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电弧离子镀薄膜中的颗粒尺寸及其影响的扫描电镜观察
被引量：
7
1
作者
李成明
孙晓军
+4 位作者
张勇
李桂英
曹尔妍
唐伟忠
吕反修
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期252-256,共5页
用扫描电镜对比分析了电弧离子镀增加直线磁场过滤对沉积TiN和TiAlN薄膜中颗粒的密度和尺寸的影响。结果表明,TiN薄膜中颗粒的最大直径,从14μm减小到3μm,颗粒密度从109 cm2降低到105 cm2。TiAlN薄膜由于靶材中含有低熔点金属Al,因而...
用扫描电镜对比分析了电弧离子镀增加直线磁场过滤对沉积TiN和TiAlN薄膜中颗粒的密度和尺寸的影响。结果表明,TiN薄膜中颗粒的最大直径,从14μm减小到3μm,颗粒密度从109 cm2降低到105 cm2。TiAlN薄膜由于靶材中含有低熔点金属Al,因而发射出更大的颗粒,有的颗粒集团达到20μm,磁场过滤后颗粒尺寸减小,颗粒密度降低到106 cm2。分析了脉冲叠加直流偏压对TiCrZrN复合薄膜相组成的影响。颗粒可使电弧离子镀TiN CrN多层膜的结合力降低,并使针孔产生遗传。使用直线型磁场过滤及脉冲叠加直流偏压不仅使颗粒密度和尺寸显著降低和减小,而且多层化对小颗粒产生了包覆作用。
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关键词
电弧离子镀薄膜
扫描电镜
磁场过滤
颗粒密度
氮化钛
薄膜
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职称材料
题名
电弧离子镀薄膜中的颗粒尺寸及其影响的扫描电镜观察
被引量：
7
1
作者
李成明
孙晓军
张勇
李桂英
曹尔妍
唐伟忠
吕反修
机构
北京科技大学材料学院
中国科学院兰州化学物理研究所
中国科学院力学研究所
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期252-256,共5页
基金
中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室资助项目(No 01 03).
文摘
用扫描电镜对比分析了电弧离子镀增加直线磁场过滤对沉积TiN和TiAlN薄膜中颗粒的密度和尺寸的影响。结果表明,TiN薄膜中颗粒的最大直径,从14μm减小到3μm,颗粒密度从109 cm2降低到105 cm2。TiAlN薄膜由于靶材中含有低熔点金属Al,因而发射出更大的颗粒,有的颗粒集团达到20μm,磁场过滤后颗粒尺寸减小,颗粒密度降低到106 cm2。分析了脉冲叠加直流偏压对TiCrZrN复合薄膜相组成的影响。颗粒可使电弧离子镀TiN CrN多层膜的结合力降低,并使针孔产生遗传。使用直线型磁场过滤及脉冲叠加直流偏压不仅使颗粒密度和尺寸显著降低和减小,而且多层化对小颗粒产生了包覆作用。
关键词
电弧离子镀薄膜
扫描电镜
磁场过滤
颗粒密度
氮化钛
薄膜
Keywords
arc ion plating
particles
magnetic filtering
SEM
分类号
TG174 [金属学及工艺—金属表面处理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
电弧离子镀薄膜中的颗粒尺寸及其影响的扫描电镜观察
李成明
孙晓军
张勇
李桂英
曹尔妍
唐伟忠
吕反修
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2004
7
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