限元仿真,理论分析了无极灯的发光机理;其次,基于无极放电实验系统,通过原子发射光谱分析,实验研究了冷端温度、气体压力、输入功率等放电参数对Hg 253.7nm共振谱线及ICP可见辐射的影响。研究表明,Hg 253.7nm共振谱线的相对强度随冷端温度、气体压力、输入功率均呈现出近似于正态分布的变化规律,可见光照度则随冷端温度的升高而增加,并从气体放电的角度进行了定性分析,这对无极灯光效的提高具有重要意义。 展开更多

关键词 无极灯 电感耦合等离子体 气体放电 共振谱线 放电参数 有限元 光谱分析 光效

在线阅读 下载PDF 职称材料

高纯碲和镉中痕量杂质元素的辉光放电质谱分析 被引量：9

8

作者 荣百炼 胡赞东 +2 位作者 丛树仁 韩福忠 姬荣斌 《红外技术》 CSCD 北大核心 2010年第4期226-230,共5页

采用辉光放电质谱(GD-MS)对碲、镉原材料中锂、硼、钠、铝、硅、铁、铜、锌、镓、砷、银、金、铅、铀等62个杂质元素进行了测试,并与激光烧蚀电感耦合等离子体质谱(LA-ICP-MS)所测的结果进行比较,对结果差异的潜在因素、个别元素含量异... 采用辉光放电质谱(GD-MS)对碲、镉原材料中锂、硼、钠、铝、硅、铁、铜、锌、镓、砷、银、金、铅、铀等62个杂质元素进行了测试,并与激光烧蚀电感耦合等离子体质谱(LA-ICP-MS)所测的结果进行比较,对结果差异的潜在因素、个别元素含量异常偏大的原因进行了系统分析,着重论述VG9000辉光放电质谱仪的特点及痕量杂质分析优势。 展开更多

关键词 辉光放电质谱(GD-MS) 激光烧蚀电感耦合等离子体质谱(LA-ICP-MS) 痕量杂质测定 高纯碲和镉

在线阅读 下载PDF 职称材料

介质阻挡放电诱导化学蒸气发生-ICP-OES测定痕量Se(IV) 被引量：2

9

作者 杨武琳 朱晓帆 吴曦 《化学研究与应用》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期644-648,共5页

本文将介质阻挡放电诱导化学蒸气发生与电感耦合等离子体原子发射光谱分析法联用,用于痕量Se(IV)的选择性测定。考察了介质阻挡放电诱导化学蒸气发生的主要影响因素。在最优的实验条件下,甲酸浓度为15%时,本方法对Se(IV)的检出限(3σ)为... 本文将介质阻挡放电诱导化学蒸气发生与电感耦合等离子体原子发射光谱分析法联用,用于痕量Se(IV)的选择性测定。考察了介质阻挡放电诱导化学蒸气发生的主要影响因素。在最优的实验条件下,甲酸浓度为15%时,本方法对Se(IV)的检出限(3σ)为6μg.L-1,测定100μg.L-1Se(IV)溶液的相对标准偏差(n=11)为3.4%。该方法成功应用于多种水样中Se(IV)的测定。 展开更多

关键词 硒(Se) 介质阻挡放电(DBD) 电感耦合等离子体原子发射光谱分析法(ICP-OES) 化学蒸气发生(CVG)

在线阅读 下载PDF 职称材料

高纯贵金属中杂质元素检测技术新进展 被引量：6

10

作者 王楠 周宇 +2 位作者 任士远 陈明丽 刘西 《中国无机分析化学》 CAS 北大核心 2023年第9期959-966,共8页

高纯贵金属具有良好的抗腐蚀性、稳定的热电性、高温抗氧化性等优异的材料学特性,使得这一类材料在电子信息、生物医药、国防安全等领域有广泛的应用。高纯贵金属纯度是决定其性能和应用领域上限的重要指标,对贵金属生产工艺具有重要指... 高纯贵金属具有良好的抗腐蚀性、稳定的热电性、高温抗氧化性等优异的材料学特性,使得这一类材料在电子信息、生物医药、国防安全等领域有广泛的应用。高纯贵金属纯度是决定其性能和应用领域上限的重要指标,对贵金属生产工艺具有重要指导作用。综述近年来电感耦合等离子体发射光谱法、电感耦合等离子体质谱法、辉光放电质谱法等检测技术在高纯贵金属痕量杂质检测中的进展,对存在的问题进行了分析探讨,并对未来高纯贵金属中痕量杂质检测在评价体系和标准化方面的发展趋势进行了展望。 展开更多

关键词 高纯贵金属 电感耦合等离子体发射光谱法 电感耦合等离子体质谱法 辉光放电质谱法 气体元素

在线阅读 下载PDF 职称材料

质谱的无机痕量分析进展 被引量：12

11

作者 周涛 李金英 赵墨田 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期110-115,共6页

概述了电感耦合等离子体质谱 (ICP -MS)、激光电离质谱 (LIMS)和共振电离质谱 (RIMS)、火花源质谱 (SSMS)、辉光放电质谱 (GDMS)、二次离子质谱 (SIMS)、热电离同位素稀释质谱法 (ID -TIMS)等无机质谱分析方法的基本原理、方法特点和应... 概述了电感耦合等离子体质谱 (ICP -MS)、激光电离质谱 (LIMS)和共振电离质谱 (RIMS)、火花源质谱 (SSMS)、辉光放电质谱 (GDMS)、二次离子质谱 (SIMS)、热电离同位素稀释质谱法 (ID -TIMS)等无机质谱分析方法的基本原理、方法特点和应用进展 ,概括了ICP -MS和IDMS方法的优缺点 ;采用溶液进样的ICP -MS和TIMS稀释法 ,给出的测量结果不确定度要高于固体进样的质谱法。 展开更多

关键词 质谱 无机分析 痕量分析 电感耦合等离子体质谱 激光电离质谱 共振电离质谱 火花源质谱 辉光放电质谱 二次离子质谱 热电离同位素稀释质谱法

在线阅读 下载PDF 职称材料

常压脉冲射频原子发射光谱仪的研制及在固体样品元素分析中的应用

12

作者 陈吉文 焦裕哲 +1 位作者 梁美 连伟东 《中国无机分析化学》 2025年第12期2015-2023,共9页

电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)是当前主流的元素分析技术。作为当前元素分析的主流技术,其在固体样品检测中需依赖复杂的样品预处理流程,不仅耗时且易引入污染风险。本研究成功开发了一种新的常压脉冲射频原子发射光谱仪,实... 电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)是当前主流的元素分析技术。作为当前元素分析的主流技术,其在固体样品检测中需依赖复杂的样品预处理流程,不仅耗时且易引入污染风险。本研究成功开发了一种新的常压脉冲射频原子发射光谱仪,实现了固体样品的直接激发分析。其核心由三部分构成:1)可调式脉冲射频源(脉冲频率5~300 Hz,射频频率27.12 MHz);2)针尖-板极放电反应腔;3)高分辨率光谱检测系统(波长180~950 nm,光学分辨率0.3 nm)。根据国家标准对所研制仪器电学参数进行测试,关键性能测试表明,激发源单脉冲上升时间(tr)为665.86μs,峰值功率时间(tp)稳定在1.67 ms,连续工作时功率相对标准偏差(RSD)仅为1.5%,满足持续、稳定、精确输出所需功率。通过系统优化实验确定最佳工作参数∶载气总流量2 L/min(氩氮比19∶1),脉冲占空比80%。本研究选用标准铜精矿粉末样品进行仪器性能验证。通过将脉冲射频功率施加于压片固体样品表面,实现等离子体持续激发与电离,从而使样品中所含元素的光谱信号得以准确检测。这一实验方案充分验证了仪器的检测能力。实验结果表明,所有检测的标准曲线回归系数(R^(2))均达到0.989以上,显示出良好的线性响应特性;元素检出限(LODs)为5.9~108μg/g,具有较高的灵敏度。此外,重复性测试中各元素的相对标准偏差(RSD)控制在1.6%~4.4%,表明测定具有良好的重复性和稳定性。通过对样品标准认定含量的对比分析,所有元素的测定偏倚均在±0.23%以内,进一步证明了测定结果的高精度和准确性。为进一步评估仪器性能,本研究对其与同类能够直接分析固体样品的X射线荧光光谱仪(XRF)进行了对比实验。结果显示,在保持同等水平的测定稳定性和分析准确性的前提下,本仪器在便携性和检测速度方面具有显著优势。这些实验结果充分证明,该仪器具备稳定的工作性能,能够实现导体和非导体固体样品的普适性检测,为现场快速分析提供了一种新型的技术路径,具有重要的应用潜力。 展开更多

关键词 脉冲射频放电 电感耦合等离子体 原子发射光谱仪 光谱分析 元素分析

在线阅读 下载PDF 职称材料